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PRエッチング工程、CVD工程への使用に。高い熱伝導率の「窒化アルミ」、耐…
当社は、半導体製造の分野における、 熱特性や異物発生防止のニーズに応える特殊セラミック部品を提供しています。 窒化アルミは、最高220W/m・Kの熱伝導率で、最大φ500のプレートを提供可能です。 イットリアは、高い耐プラズマ性を備え、焼結材部品と溶射材をラインアップ。 溶射時には高い密着性により、パーティクル低減のニーズに対応可能です。 【特長】 ■窒化アルミは、半導体装置向...
メーカー・取り扱い企業: 千代田交易株式会社
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各種熱処理用パーツの加工などに対応!先端産業向けに広く貢献しております…
半導体製造用「CZ装置」は、ウエハの熱処理用サセプター、ダミーウエハ、 各種熱処理用パーツの加工の他、表面処理、純化処理等にも対応し、 先端産業向けに広く貢献しております。 シリコン単結晶の引上げ用ルツボ、加熱用ヒーターとして高純度グラファイト が使用されています。 【種類】 ○ヒーター(光ファイバー用) ○ルツボ ○サセプター ○ダミーウエハ ○熱処理用治具 ほか ...
メーカー・取り扱い企業: 穴織カーボン株式会社
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