cvd | イプロスものづくり

PRモジュラー組込式の為必要な成膜方法に応じ都度フレキシブルに専用機の組立…

【フレキシブルシステム】 MiniLab薄膜実験装置シリーズは、豊富なオプションから必要な成膜方法・材料に応じて都度、ご要望に適したコンポーネント（成膜ソース、ステージなど）、制御モジュールを組み込み、カスタマイズ品でありながら無駄の無いコンパクトな装置構成を容易に構築することができます。モジュラー式制御ユニットをPlug&Play 感覚で装置を構成することにより応用範囲が広がり、様々な薄膜プロ...

メーカー・取り扱い企業：テルモセラ・ジャパン株式会社

【産業用管理ギガビットPoE光ハブ】IGPS-9084GP-LA

PR産業用マネージドPoE+ギガビット光スイッチ：IGPS-9084GP…

IGPS-9084GP-LAは8×10/100/1000Base-Tと4×100/1000Base-X(SFP)を備え、IEEE802.3atに準拠した産業ネットワーク向けのマネージドギガビットPoE+イーサネットスイッチです。 STP/RSTPは始め、ベンダー独自の冗長プロトコル｢O-Ring/Open-Ring/O-RSTP｣等のリカバリプロトコルに対応しており、ネットワークの中断や一時的...

メーカー・取り扱い企業：データコントロルズ株式会社

【MPCVD】単結晶ラボグロウンダイヤモンド

商業的使用に好適！非常に安定性があり、予測可能な特性と挙動を持っていま…

ダイヤモンドエレメンツは、幅広い用途に利用されている単結晶ダイヤモンド製品の製造において、世界でも早いCVD会社の一つです。マイクロ波プラズマ化学気相成長法(MPCVD)は、80年前から実用化されてきて、ここ7-8年で顕著なプロセスになってきました。 MPCVDは、純粋で高速なダイヤモンド蒸着プロセスであり、それ故に商業的使用に好適。ダイヤモンドエレメントの単結晶...

メーカー・取り扱い企業：合同会社SUPERHARD JAPAN

エンドミル「DFC超硬複合材用圧縮エンドミル」

CVDコーティング付き、圧縮切削で層間剥離を防ぎます。

「DFC超硬複合材用圧縮エンドミル」は複合材を機械加工するためにUP CUTとDOWN CUTのスパイラル溝が板状の複合材の上面と下面を板厚の中心に向かって圧縮する構造です。この動作は複合材のDELAMINATION（層間剥離）を防ぎます。【特徴】 ○スパイラル溝は複合材の中の繊維をきれいに切るため剪断動作を起こす ○強い角度の正のすくい角は発熱を最小限に抑えて硬化剤用樹脂が　...

メーカー・取り扱い企業：株式会社キーベル

CMPパッドコンディショナー

ダイアモンド砥粒と基板の分子レベルでの強固な化学的結合を達成！CMPプ…

米Morgan Advanced Ceramics社のCMPプロセスで使用する表面がダイアモンドで覆われた独特の構造のパッドコンディショナーを提案致します。ダイアモンド砥粒をシリコン基板、あるいはセラミック基板にCVDコーティングした構造です。ダイアモンド砥粒と基板の分子レベルでの強固な化学的結合を達成しました。耐スラリー性も強く、スラリーによる化学的な侵食もありません。また、ダイアモンドの欠落、...

メーカー・取り扱い企業：株式会社マツボー

有機EL用蒸着装置

プラズマクリーニング室、有機蒸着室、電極蒸着室、封止室等を自由に選択で…

『有機EL用蒸着装置』は、デバイス開発や材料開発に好適なマルチチャンバ仕様の装置です。前処理から成膜、封止までの工程を大気に触れずに処理することが可能。目的に応じて、プラズマクリーニング室、有機蒸着室、電極蒸着室、封止室等を自由に選択できます。【特長】 ■基板サイズは最大□300mm対応 ■蒸着セルは各種材料・サイズから選択可能 ■CVD室、スパッタ室等との組...

メーカー・取り扱い企業：ジャパンクリエイト株式会社

日新技研社　単結晶育成装置　総合カタログ

日新技研社〜単結晶育成装置〜総合カタログ　無料配布中！

日新技研社が取り扱う、単結晶育成装置総合カタログです新しい時代のニーズに答える技術集団、日新技研では次世代の単結晶育成装置を製造・販売しております ◆◆掲載製品◆◆ 　　○トランジスタインバータ　　○酸化物単結晶引上装置　　○自動直径制御装置　　○μ-PD装置　　○超小型単結晶引上装置　　○SiC-CVD装置　　○Gap.InP高圧合成装置　　○高温...

メーカー・取り扱い企業：日新技研株式会社

多元スパッタリング装置

基板温度900℃を実現！基板ステージに3軸機構を搭載し、均一な膜厚分布…

『多元スパッタリング装置』は、最大4台のスパッタカソードを搭載し、金属膜、酸化膜等の積層成膜が可能です。 CVD室、蒸着室、プラズマクリーニング室等の組み合わせも対応可能。また、基板ステージに3軸機構（昇降、公転、自転）を搭載し、均一な膜厚分布を実現します。【特長】 ■当社独自のスパッタカソードを搭載 ■当社独自の急速昇降温基板加熱機構を搭載し、基板温度900℃を...

メーカー・取り扱い企業：ジャパンクリエイト株式会社

真空蒸着

蒸着加工を中心とした各種様々な工法により薄膜の製作が可能です（スパッタ加工・メッキ加工・メタライズ加工・PVD.CVD法等も取り扱っております）またフォトエッチング加工・リフトオフ・マスク加工あるいは精密スクリーン印刷法等の手法を用いて　複雑・微細なパターンの製作も致します。ガラス、金属、樹脂フィルム（ペット、アクリル、ポリミドその他）など多品種の基板に対応可能です。 ...蒸着加工を...

メーカー・取り扱い企業：伸和商工株式会社

チャージアップモニタウエハ(8インチ、12インチ)

ドライエッチ、プラズマCVD、スパッタ、イオン打ち込みのチャージアップ…

当社は、テストウエハの半導体技術でお客様の技術開発を支援しております。テストウエハのサービスは、ベアSiウエハ、膜付ウエハ、パターンウエハ等を提供し、チャージアップダメージを評価するウエハのサービスは 12インチウエハでも提供可能であり、長期にわたり世界的に評価されています。ドライエッチ、プラズマCVD、スパッタ、イオン打ち込みのチャージアップ評価が可能、ウエハサイズは300...

メーカー・取り扱い企業：株式会社フィルテック　本社

高温デジタルキャパシタンスマノメーター『DA03A』

高温動作によりゼロ点シフトを低減、CVD, Etch, ALDに！

「DA03A」は、RoHS対応のデジタル高温タイプBaratron（R）キャパシタンスマノメータです。高温で動作することによりセンサ内部へのプロセス副生成物の堆積を最小限に抑えます。これにより副生成物堆積によって生じる出力ドリフトをほぼ無くします。 150℃または160℃の動作温度で使用でき、メタルエッチングや絶縁膜CVDのような半導体製造における最も必要とされかつ環境の厳しい真空プロセ...

メーカー・取り扱い企業：日本エム・ケー・エス株式会社

トーヨーエイテック　ハードコーティング　製品カタログ

超硬質薄膜の時代を担うアドバンステクノロジー！一貫加工できる生産体制！

当カタログは、トーヨーエイテックが取り扱う『ハードコーティング』の製品カタログです。過酷な成形条件にも耐えうる高い性能を発揮する「低温 TiC」をはじめ、「PVDコーティング」や「CVDコーティング」、「DLCコーティング」など金型・工具・機械部品向けの表面処理を多数ラインアップ。当社は、超高精度工作機械メーカーで製造用工作機械も多種備えており、コーティングだけにとどま...

メーカー・取り扱い企業：トーヨーエイテック株式会社

パルスレーザパルス蒸着システム

AOVでは、多種多様なお客様のご要望にお応えするために、カスタマイズされた様々な真空製膜装置を取り扱いしております。AOVの取り扱う真空装置は物理気相蒸着（PVD）法と化学気相蒸着（CVD）法に大きく分かれています。 PVD法による装置は、 * PLD（パルスレーザ蒸着）装置 * マグネトロンスパッタ装置 * EB電子ビーム蒸着装置 * イオンビームア...

メーカー・取り扱い企業： AOV株式会社

乾電池関連金型

乾電池用などの深絞り金型に！ぜひ"超硬製品"をお使いください

冷間鍛造金型の中でも乾電池用などの深絞り金型はとくに高精度と耐摩耗性を兼ね備えることが求められます。瑞穂工業株式会社の「超硬製品」は、耐食性や高温での耐摩耗性も高く、変形しにくいため高精度の加工が容易。高精度が維持されるので様々な条件での使用に耐えます。この分野に長い経験を有する当社の「超硬製品」をぜひお使いください。【製品例】 ■乾電池用金型（DLCコート）...

メーカー・取り扱い企業：瑞穂工業株式会社

半導体製造装置用プロセスコントローラー

グラフィカルに各種装置・PLCを制御！医療・農業など異分野へ幅広い応用…

『半導体製造装置用プロセスコントローラー』は、当社の縦型減圧CVD装置「HG-21」に搭載された、オリジナルの製品です。産業機器、医療・農業など異分野へ幅広い応用が可能。 PCから簡単にプロセス条件の変更が行えます。またDI・DO・AI・AOで制御する多くの装置に応用可能で、各種研究開発用装置に大いに利用できます。【特長】 ■当社の縦型減圧CVD装置「HG-21」に...

メーカー・取り扱い企業：有限会社ハイテクノサービス

【産業調査レポート】世界の遺伝子デリバリーシステム市場

世界の遺伝子デリバリーシステム市場2022-2027：デリバリー別、投…

Fact.MR社は、世界の遺伝子デリバリーシステム市場について調査・分析し、エグゼクティブサマリー、市場概要、市場リスク・トレンド分析、市場背景・基礎データポイント、市場の需要分析・予測、デリバリー別分析（ウイルス性遺伝子デリバリー、非ウイルス性遺伝子デリバリー）、投与経路別分析（経口、注射、吸入、経皮、その他）、用途別分析（感染症、腫瘍学、CVD、泌尿器科、その他）、地域別分析（北米、中南米、ヨ...

メーカー・取り扱い企業： H&Iグローバルリサーチ株式会社

半導体材料

結晶シリコン成長時に使用されるドーパント材料のトータルサプライヤーです

当社では、半導体製造工程で使用されるさまざまな材料を提供しております。 P型ドーパント材料のボロン、ガリウム、N型ドーパント材料の赤燐、アンチモン等を主にご提供いたします。また、半導体工程において使用されるCVD材料・イオン注入材料等も取り扱っております。ご要望の際はお気軽にお問い合わせください。【取扱品目】 ■シリコンドープ材料 ■イオン注入材料 ■CVD・拡...

メーカー・取り扱い企業：ヤマナカアドバンスマテリアル株式会社

真空成膜装置・高真空装置

お客様のニーズに合わせた形でカスタマイズ可能な高性能真空装置

高真空装置で定評のあったMECA2000社の技術を引き継いだ高真空度を実現...真空成膜装置とは、半導体の製造工程のうち薄膜成形のプロセスに用いられる装置で、手法によってPVD、CVD、PLD、MBEなど各種の成膜装置が存在しており、真空度の高さが半導体の品質を決める大きな要因となっています。西華デジタルイメージでは、長年薄膜素材の評価装置として定評のあるVINCI社の製品を取り扱ってまいりました...

メーカー・取り扱い企業：西華デジタルイメージ株式会社

300mm チャージアップモニタウェハ『PT013』

ドライエッチ、プラズマCVD、スパッタ、イオン打ち込みのチャージアップ…

当社は先進の半導体技術を背景に、テストウェハのソリューションを提供し、お客様の装置・材料・プロセスの評価・開発を総合的にサポートしております。チャージアップダメージを評価するウエハのサービスは 12インチウエハでも提供可能であり、長期にわたり世界的に評価されています。ドライエッチ、プラズマCVD、スパッタ、イオン打ち込みのチャージアップ評価が可能となります。ウエハサイズは300m...

メーカー・取り扱い企業：株式会社フィルテック　本社

ダイヤモンドドレッサ「HORNET series」

高性能・多結晶ダイヤモンドドレッサ

ダイヤモンドドレッサ「HORNET series」は、CVD法(化学気相法)により生成された多結晶ダイヤモンドであることから、どの面を使用しても商品寿命が変わりません。商品寿命まで均一で安定した性能が発揮できます。【特徴】 ○高性能・多結晶ダイヤモンドドレッサ詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。...【特徴】 ○CVD法(化学気相法)により生成...

メーカー・取り扱い企業：三井研削砥石株式会社

【産業調査レポート】世界のバッテリーコーティング市場

世界のバッテリーコーティング市場（～2027年）：バッテリーコンポーネ…

マーケッツアンドマーケッツ社は、世界のバッテリーコーティング市場規模が2022年329百万ドルから2027年658百万ドルまで、年平均14.9％成長すると予想しています。本市場調査レポートでは、バッテリーコーティングの世界市場を広く調査・分析し、イントロダクション、調査手法、エグゼクティブサマリー、プレミアムインサイト、市場概要、産業動向、技術種類別分析（原子層堆積（ALD）、プラズマ化学気相成長...

メーカー・取り扱い企業： H&Iグローバルリサーチ株式会社

【産業調査レポート】世界の歯科用ダイヤモンドバー市場

世界の歯科用ダイヤモンドバー市場（～2026年）：種類別、用途別、技術…

マーケッツアンドマーケッツ社は、歯科用ダイヤモンドバーの世界市場規模が2021年130百万ドルから2026年191百万ドルまで、年平均8.0％成長すると予測しています。本調査レポートでは、世界の歯科用ダイヤモンドバー市場について調査し、イントロダクション、調査手法、エグゼクティブサマリー、プレミアムインサイト、市場概要、産業動向、種類別分析（ダイヤモンドバー、炭化タングステンバー、ステンレス鋼バー...

メーカー・取り扱い企業： H&Iグローバルリサーチ株式会社

低温TiCコーティング　表面処理

PVD法によるTiC処理を実現しました。硬く強固に密着したチタンカーバ…

低温TiCはPVDによるTiCコーティングで、PVDとCVDの特長を兼ね備え、PVDのもつ寸法・形状精度の高さと、TiC（CVD）のもつ金型寿命を格段に高める機能を有する新商品です。 ...【特長】〇低温TiCは極めて硬い被膜です。（TiCと同等、Hv3700）〇硬さと滑り性の良さが相まって、耐摩耗性が極めて高い。 ○耐剥離性が高い。 ●その他機能や詳細については、お問い合わせ...

メーカー・取り扱い企業：トーヨーエイテック株式会社

セルテスDLCコーティング【従来より密着力・耐摩耗性に優位性！】

従来よりも密着力・耐摩耗性に優れる複合多層DLCコーティングが登場！摺…

セルテスDLCは、プラズマブースタースパッタリング（PBS)とプラズマCVDのハイブリッドプロセスによる新世代複合多層DLCコーティングです。新プラズマ源の採用により、これまでより低温（180℃以下）で成膜でき、金型・部品の耐久寿命も従来DLCと比較して飛躍的に向上します。高密着力の3〜5ミクロンDLC被膜により、これまで密着力不足で適用できなかった高面圧で使用される工具鋼金型やSUJ・SCM...

メーカー・取り扱い企業：ナノコート・ティーエス株式会社石川事業所

【産業調査レポート】世界のデジタル治療市場

世界のデジタル治療市場2022-2030：用途別（糖尿病、肥満、CVD…

グランドビューリサーチ社は、世界のデジタル治療市場規模が2022年から2030年までの間に年平均26.1％成長し、2030年までに325億ドルに達すると予測しています。本調査レポートは、デジタル治療の世界市場について調査・分析し、調査手法・範囲、エグゼクティブサマリー、市場変動・動向・範囲、競争分析、新型コロナウイルス感染症の影響分析、用途別分析（糖尿病、肥満、CVD、呼吸器疾患、禁煙）、エンドユ...

メーカー・取り扱い企業： H&Iグローバルリサーチ株式会社

ハイバリア蒸着フィルムの基礎と高機能化、開発例にみる特性比較

★真空蒸着技術、イオンプレーティング技術、プラズマCVD、2元蒸着技術…

講　師久留米工業高等専門学校生物応用化学科教授工学博士　伊藤義文　氏対　象ハイバリア蒸着フィルムに関心のある技術者・研究者・担当部門・初心者など会　場エル大阪　504会議室【大阪市】地下鉄谷町線・京阪電鉄「天満橋」駅から西へ300m 日　時平成23年6月27日(月)　13:00-16:30 定　員 30名　※満席になりましたら、締め切らせていただきます。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社AndTech

クリエイティブコーティングス『気相技術』

ワーク材質や膜種、膜厚から、弊社がご提案する技術や加工例をご紹介！

「気相技術」は、樹脂原料・燃料電池など『新素材・新材料』『エネルギー』、医療センサー・機器など『医療・ヘルスケア』、電子部品・新ディスプレイなど『モバイル端末』『ウェアラブル機器』『オートモーティブ』など多様な分野で活用されています。また、多様なプロセス・膜厚・膜種で1nm～1000nmの成膜を実現。蒸着方式やCVD方式、ALD方式、スパッタ方式でコーティングしています。【特長...

メーカー・取り扱い企業：株式会社クリエイティブコーティングス

表面形状・シミュレーション・モジュール（FPSM3D）

初期形状はトレンチ、ホールで与えることが可能！基板、堆積膜の経時変化を…

『表面形状・シミュレーション・モジュール（FPSM3D）』は、粒子モンテカルロ法により、基板表面での様々な反応を考慮し、基板、堆積膜の経時変化を計算するモジュールです。セル法特有のシャープな境界面は用いず、固体層占有率による勾配から入射角を決定し、入射角依存の鏡面反射確率、反応確率に適用。 PVD、プラズマCVD、そしてエッチングなどどのような反応にも対応可能です。 ...

メーカー・取り扱い企業：ペガサスソフトウェア株式会社

MEMS受託加工サービスとミニマルファブについて

WF加工、テストWF作成、貫通配線基板加工など！EB露光、DRIE、 …

当社は、半導体加工で培った豊富な知識と経験を基に、EB露光、DRIE、陽極接合をはじめとした各種MEMS（Micro Electro Mechanical Systems〈微小電気機械システム〉）加工受託サービスをご提供しております。開発品加工、要素技術加工、Si深堀エッチング、各種成膜など幅広く対応いたします。また、弊社ではミニマルファブについても取り組んでおります。 TSV形成におけ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社M.T.C

株式会社三建アクセス　事業紹介

先進の技術力と、最新の情報力で、開発ニーズに応える株式会社三建アクセス

株式会社三建アクセスの三本柱は、環境保全、再資源化（リサイクル）、省エネルギーにおける地域社会への貢献です。私たちは、その実現に向け、それを可能とする様々な技術・商品のご提案、サービスの提供を行っています。そして、そこに生じるお客様の満足を喜びとし、同時に感謝の気持ちを企業向上の源としています。私たちは、顧客第一主義の考えを軸とし、日々、感謝と反省の気持ちを心に未来へのスパートを続けて...

メーカー・取り扱い企業：株式会社三建アクセス

高純度　シリカガラス製品

半導体製造プロセスに不可欠な高純度シリカガラス製品

半導体製造プロセスに不可欠な高温作業に強く活性ガスとの化学変化を起こさない、高純度のシリカガラス製品【特徴】 ○CVD、拡散用各種炉芯管をはじめさまざまな機器・冶具に最適 ○半導体製造工程に必要なあらゆる石英製品をラインナップ　・オーバーフロー槽　　薬液処理のウェハー洗浄工程で使用され、　　12インチ対応製品を含め多様なニーズに対応　・横型ボート　...

メーカー・取り扱い企業：株式会社フェローテックホールディングス

光学用のボールレンズの全面コート

写真はマイクロボールレンズ　NBK-7の表面全体にARコーティングしました。マイクロ球と呼ばれるほど、とても小さくて扱いが難しいのでボール全面にコーティングするのにはハイレベルな技術がないとできません。また、全面コーティングのため膜厚はムラがありません。コーティングはPVD（物理気相成長法）とCVD（化学気相成長法）を使用しています。光通信で使用される波長帯は830−850nm, 850-...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ヒューマニティ

プラズマPICモンテカルロ衝突モジュール（PIC-MCCM）

計算の精度が高い！装置内のプラズマ密度が、比較的低い場合のプラズマ解析…

『プラズマPICモンテカルロ衝突モジュール（PIC-MCCM）』は、プラズマ CVD装置、プラズマエッチング装置、スパッタリング装置、機能性薄膜の製造装置といった装置内の、非平衡低温プラズマの挙動を解析ができるモジュールです。装置内のプラズマ密度が、比較的低い（10^16[#/m3]；10^10[#/cc]程度以下）場合のプラズマ解析を得意としており、電磁場中での電子ビーム、...

メーカー・取り扱い企業：ペガサスソフトウェア株式会社

カーボン事業

東栄産業がスタートを切るにあたり、ベースとなった無機製品！ハイレベル製…

東栄産業の「カーボン事業」についてご紹介します。カーボンを基材とした含侵、CVD法などによる各用途にあわせた “各種コーティング”や、一般的な純度以上の高純度対応が可能な “高純化処理”などをご用意。確かな経験と豊富な実績により、ハイレベル製品をご提供します。ご用命の際はお気軽にお問い合わせください。【取扱製品(抜粋)】 ■電子産業・ハーメチックシール治具、ア...

メーカー・取り扱い企業：東栄産業株式会社

Surmo X処理　線引きダイスへの適用事例もご紹介

超硬工具の寿命向上！PVD、CVDコーティングが苦手とする内径への処理…

『Surmo X処理』は、日立金属で開発された表面改質の特許技術に当社で長年にわたり培われてきた超硬合金の製造技術を融合させた極めて優れた特性を有する技術です。被処理材の外形寸法変化が無く、PVD、CVDコーティングが苦手とする内径（内側）への処理も可能。超硬合金の表面を改質させる事によりモノづくりの生産性向上に貢献いたします。【期待できる効果】 ■被加工材と...

メーカー・取り扱い企業：瑞穂工業株式会社

「SiCとは？」

半導体、産業機械、原子力、航空宇宙分野に最適！高性能な化合物“SiC”

SiC（Silicon Carbide ：炭化ケイ素）はシリコン（Si）と炭素（C）が1対1で結合した化合物で、隕石中にわずかに確認されているだけで、天然にはほとんど存在しません。 SiCはセラミックスに分類され、その高硬度、耐酸化性、化学的安定性、耐熱性などの特徴から、古くから研磨剤や耐火材、発熱体などに用いられてきました。近年では半導体素子製造工程で用いられるウェハボートやチューブ、シリコン...

メーカー・取り扱い企業：株式会社フェローテックホールディングス

【SHシリーズ基板加熱ヒーター】真空成膜用 Max1100℃

CVD, PVD（蒸着, スパッタ, PLD, ALD等）均熱性・再現…

ヒータープレートにインコネルもしくはBNプレートを採用した、熱放射効率が良く、均熱性に優れた成膜装置・真空薄膜実験用高真空対応ホットプレートです。【ラインナップ】 ◎ SH-IN（インコネルプレート）：φ1.0〜φ6.1inch 真空・O2・活性ガス用 ◎ SH-BN（BNプレート, Moカバー）：φ2.1〜φ6.1inch 真空・不活性ガス用【特徴】 ◎ 最高温度1100℃...

メーカー・取り扱い企業：テルモセラ・ジャパン株式会社

協力会社による複雑な加工

複雑な工程の製品であっても対応可能！社外ネットワークでの加工サービス

日本ツクリダスでは対応が不可能な物についても「出来ません」と答えるのではなく、豊富な協力工場に依頼する事で、お客様のニーズにお応え致します。ご希望の品を「完成品」としてお納めできるように精一杯努力致します。小ロットで、複雑な工程の製品であっても対応可能ですので、まずはお気軽にご相談ください。【サービス内容】 ○研磨加工 ○黒染め処理(四三酸化鉄皮膜)/パーカライジング(リン酸皮...

メーカー・取り扱い企業：日本ツクリダス株式会社

密着性を向上させ、優れた耐久性を実現！【ファインコーティング】

超硬質セラミック被膜ファインコーティングは、通常のCVDよりも低温で…

近年、精密部品や金型の耐久性及び耐磨耗性を飛躍的にあげる表面処理技術は、生産性の向上のために必要不可欠になっています。超硬質セラミック被膜ファインコーティングは、通常のCVDよりも低温で成膜させるため、クラックのない緻密な炭化物被膜を形成させることが出来ます。さらに、独自の真空拡散法を用いて密着性を向上させ、優れた耐久性を実現しています。 ※詳しくは資料をDL、もしくはお問合せください...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ケンテック

『High-Rate Depo. 圧電膜形成スパッタリング装置』

半導体、MEMS、電子部品等に！単結晶エピタキシャルバッファ層から圧電…

『圧電膜形成スパッタリング装置』は、単結晶エピタキシャルバッファ層から圧電膜まで連続成膜することが可能な製品です。プラズマエミッションモニターによるプラズマ分析とフィードバック制御により、高速かつ安定したリアクティブスパッタ成膜、圧電特性低下に寄与する元素検知も可能です。当社独自の急速昇降温基板加熱機構を搭載しており、基板温度900℃を実現します。 ※詳しくはPDF資料をご覧...

メーカー・取り扱い企業：ジャパンクリエイト株式会社

Nd:YAGレーザパルス蒸着システム

AOVでは、多種多様なお客様のご要望にお応えするために、カスタマイズされた様々な真空製膜装置を取り扱いしております。AOVの取り扱う真空装置は物理気相蒸着（PVD）法と化学気相蒸着（CVD）法に大きく分かれています。 PVD法による装置は、 * PLD（パルスレーザ蒸着）装置 * マグネトロンスパッタ装置 * EB電子ビーム蒸着装置 * イオンビームア...

メーカー・取り扱い企業： AOV株式会社

株式会社K-PLUS　カーボン事業部取扱製品紹介

アモルファスカーボンなど、カーボン事業部の取扱製品を紹介します。

株式会社K-PLUS カーボン事業部では、単結晶シリコン製品加工やアモルファスカーボン及びグラファイト製品、ファインセラミックス加工、CVD SILCON CARBIDE、CFRP(炭素繊維)設計及び加工、表面改質(薄膜処理)、樹脂製品加工、金属製品加工(レア.メタル)などを取り扱っております。アモルファスカーボンは、高耐熱性、耐薬品性、無発塵などの特徴があります。【特徴】［アモル...

メーカー・取り扱い企業：株式会社K-PLUS

中日本炉工業株式会社　会社案内

常に新しい技術を追求し、より高いレベルの製品づくりに努めています！

当社は、設立以来工業炉専門メーカーとして、オイルショック、バブル崩壊、リーマンショックなど幾多の苦難を経て工業炉一筋に現在までに成長してきました。 2015年には熱処理工場を新築し、「魅せる工場」をテーマに、IoT環境を取り入れ生産性の向上、リアルタイム型の見える化工場へと生まれ変わりました。熟成された真空炉製作技術と蓄積された加工ノウハウは数百社におよぶユーザーへ提...

メーカー・取り扱い企業：中日本炉工業株式会社

特殊金属精密加工製品

SUS316、SUS304、ハステロイ、インコロイ、ニッケル等の超精密…

半導体、LCD製造技術の飛躍的な発展に伴い、製造装置用部品加工分野についても、新しい材料で、高精度の部品加工をしかも、リーゾナブルな価格で提供できる専門メーカーの必要性が高くなってきています。当社は、半導体製造装置の中でも、特に高レベルの精密加工技術を必要とする、テスト用装置の部品をはじめとして、 CVD装置用部品、炉体関連の重要部品等の販売実績を持つ韓国のメーカーと提携して日本の装置メ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社インテリンク

RIBER社EZ-CURVE 真空装置In-situ反りモニター

各種真空装置内でのウエハ応力、反り、曲率、異方性等をリアルタイム、高精…

RIBER社で開発されたEZ-CURVEは各種真空装置に取付可能であり、応力、反り、曲率、異方性等の測定が可能なIn-situモニターです。特徴 1) In-situ応力、反り、曲率、異方性等の測定可能 2) 成長メカニズムに関する基礎データ取得にも利用可能。 3) 各種真空成膜装置（CVD, MBE, PVD等）や真空プロセス装置(エッチング、アニーリング等）に対応可能。 4) 従来...

メーカー・取り扱い企業：伯東株式会社本社

コーティング技術の解説資料進呈！FCVA成膜技術について

基材表面に種々の機能性を付与！摺動性向上など用途に応じた特性を得る事が…

当資料は、コーティング技術の基礎知識と、弊社の「FCVA成膜技術」について掲載しております。「PVDコーティング」をはじめ、「CVDコーティング」や「FCVA成膜技術」を用いた水素フリーDLCコーティングについて解説。コーティングは、使われる材質やコーティングの条件により、耐摩耗性、耐熱性、摺動性向上など用途に応じた特性を得る事ができます。ぜひ、ご一読ください。【掲載内容】 ■...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ナノフィルムテクノロジーズ　ジャパン

【スクラッチ試験機】ナノスクラッチテスタ(NST３)

薄膜の密着性・傷つき易さの定量化・ナノスクラッチ試験

ナノスクラッチテスタは、特に標準膜厚1000 nm以下の薄膜やコーティングの実際的な密着性評価に最適です。有機系及び無機系のコーティングや、軟質及び硬質のコーティングの分析に使用できます。光学用途から、マイクロエレクトロニクス用途、保護膜、装飾膜など様々な用途向けの、薄膜・多層膜のPVD・CVD・PECVD膜、フォトレジスト、塗装、ラッカーなどの膜の評価に利用できます。金属合金、半導体...

メーカー・取り扱い企業：株式会社アントンパール・ジャパン