【MiniLab（ミニラボ）】シリーズフレキシブル薄膜実験装置

PRモジュラー組込式の為必要な成膜方法に応じ都度フレキシブルに専用機の組立…

【フレキシブルシステム】 MiniLab薄膜実験装置シリーズは、豊富なオプションから必要な成膜方法・材料に応じて都度、ご要望に適したコンポーネント（成膜ソース、ステージなど）、制御モジュールを組み込み、カスタマイズ品でありながら無駄の無いコンパクトな装置構成を容易に構築することができます。モジュラー式制御ユニットをPlug&Play 感覚で装置を構成することにより応用範囲が広がり、様々な薄膜プロ...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

【産業用管理ギガビットPoE光ハブ】IGPS-9084GP-LA

PR産業用 マネージドPoE+ギガビット光スイッチ：IGPS-9084GP…

IGPS-9084GP-LAは8×10/100/1000Base-Tと4×100/1000Base-X(SFP)を備え、IEEE802.3atに準拠した産業ネットワーク向けのマネージドギガビットPoE+イーサネットスイッチです。 STP/RSTPは始め、ベンダー独自の冗長プロトコル｢O-Ring/Open-Ring/O-RSTP｣等のリカバリプロトコルに対応しており、ネットワークの中断や一時的...

メーカー・取り扱い企業： データコントロルズ株式会社

【プラズマCVD 装置】アピステのチラーPCUシリーズ

アピステのチラーはノンフロン・高耐久・超ワイドレンジの3シリーズ展開！…

【プラズマCVD 装置】 冷却水温を一定に温調することで、反応室やプラズマ電極、基板の最適温度を保ちます。 ーーーーーーーーーーーーーーーーーーーーーーーーーーーーーー 【選べる3シリーズのチラー】 1.PCU-NEシリーズ：ノンフロン冷媒を使用し、フロン排出抑制法の対象外 2.PCU-SLシリーズ：厳しい現場環境でも、安心してご使用いただける高い耐久性を実現 3.PCU-Rシリーズ：...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アピステ

ホットワイヤーソース『HWCV/DCAT-CVD/ICVD』

触媒CVDおよびiCVDアプリケーション向け！統合されたガス分配システ…

当社では、触媒CVDおよびiCVDアプリケーション向けにホットワイヤーソースを 提供しています。 インラインおよびダイナミック製膜プロセスには特殊な直線形エネルギー源が 利用可能。 特殊設計のソースフランジ、すばやく取り付けができるワイヤーコンポーネント によって構成されており、必要に応じて、単にユニット毎に交換することで、 このワイヤーコンポーネントダウンタイムを短縮できます...

メーカー・取り扱い企業： フォンアルデンヌジャパン株式会社

薄膜技術の基礎知識『薄膜技術とは？』　※資料進呈

CVDとPVDの比較や流量計と圧力計の応用、プロセス制御のデジタル化と…

日常的に小型化、高性能化が進む世界。 携帯電話も、数年前には想像できなかったような機能を備えています。 このような高性能を実現したのは、以下のような幅広い用途で利用されている薄膜技術のおかげです。 【薄膜技術　ご利用用途】 ・マイクロエレクトロニクス ・ガラスの反射防止膜 ・医療機器への抗菌性金属コーティング ・フレキシブルな太陽電池 薄膜技術とは、「基板表面と呼ばれる対象...

メーカー・取り扱い企業： ITWジャパン株式会社

TruPlasma Bipolar 4000（G2.1）シリーズ

波形と周波数のフレキシビリティ！圧倒的な品質と性能を誇るプラズマCVD…

『TruPlasma Bipolar 4000（G2.1）シリーズ』は、半導体製造、建築用 ガラスコーティング、太陽電池生産、高品質の硬質・装飾コーティング、 光学膜向けの水冷式電力供給装置です。 信頼性と性能が重要となるプラズマCVD（PECVD）と二重陰極スパッタリング プロセスに好適。 エネルギー効率と力率、最高クラスのアーク制御を有します。 【3つの大きな利点】 ...

メーカー・取り扱い企業： トルンプ株式会社

リニアPECVDプラズマ源

物理蒸着(PVD)プラズマ源以外に、様々な化学的気相成長(CVD)プラ…

『リニアPECVDプラズマ源』は、標準的な静電容量結合プラズマ電極に類似した 製品です。 インラインダイナミックモードで動作しており、基板、キャリア、または ウェブは絶えず電極を通過し、連続的に製膜されています。 CCP CVDを用いる静止モードで大型の基板を均一に製膜するという機械的、 電気的な大規模作業が求められる場合であっても、リニアPECVDは 空間パラメーターを一次元...

メーカー・取り扱い企業： フォンアルデンヌジャパン株式会社

排ガス除害・除粉装置・ウェットスクラバー　Panacea

ドライエッチ、CVD、エピタキシャル成長プロセスから排出される、有毒ガ…

大手半導体、フラットパネルメーカー様へ多数納入実績あり！ ■特徴１：発がん性物質の抑制 燃焼除害装置から出る発がん性物質の抑制が可能です。 ■特徴２：水のみでCl2除害効率99%以上 リサイクル水使用による、給水使用料の劇的削減、NaOH量の大幅な使用料削減を実現します。 ■特徴３：生産装置の歩留り向上 燃焼除害装置のメンテナンスサイクルの向上を実現による生産装置のダウンタ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社東設 本社ヘッドオフィス

真空焼結炉　FVS-I 誘導加熱式

最高3200℃までの高温に対応可能！黒鉛化炉、CVD炉などに導入いただ…

『FVS-I 誘導加熱式』は、電気をエネルギー源とした工業加熱装置です。 最高3200℃までの高温に対応可能。 タンク形状は丸型でφ800×1000H(mm)の炉内有効寸法の実績があります。 溶解、焼結、焼成、ホットプレスなど、様々な業種で必要とされる 熱加工方法に対応でき、黒鉛化炉、CVD炉などに導入いただけます。 【特長】 ■最高3200℃までの高温に対応できる ■タ...

メーカー・取り扱い企業： 富士電波工業株式会社 滋賀工場

チャージアップモニタウエハ(8インチ、12インチ)

ドライエッチ、プラズマCVD、スパッタ、イオン打ち込みのチャージアップ…

当社は、テストウエハの半導体技術でお客様の技術開発を支援しております。 テストウエハのサービスは、ベアSiウエハ、膜付ウエハ、パターンウエハ等を提供し、 チャージアップダメージを評価するウエハのサービスは 12インチウエハでも提供可能であり、長期にわたり世界的に評価されています。 ドライエッチ、プラズマCVD、スパッタ、イオン打ち込みのチャージアップ評価が可能、 ウエハサイズは300...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社フィルテック　 本社

半導体製造装置用プロセスコントローラー

グラフィカルに各種装置・PLCを制御！医療・農業など異分野へ幅広い応用…

『半導体製造装置用プロセスコントローラー』は、当社の縦型減圧CVD装置 「HG-21」に搭載された、オリジナルの製品です。 産業機器、医療・農業など異分野へ幅広い応用が可能。 PCから簡単にプロセス条件の変更が行えます。またDI・DO・AI・AOで制御する 多くの装置に応用可能で、各種研究開発用装置に大いに利用できます。 【特長】 ■当社の縦型減圧CVD装置「HG-21」に...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ハイテクノサービス

株式会社三建アクセス　事業紹介

先進の技術力と、最新の情報力で、開発ニーズに応える株式会社三建アクセス

株式会社三建アクセスの三本柱は、環境保全、再資源化（リサイクル）、省エネルギーにおける地域社会への貢献です。 私たちは、その実現に向け、それを可能とする様々な技術・商品のご提案、サービスの提供を行っています。 そして、そこに生じるお客様の満足を喜びとし、同時に感謝の気持ちを企業向上の源としています。 私たちは、顧客第一主義の考えを軸とし、日々、感謝と反省の気持ちを心に未来へのスパートを続けて...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社三建アクセス

セトラ社　工業用ＯＥＭ圧力センサ　モデル５２２シリーズ

セトラ社　モデル５２２汎用圧力センサは、優れた安定性と高精度を必要とす…

セトラシステムのモデル522汎用圧力トランスデューサーは、優れた安定性と高精度を必要とするOEM産業用アプリケーション向けに設計されています。 モデル522のCVDひずみゲージの設計は、長期間の使用による圧力サイクルや熱影響に対して安定して使用出来ます。この長期に渡る安定性は年間０．２％未満の低ドリフトを実現し、高い信頼性をユーザに保証します。すべての接液部は１７－４ＰＨステンレス鋼で構成され、...

メーカー・取り扱い企業： エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社　ST事業部

気体・液体用マスフローコントローラ＜真空・圧力計測と制御＞

薄膜、コーティング、表面処理は、幅広い産業とアプリケーションをカバーし…

産業用や民生用の製品の表面には、その仕上がりを最適化させるためにコーティングを施すことがあります。例えば、切削工具の耐摩耗性、ガラスの耐傷性、板ガラスの熱特性、住宅設備機器の美観などを向上させることが可能です。 化学蒸着、物理蒸着、プラズマ処理プロセス、溶射など、コーテイングの手法はさまざまですが、製造工程の最終段階として行われることが多いようです。 ブルックスインスツルメントのマスフ...

メーカー・取り扱い企業： ITWジャパン株式会社

ダイヤモンド　ダイヤモンドアンビル／セル

ダイヤモンド　ダイヤモンドアンビル／セル

Almax Industries 【特徴】 ○ダイアモンド　アンビル ○DACセル ○CVDダイアモンド　ウィンドウ ○円錐状のサポートは他のアンビル比べ小さく、経済的で、しかも圧力は同じに使用できます。 ○従来のアンビルと台座との組み合わせと比較し、極めて大きい開口角が得られます。最大70°。 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードして下さい。...Almax...

メーカー・取り扱い企業： FITリーディンテックス株式会社

熱触媒式除害装置(TCSシリーズ)

排気ガス中の有害成分を専用触媒により除去します。

● 反応副生成ガスにも対応 　カーボンナノチューブCVDプロセスで使用される　NH3（アンモニア）の他 　副生成される可能性が　ある毒性の強いHCN（シアン化水素）にも対応。※1 ● 視認性に優れたデザイン 　集合表示灯及びタッチパネル（オプション）、シグナルタワーによりスピーディーに警報を識別可能。 ● 希釈対応が必要なH2、C2H2も処理可能 　乾式除害では処理できない可燃性ガス（...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社巴商会 管理部署：企画営業部

熱媒体（油）循環装置『KCOシリーズ』

最高320℃に対応！各種警報回路や専用コントローラーを搭載。高精度な温…

『KCOシリーズ』は、最高320℃の温調に対応した熱媒体循環装置です。 温度域や流量など、ニーズに応じて型式を選択いただけます。 ◆◆タッチパネル採用により操作性・視認性向上◆◆ ◆◆MODBUS通信、SPI通信を標準装備◆◆ 未然にトラブルを防ぐ各種警報回路や、アラーム機能を備えた 専用コントローラー、リモートタイマーを標準装備。 油漏れを防ぎながら、冷却水が不要な超耐熱...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社レイケン 本社、南関東営業所、大阪支店、中部営業所、茨城工場、大阪工場

半導体製造装置向けボードコンピュータ『HPUD100』シリーズ

画像処理、HMI、リアルタイムモーションコントロール用途に好適！長期安…

【特徴】 ◆自社設計 ◆独自RAS ◆ECC対応 ◆長期安定供給 ◆安心の長寿命設計 ◆BIOSカスタマイズ対応 高信頼性が求められる、 以下の様な半導体製造装置への組込みに適しています。 ◆露光装置 ◆エッチング/薄膜形成装置 ◆レジスト処理装置 ◆CVD装置 ◆スパッタリング装置 ◆ダイシング装置 ◆エージング装置 ...【仕様】 ■CPU：Skylake...

メーカー・取り扱い企業： 萩原テクノソリューションズ株式会社 事業企画本部 事業推進部

排ガス除害・屋内タイプ大流量ウェットスクラバー　EXシリーズ

バブリング・スプレー方式で国内外で1000台以上の納入実績あり！ 信…

国内外で1000台以上の納入実績あり！！東設は屋内タイプ大流量スクラバーにおいては信頼性の高い最有力なメーカーです。 ■特徴１：最大流量60m3/min 20m3/min以上の室内使用の大型SCRの納入実績：約100台以上。 ■特徴２：耐食性ファンによる腐食防止 特にファンインペラー部にはガスのシールと腐食防止対策。 ■特徴３：セントラルスクラバーの引き圧カバー ファンの使...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社東設 本社ヘッドオフィス

蒸気供給装置『VDMシリーズ』

高速・正確・高い再現性で効率的！配線と配管をつなげるだけで動作！分析等…

『VDMシリーズ』は、ガス用・液体用の流量コントローラと 温度コントロール可能な気化器で構成される液体供給システム『CEMシステム』に 電源・コントロール機能・1.8インチTFT液晶ディスプレイといった 運転に必要な機能を加えて小型の筐体に内蔵した蒸気供給装置。 配線と配管をつなげるだけで動作し、100 mln/minから 10 ln/minの範囲で飽和蒸気圧までの蒸気を供給できます...

メーカー・取り扱い企業： ブロンコスト・ジャパン株式会社

低圧水銀ランプ

クリーンな殺菌、脱臭と洗浄、改質による接着力をアップさせる低圧水銀ラン…

当製品は、殺菌、脱臭、表面処理、硬化、改質、洗浄に有効な 紫外線応用水銀ランプです。 低圧水銀ランプと、高圧水銀ランプは代表品種です。 水銀ランプには伝統的な紫外線殺菌やUV硬化から、先端的光洗浄や 光表面改質まで多くの用途があります。 【特長】 ■光洗浄・光表面改質 ■光酸化水処理・促進酸化水処理 ■難分解有機性ガス分解 ■オゾン発生・オゾン分解 ■イオン化・イオン...

メーカー・取り扱い企業： シーズ株式会社

ハザードスイーパー.ミストスクラバー

ハザードスイーパー.ミストスクラバー

『海外で売らしてよ！』とバイヤーを唸らせたスグレモノ です。...IMPLA・CVD設備のO/Hメンテナンス時の可燃性デポ物の除去、クリーニング作業に使用します。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社メカテック　

メンテナンス・リサーチ株式会社　会社案内

真空装置のサポート・真空プロセス製品を広くご紹介しております。

メンテナンス・リサーチ株式会社は、米国Materia Is Research Corporation製造スパッタリング装置のメンテナンスを目的に2008年に設立しました。 メンテナンス・リサーチは新しい真空プロセス設備のご紹介とともに、ご使用設備を長く安定して稼働して頂くよう、製造中止パーツの置き換え、電源、ロボット等の修理代替え品等を用意し、信頼のあるパーツと技術サービスのご提供を通してお客様...

メーカー・取り扱い企業： メンテナンス･リサーチ株式会社

サーモシステム事業

電気をエネルギー源とした各種工業加熱システムを提供するサーモシステム事…

富士電波工業株式会社の「サーモシステム事業」についてご紹介します。 誘導加熱装置のメーカーとしてスタートし、産業構造の変遷に柔軟に対応。 鉄鋼など金属の溶解炉、ファインセラミックスなどの焼成炉、シリコンの 溶融、CVDなど各種の表面処理、熱処理設備とバラエティを広げています。 熱加工を必要とする様々な業界のお客様の多彩なニーズをくみ取って、 高温から低温まで、システム化された好適...

メーカー・取り扱い企業： 富士電波工業株式会社 滋賀工場

製品案内　装置

表面分析用チャンバーや蒸着用チャンバーのご紹介

北野精機株式会社では、表面分析用チャンバー（極・超高真空）もしくは 蒸着用チャンバー（超・高真空）を製作しております。 材質は、ステンレス鋼もしくはアルミが標準となるほか、非磁性等の材料も選定可能。 フランジには、ICF規格・ISO規格・JIS規格を基本的に使用しております。 また、特型の指定フランジも接続可能な設計製作を承ります。 使用真空度に合わせて、表面処理はGBB処理・バ...

メーカー・取り扱い企業： 北野精機株式会社

実績技術　ナノ関連

電気抵抗の改善や、ナノ粒子が小さいのでPtの量を減らす事が可能。

実績技術　ナノ関連はカーボンナノホーンを20％～30％含んだNanoカーボン物質に、Ptを37wt%で担持（下写真左）した結果、従来よりも電気抵抗の改善や、ナノ粒子が小さいのでPtの量を減らすことが可能となった。詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。...【特徴】 ○カーボンナノホーンを、20％殻30％含んだナノカーボン物質に、Ptを37wt％で胆持した結果、 　従来よりも電気抵...

メーカー・取り扱い企業： エイアールブイ株式会社

【開発事例のご紹介】制御システム開発賜ります

豊富な開発実績でお客様の業務をサポートいたします！

株式会社アビリカは、制御システム設計からハードウェア設計、システム立ち上げまでトータルでサポートいたします。 事例は全て自社開発ですが、制御だけのご相談もお受けします。 【開発事例】 ■レーザCVD配線形成装置（半導体メーカー様納入） ■2.5in HDD HSA Modular Line（HDDメーカー様納入） ■流体軸受スピンドルモーター組立装置（小形モータメーカー様納入） ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アビリカ