集塵装置内蔵切断機　アルミ形材用切断機『UCA-400DC型』

PR簡易集塵装置をビルトインした省エネ&コンパクト切断機 。 …

狭い場所に設置出来る 溜まった切粉はワンタッチで回収が行える切断機。 小型サイクロン搭載のアルミ形材切断機UCA-400DC型のご紹介です。 「溜まった切粉の掻き出しに時間を掛けたくない」 「集塵機を置きたいがスペースが無い」 「集塵機も導入したいが予算が無い」 など　　 UCA-400DC型は、お客様の声から生まれた切断機です。 別置き集塵機の十分の１...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社奥村機械製作所

DCブラシレスモータ用コントローラ

PRメカナムホイールを制御するサンプル動画あり！開発時間短縮に貢献します！

『DCブラシレスモータ用コントローラ』は、AGV（無人搬送車）や 移動型ロボットなどのモータ制御の開発時間短縮に貢献します。 シングルまたはデュアルチャンネルタイプをそれぞれ「SBLシリーズ」「FBLシリーズ」「GBLシリーズ」でラインアップ、高回転対応機種もございます。 CAN通信にも対応するほか、ホールセンサやエンコーダなど多くのロータ位置検出センサに対応しており、サーボモータ制御も可能...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アキュレイトシステムズ 伊那事業所

中型ポンプ用ブラシレスDCモータ　酸素ポンプ向けモータ

中型酸素濃縮機ポンプ用ブラシレスDCモータ 中型ポンプにぴったり！ …

こちらの小型DCブラシレスモーターは、高速回転が可能で、中型ポンプ・中型撹拌器などに最適です。 そもそもポンプ（オランダ語: pomp）とは圧力の作用によって液体や気体を吸い上げたり送ったりするための機械です。 機械的なエネルギーで圧力差を発生させ液体や気体の運動エネルギーに変換させる流体機械である。 喞筒（そくとう）ともいう。 動物の心臓も一種のポンプである。また、機械的なポンプ...

メーカー・取り扱い企業： コアレスモータ株式会社 本社

DC遠心ファン＆ブロワ。スタンダード製品でコストダウンに

【ファン＆ブロワー代替機種お探しのメーカー様必見】 エアー冷却、空気…

台湾製ファン＆ブロワー 軸流ファン、遠心ブロワ、遠心ファン等を20年以上の製造実績による安定品質製品です。 日本メーカーの同等品多数取りそろえております。 2000種類以上の豊富な製品群がございます。現行品の代替検討において、ほぼほぼ同等製品をご提案できます。現行品のコストダウン、納期トラブル、マルチベンダー等の改善にてご検討下さい。 【製品ラインナップ】 ◆AD/DC/EC軸流ファ...

メーカー・取り扱い企業： カズモモーションテック株式会社

成膜装置向け電源（DC・RF・EB）　ラインナップ

装置メーカーとして蓄積したノウハウを設計にフィードバック！高信頼性の成…

株式会社アルバックでは、プラズマ負荷に最適な DC電源「DPG-10/DPG-20」をはじめ、高効率RFアンプの搭載で 小型・軽量化を実現した RF電源「RFS-N シリーズ」など、 成膜装置向け電源を用途に合わせたラインナップで取り揃えております。 【ラインナップ】 ■DC電源「DPG-10/DPG-20」 ■EB電源「HPS-Nシリーズ」 ■RF電源「RFS-Nシリーズ」 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アルバック／ULVAC, Inc.

オイルレス　ピストン式真空ポンプ　DCモータータイプ

産業機器の真空吸引や、吸引器等の医療機器などに使用できます。

オイルレス　ピストン式真空ポンプ　DCモータータイプは、オイルフリーです（特殊樹脂製ピストンリングを使用）。軽量・低騒音で、メンテナンスが容易です。高い真空度での使用が可能で、連続運転が可能です（ブラシレスモーターのみ）。国内にも多数の実績があります。サーマルプロテクター内蔵です。用途によってコンプレッサーとしても使用可能です。産業機器の真空吸引、分析器・環境測定器、真空包装機器、吸引器等の医療機...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ナカタニ

ドライバ “一体型” の高性能DCブロア (MOOG社製)

従来制御盤に設置されていたドライバが、ブロア本体と一体化された次世代の…

ドライバ一体型だけでなく、高性能DCモータを使用しているために、省容積にも関わらず、高いパフォーマンスを発揮できます。 モデル AMP28 1. 最大静圧 7kPa 2. 最大風量 1,272L/min 3. L寸 139.69mm モデル AMP45 1. 最大静圧 14.7kPa 2. 最大風量 550L/min 3. L寸 91.40mm ...1. ドライバ一体型 ド...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ドーワテクノス 本社

コールドカソードピラニゲージ『M-361CP』

部品交換のみの容易なメンテナンス！1台2役でシステムのコストダウンや管…

『M-361CP』は、大気圧～中真空を測定するピラニゲージと、 高真空～超高真空を測定するコールドカソードゲージを 組み合わせたコンビネーションゲージです。 1台で広い圧力領域を測定可能で、1台2役でシステムの コストダウンや管理負荷低減に貢献。 また、部品交換のみの容易なメンテナンスです。 【特長】 ■優れた測定安定性 　・ピラニとコールドカソードの切替不良、未放電...

メーカー・取り扱い企業： キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社

ワイドレンジ真空計　CC-10

大気圧から超高真空まで、1台の真空計で連続して自動計測できます。

CC-10ワイドレンジ真空計は、大気から超高真空までを一つの真空計で連続して自動計測できます。 従来、荒引き用と高真空用のそれぞれの真空計に加えて、チャンバーを大気に戻す(パージ)ための真空スイッチ(大気圧センサー)を使用して別々に測定していた圧力計測システムが、このCC-10ワイドレンジゲージ1台で可能になります。 センサーと回路を一体にして、圧力表示も付いています。 CC-10を真空チャ...

メーカー・取り扱い企業： VISTA株式会社

デバイスネット対応マスフローコントローラ　MC-5000L

デバイスネットDeviceNet対応の超高性能マスフローコントローラで…

当社独自の自己温度補正方式のセンサを採用（米国、日本特許）し、各種面実装規格（1.125インチ）に対応したデバイスネット対応のマスフローコントローラ 【特長】 ○デバイスネットインターフェイスのデジタルマスフローコントローラ 　 (SEMI E54, ODVA SEMI SIG MFC Profile) ○高性能（メタルシール、ピエゾバルブ、高精度、マルチガス対応） ○＋11〜24V...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社リンテック 東京営業所

ソフト排気用アングルバルブ　Series 29.0

大きな差圧に対応可能！

-大きな差圧対応 -絞り開口部はメモリでの設定が可能 -アングルおよびインラインボディ...リーク量 バルブボディ、バルブシート : 1 × 10 – 9 mbar ls 1 使用圧力範囲 DN 63-80: 1 × 10 – 8 mbar～4 bar (abs) DN 100-160: 1 × 10 – 7 mbar～2 bar (abs) プレートにかけ得る許容...

メーカー・取り扱い企業： VAT株式会社

吸引・加圧両用ポンプ「完全気密」

吸引・加圧両用ポンプ「完全気密」

漏れないピストン式真空・加圧ポンプ「完全気密」 小型で、従来にない高真空・高圧力を提供いたします。 シリンダー32Φ　圧縮工程4ｍｍ　到達真空度-97kPa　最高圧力0.9MPa　吐出量4.5L/min　出力DC24V-25W AC100V-40W...漏れないピストン式真空・加圧ポンプ「完全気密」 小型で、従来にない高真空・高圧力を提供いたします。 シリンダー32Φ　圧縮工程4ｍｍ　到...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社中央技研工業 岐阜事業所

大幅な省エネ効果を実現！新明和工業ターボブロワturbo max

実機デモ、省エネシミュレーションいたします！ 排水処理の電気代20％…

新明和工業製の新型曝気用ブロワー『TurboMAX』は、空気軸受と高効率インペラ、高効率モータの搭載により 排水処理にかかる電気料金やメンテナンス費用の大幅な削減が可能です！ デモ、シミュレーション、設置工事は新明和工業代理店の株式会社京二にお任せ下さい！ 水処理経験豊富な専門営業が設置事例を交えてご提案をさせていただきます。 通常のメンテナンスはフィルター掃除のみ、オイルを使わな...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社京二 本社、名阪営業所、南関東営業所、千葉営業所、北関東営業所、東北営業所、京二上海

クリスタルゲージ『M-320XG』

優れた再現性で測定が可能！熱源（フィラメント）を持たない真空計

『M-320XG』は、大気圧から1×10^-2Paまでの広い範囲にわたって、 信頼性の高い測定ができるクリスタルゲージです。 水晶振動子の共振インピーダンスが圧力に応じて変化するという現象を利用し、 はるかに再現性が高く、また大気圧付近での安定性の高い測定が可能。 あら引きゲージとしての用途以外に、チャンバの大気圧ベントの検出用の 圧力スイッチとして、またプロセス圧力の測定など...

メーカー・取り扱い企業： キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社

クリスタルイオンゲージ『M-336MX』

高精度、低真空領域において優れた再現性！大気圧から超高真空まで広い圧力…

『M-336MX』は、低真空領域の測定には優れた再現性と応答性をもつ クリスタルゲージを、高真空領域には長年の実績を誇るミニチュア B-Aゲージを採用したコンビネーションゲージです。 大気圧から超高真空まで、広い圧力領域をこの1台で測定が可能。 真空装置の粗引き・到達圧力測定、半導体・電子部品製造装置の 圧力測定などにお使いいただけます。 【特長】 ■クリスタルゲージとミ...

メーカー・取り扱い企業： キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社

透過密閉型 マイクロフォーカスX線源『G-511シリーズ』

高解像度・高倍率！X線管寿命の自己診断機能で、計画的な装置保守に貢献し…

『G-511シリーズ』は、素早い画像取得ができ、ターゲットの 回転調整不要の透過密閉型マイクロフォーカスX線源です。 ウォーミングアップは3分以内で立上げ時の長い待ち時間を解消。 X線管寿命の自己診断機能で、計画的な装置保守に貢献します。 【特長】 ■110kV昇電圧1秒以内 ■ターゲットメンテナンスフリー ■ウォーミングアップ3分以内 ■X線管寿命の自己診断機能 ■...

メーカー・取り扱い企業： キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社

振子式高真空バルブ　Series 16.2

コンパクトな真空封止用バルブ

-バルブの開閉時に振動・パーティクルの発生が少ない -ボディ分割構造により容易で迅速なメンテナンスが可能 -分解、クリーニング後の調整不要...サイズ: DN 200-550mm (8“ – 22“) アクチュエータ 圧空作動式: 単動シリンダー 、閉動作はスプリング（NC） 3位置圧空作動式: 単動シリンダー、閉動作はスプリング（NC） ボディ材質: アルミニウム 軸シ...

メーカー・取り扱い企業： VAT株式会社

【納入事例】地方独立行政法人大阪産業技術研究所様

多層膜の作成を自動で実行することが可能なスパッタ装置の納入事例をご紹介…

地方独立行政法人大阪産業技術研究所様に、マグネトロンスパッタリング 装置を納入した事例を紹介させていただきます。 今回納入しました装置は、当社の「MS-3C100L型」で、スパッタ室、ロード ロック室(LL室)、真空排気系、ガス導入系、電源系、基板温度制御系および PCと制御装置からなる操作・制御系により構成。 スパッタ室には、ターゲットを取り付けるカソードが3元搭載されており、...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

ロールツーロール式真空成膜装置

試験研究に好適な小型ロールツーロール成膜装置！

『ロールツーロール式真空成膜装置』は、ロールツーロールにて フィルム基板上に連続的に薄膜形成が可能な装置です。 コンパクトでエコノミーな装置なので、研究開発に好適。 フィルム搬送系に工夫をすることで、高速成膜が可能になります。 ご要望の際はお気軽に、お問い合わせください。 【主な仕様】 ■成膜方式：DCマグネトロンスパッタリング（オプションにてRFに対応） ■基板搬送：ロ...

メーカー・取り扱い企業： ユースエンジニアリング株式会社

射出成形機連動型高速スパッタ・重合システムSPP-SERIES

樹脂基板への金属膜、保護膜が全自動で成膜可能！

新しく開発された射出成形機連動型高速スパッタ・重合システムSPP-SERIESは、自動車・装飾部品などで用いられる樹脂基板への金属膜、保護膜の自動成膜が可能です。 射出成形された基板を全自動で真空成膜（スパッタリング及び重合）することが可能です。 【特徴】 ○全自動 ○サイクルタイム： 80sec（Al：100nm＋SiOx：20nm） ○高い密着度 →アンダーコート無しでも高密着...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社昭和真空

大型角型ゲートバルブ FLAPVAT　Series 06.8

短い開閉時間による高いスループット

-保有コストが低い -短い開閉時間による高いスループット -お客様指定のデザイン ...開口サイズ 50 × 500 mm～100 × 3000 mm (1.97“ × 19.69“ ～ 3.94“ × 118.11“) アクチュエータ 圧空作動式: 複動シリンダー リミットスイッチ付き ボディ材質: アルミニウムまたはステンレススチール 軸シール: 回転軸シール ...

メーカー・取り扱い企業： VAT株式会社

その他各種真空装置

電子顕微鏡関連装置やガス量測定装置など！当社の真空装置他オーダー品をご…

当社で取り扱う各種真空装置をご紹介いたします。 電子顕微鏡関連では「電子顕微鏡試料ホルダー保存装置」や「UHV電子顕微鏡用 静電偏向型電子銃」をラインアップ。 また、簡易的なガス定量分析に好適な「ガス量測定装置」もご用意しております。 ご用命の際はお気軽にお問い合わせください。 【電子顕微鏡試料ホルダー保存装置 仕様】 ■ホルダー保存用マニホールド：6ヶ ■到達圧力：×1...

メーカー・取り扱い企業： アトーテック　株式会社

大型角型ゲートバルブ SOLVAT　Series 06.6

過酷なプロセスおよび高温に対応した設計

-短い開閉時間による高いスループット -過酷なプロセスおよび高温用の設計 -バルブのフランジの面間距離が小さい...開口サイズ: 50 × 500 mm～300 × 3000 mm (1.97“ × 19.69“～11.81“ × 118.11“) アクチュエータ 圧空作動式: 複動シリンダー リミットスイッチ付き ボディ材質: アルミニウムまたはステンレススチール 軸シ...

メーカー・取り扱い企業： VAT株式会社

大型角型ゲートバルブ TWINVAT　Series 06.1

軽量コンポーネントによる高速動作が可能な大型角型ゲートバルブ

-軽量コンポーネントによる高速動作速度 -メンテナンス中のシステム停止時間なし -3つの異なるサービスポジション -メンテナンス中の安全モード...リーク量: バルブボディ、バルブシート < 1 × 10-7 mbar Is-1 (< 1 × 10-8 Pa m3 s-1) バルブ閉方向のバルブボディおよびゲートにかけ得る許容最大差圧: ≤ 1 bar (≤ 1 × 10 -5 Pa...

メーカー・取り扱い企業： VAT株式会社

流速・流量計測機器　ピトー管式流速・流量計システム FV-21

配管抵抗の小さなピトー管を用いた 経済的な流速流量計システム。

種々の気体の流速・流量の計測制御に最適です。 ...【製品の特長】 ○計測値の移動平均時間の設定が可能　0～18秒 ○流速及び流量表示桁の設定が可能　小数点位置を0～3桁で選定（例 0.000m3N/h） ○流量出力スケーリングの設定が可能　（例 0～300m3N/h→DC4～20mA） ○流量補正演算の標準状態を0°C状態、20°C状態の設定可能（m3N/h、m3N/min時） ○温...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社岡野製作所

高電流密度イオンビーム型イオン銃

EUROVAC社製VARIAN型廉価版3keVイオン銃

EUROVAC社(スウェーデン国)は、30年以上前に設立され、ミュンヘンのパーキンエルマー社PHI部門出身の物理学者たちによって運営されています。実用的、技術的、基礎的な研究課題の解決に向け、お客様をサポートする体制を整えています。1998年にEUROVAC社は、バリアン表面科学部門(米国/パロアルト)を買収し、イオン銃、電子銃、LEED、RHEED、CMAの製造をスウェーデンのストックホルムに移...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社テク

真空装置のプロが書く『真空基礎知識』技術資料進呈中！※展示会出展

用語集、単位換算表、記号の意味、計算事例など、現場で使える知識を１冊に…

真空の総合メーカーとして、60年以上にわたり培った当社のノウハウを、 1冊に凝縮した技術資料『真空基礎知識』を、ただいま無料進呈中です！ 真空関連装置に関わる方であれば必須の「用語集」や「記号の使い方」など、 現場でスグに活用できる知識解説や資料が満載です！ 【資料の概要】 ■単位換算表 ■真空用語 ■真空関係シンボルマーク ■気体の性質 ■コンダクタンスと排気時間の計算...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アルバック／ULVAC, Inc.

ゴールドファーネス

均熱帯がφ50×300L 1000℃±1℃以内！不活性ガス導入により試…

アトーテックで取り扱う『ゴールドファーネス』をご紹介します。 常温から1000℃まで約11分で急加熱できる「超伝導線材熱処理炉」は、 不活性ガス導入により試料の急冷が可能。均熱帯がφ50×300L、 1000℃±1℃以内となっております。 この他、「横型真空熱処理炉」もご用意しております。ご用命の際は お気軽にお問い合わせください。 【超伝導線材熱処理炉 特長】 ■常温か...

メーカー・取り扱い企業： アトーテック　株式会社

中古真空装置・機器販売のご案内

全機種オーバーホールして完全稼動した状態で納品しております

株式会社グリーンテックでは、完全オーバーホールを実施して性能 確認した中古真空機器・装置の販売・メンテナンス及びレンタルを 行っております。 取扱商品はスパッタ装置・真空蒸着装置をはじめとして、Heリークディ テクタ等の計測器や電源・電子銃・真空計・ポンプ等の単品も販売して おりますので、ご要望の際はお気軽に、お問い合わせください。 【特長】 ■販売品在庫数豊富 ■完全オー...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社グリーンテック 大阪本社

小型ポンプ用ブラシレスDCモータ【小型ポンプ用】

小型ポンプ用ブラシレスDCモータ 小型ポンプにぴったり！ ポンプの効…

こちらの小型DCブラシレスモーターは、最高12000rpmの高速回転が可能で、小型ポンプ・小型撹拌器などに最適です。 ポンプ（オランダ語: pomp）は圧力の作用によって液体や気体を吸い上げたり送ったりするための機械です。 機械的なエネルギーで圧力差を発生させ液体や気体の運動エネルギーに変換させる流体機械である。 喞筒（そくとう）ともいう。 動物の心臓も一種のポンプである。また、機...

メーカー・取り扱い企業： コアレスモータ株式会社 本社

*ロータリーポンプDUOシリーズ ／ 2 段式ステージ

業界トップクラスの基本性能

マグネットカップリング採用 (M タイプ) 従来のようなシャフトシール部からのオイル漏れなし リークタイト(10-6 pa m3/s) DCモーターバージョン •DC24V入力電圧で駆動 •運転時温度範囲：-20℃～＋60℃ •低い消費電力　<100W •低騒音　<50dB(A)...ファィファーバキューム社は独国アスラーに本社を構え、1890年より最先端の真空...

メーカー・取り扱い企業： 伯東株式会社 本社

コールドカソードゲージ『M-370CG』

優れた測定安定性！未放電による測定停止、圧力表示値のフラツキを低減しま…

『M-370CG』は、熱フィラメントを使用しない堅牢な コールドカソードゲージ（冷陰極電離真空計）です。 高真空から超高真空まで安定した圧力測定を実現。 優れた測定安定性で、未放電による測定停止、 圧力表示値のフラツキを低減します。 【特長】 ■高真空下での良好な起動性 ■未放電・放電遅れを解消 ■容易なメンテナンスでメンテナンスは部品交換のみ ※詳しくはPDF資...

メーカー・取り扱い企業： キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社

EtherCAT対応マスフローコントローラ　MC-5000C

EtherCATに対応した高精度マスフローコントローラです

当社独自の自己温度補正方式のセンサを採用（米国、日本特許）し、各種面実装規格（1.125インチ）に対応したEtherCAT対応のマスフローコントローラ 【特長】 ○デジタルインターフェイスのデジタルマスフローコントローラ 　 (SEMI E54. 20-1108) ○高性能（メタルシール、ピエゾバルブ、高精度、マルチガス対応） ○＋11〜24V DC の単電源動作 ○各種面実装規格...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社リンテック 東京営業所

スパッタソース 「超高真空対応マグネトロンスパッタソース」

マグネットを取り外すことにより、300℃までのベーキングが可能

本スパッタソースは超高真空対応の汎用型小型マグネトロンスパッタソースです。 本体がすべてベーカブルであるため、反応性の高いターゲットでも、不純物の少ない成膜が可能です。 【特徴】 ○Oリングを使用しない超高真空タイプ ○スパッタソースを超高真空に保持したまま、マグネットの取り外しが可能 ○マグネットを取り外すことにより、300℃までのベーキングが可能 ○ターゲットの固定はリテイナー...

メーカー・取り扱い企業： 北野精機株式会社