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PRエッチング工程、CVD工程への使用に。高い熱伝導率の「窒化アルミ」、耐…
当社は、半導体製造の分野における、 熱特性や異物発生防止のニーズに応える特殊セラミック部品を提供しています。 窒化アルミは、最高220W/m・Kの熱伝導率で、最大φ500のプレートを提供可能です。 イットリアは、高い耐プラズマ性を備え、焼結材部品と溶射材をラインアップ。 溶射時には高い密着性により、パーティクル低減のニーズに対応可能です。 【特長】 ■窒化アルミは、半導体装置向...
メーカー・取り扱い企業: 千代田交易株式会社
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デモ機にてサンプル処理を実施!「研究開発用アニール装置」などの実績を保…
ジャパンクリエイト株式会社が行なった、『各種真空装置』の オーダーメイド製作実績をご紹介します。 「研究開発用アニール装置」をはじめ、「バッチ式プラズマ処理装置」や 「極低温成膜実験装置」「排ガス切替装置」などの実績を保有。 デモ機にてサンプル処理を実施しております。 ご用命の際はお気軽にお問い合わせください。 【製作実績(抜粋)】 ■研究開発用アニール装置 ■バッチ式...
メーカー・取り扱い企業: ジャパンクリエイト株式会社
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