工作機械クーラント用ファインバブル浄化装置『バブルフレッシャー』

PR夏場に発生する腐敗臭を低減！液中の細かい汚れの浮上分離により、切削液の…

『バブルフレッシャー』は、クーラント中に浮遊する汚れを水面に集めて、 日常の清掃を簡単にするファインバブル浄化装置です。 腐敗臭を低減し、作業環境をより良くします。 また、クーラント寿命が長くなり、作業性・生産性が向上。 DC24V専用ポンプにより、低電圧安全設計を実現しています。 【特長】 ■小型で邪魔にならない ■水中に置くだけ簡単設置 ■薬剤なしで安全に臭い抑制 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社坂本技研

集塵装置内蔵切断機　アルミ形材用切断機『UCA-400DC型』

PR簡易集塵装置をビルトインした省エネ&コンパクト切断機 。 …

狭い場所に設置出来る 溜まった切粉はワンタッチで回収が行える切断機。 小型サイクロン搭載のアルミ形材切断機UCA-400DC型のご紹介です。 「溜まった切粉の掻き出しに時間を掛けたくない」 「集塵機を置きたいがスペースが無い」 「集塵機も導入したいが予算が無い」 など　　 UCA-400DC型は、お客様の声から生まれた切断機です。 別置き集塵機の十分の１...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社奥村機械製作所

スプレーコーター　立体レジスト塗布装置 DC110/DC210

MEMSデバイス及び各種半導体研究用に開発されたスプレーコー夕ー！

スプレーコーター　立体レジスト塗布装置 DC110/DC210は、はMEMSデバイス、及び各種半導体研究用に開発されたスプレーコー夕ーです。微細粒子化が可能なスプレーノズルにより、サブストレート上の傾斜面、台形や直角頂点部といった従来のスピンナーで塗布が困難であった部分にも均一な膜を形成できます。スピンナーでは実現が難しいキャビティ、ビアホール、トレンチ構造へのレジスト埋め込み塗布も可能です。塗布...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ナノテック

立体レジスト塗布装置「スプレーコーター　DC110/DC210」

スピンナークラスの薄膜から超厚膜まで対応。膜厚は１μｍ～６００μｍまで…

MEMSデバイス、及び各種半導体研究用に開発されたスプレーコーター ...【特徴】 ○微細粒子化が可能なスプレーノズルにより 　サブストレート上の傾斜面、台形や直角頂点部といった 　従来のスピンナーで塗布が困難であった部分にも均一な膜を形成できる ○スピンナーでは実現が難しいキャビティ、ビアホール 　トレンチ構造へのレジスト埋め込み塗布も可能 ○塗布膜厚は、スピンナークラスの薄...

メーカー・取り扱い企業： 三明電子産業株式会社

オプティマイズドDCテストシステム

オプティマイズドDCテストシステム

シバソクは、1974年に国内初のリニアテスターを発売以来、常に時代のニーズに合ったICテスターを国内外半導体メーカに納入してきている。今やリニアIC、車載用などの高電圧・大電流デバイスやミックスドシグナル用として国内のトップシェアを誇るWL25/WL27、世界No.1シェアのPDPドライバーICテスターS230など豊富な製品ラインアップを有している。 2007年4月発売のWL05VZは、シバソク...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社シバソク

DCテスタ『471-TT』

複数チップ同時測定によりコストパフォーマンス向上！2KV/20Aの測定…

『471-TT』は、LANを採用することで、データ通信時間の大幅短縮を 実現したDCテスタです。 長年蓄積してきた測定技術を活用することにより、ウェハ測定工程における 複数チップ同時測定を実現。 当社の強みである高電圧・大電流測定技術も継承。複数チップを同時測定処理 することにより従来テスタに比べ大幅な生産性の向上を図ることができます。 【特長】 ■複数チップ同時測定(8...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テセック

DCテスタ『431-TT』

大電流・高圧測定、高速・パラレル測定にも対応！柔軟で多様なシステム構成…

『431-TT』は、パワーデバイス測定のノウハウを継承し、かつ V/Iソース測定モジュールを採用した新しいコンセプトのDCテスタです。 オープンなアーキテクチャーとなっており柔軟で多様なシステム構成が可能。 大電流・高圧測定、高速・パラレル測定にも対応し、オペレーション画面上 での波形モニタなどのメンテナンス機能も兼ね備えています。 【特長】 ■VI ソースメジャモジュール...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テセック

スパッタリング装置『nanoPVD-S10A』

高機能 コストパフォーマンスに優れた研究開発用RF/DCマグネトロン式…

高機能 ハイパフォーマンス RF/DCマグネトロンスパッタリング装置 ● 到達圧力5 x 10-5Pa（*1x10-4Paまで最速30分！） ● スパッタ源 x 3：連続多層膜膜制御, 同時成膜 ● 膜均一性±3% ● 多彩なオプション：上下・回転、ヒータ、磁性材用カソード、他 ◉ nanoPVDは、最大スパッタ源3源+3系統（MFC制御）、RF/DC PSUの増設（最大2電源まで）...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

小型スパッタ装置『SS-DC・RF301』

小型設計ながら性能はキープ！高温での基板加熱が可能なスパッタ装置

『SS-DC・RF301』は、2"マグネトロンカソードと基板加熱機構をそれぞれ 1基搭載した小型スパッタ装置です。 シンプルな設計により、事務机の約半分のスペースに設置可能。 基板上下機構を採用し、ターゲットと基板間の距離を任意に設定できます。 基板加熱を高温で行えるほか、電気とガスのみでの運転や、スパッタアップ とスパッタダウンの組み替えなども可能です。 【特長】 ■シ...

メーカー・取り扱い企業： アリオス株式会社

大電流DC放電型ラインビームイオン源『LBS-120HC』

大型基板対応可能！完全自動化された電源制御システムによる高速ビーム調整

『LBS-120HC』は、高速イオンビームミリング装置に適用できる 大電流DC放電型ラインビームイオン源です。 熱陰極を用いた大電流密度イオンビームで、最適化された 磁界設計による優れたビーム分布均一性が特長。 また、完全自動化で高速ビーム調整を可能とするように設計した 専用電源「SPS-HC2」もご用意しております。 【LBS-120HC 特長】 ■熱陰極を用いた大電流...

メーカー・取り扱い企業： ノベリオンシステムズ株式会社

【中堅向け】半導体向けDC計測：オープンショート・リークテスト

「LabVIEW」を使用した半導体テストプログラムの手引き・DC計測編…

中堅エンジニア向けに、ものづくりの現場で役立つプログラミングの実践書をお届けします。 今回は、半導体のオープンショート・リークテストを行うプログラムの作り方です。 半導体メーカーのエンジニアを悩ませる、検査速度と検査精度。 装置メーカーと検査速度・検査精度についてもっと突っ込んだ議論を行いたい！自分たちでカスタマイズしたい！という方へお奨めです。 このテキストでは、現場でも採用されてい...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ペリテック 神奈川エンジニアリングセンター、東京営業所、ベトナム事業所

【導入事例】半導体バーイン装置（RF/DC）

発振しにくい治具を実現！試験条件設定、通電試験、データ取得まで全自動化…

当社では長年にわたり日本国内の大手半導体メーカ様へ、高周波パワーFET用通電装置の納入実績がございます。 開発新規デバイスの信頼性試験や生産ラインでの使用等、お客様の使用用途に合わせた各種機能に対して、自社でカスタム対応。 また、ますます小型、複雑化するデバイスパッケージに対応した治具に関しても、高周波コンポーネントの設計・製造メーカであるメリットを活かして、高周波特性を考慮したデバイ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社多摩川電子

【MiniLab-SA125A】 多元マルチスパッタ装置

高機能マルチスパッタリング装置 6元マルチスパッタ（Φ4inch用）…

連続多層膜、同時成膜（2〜6元同時成膜：RF, DCをHMIより自在に配置切替） 高出力RF, DC電源, パルスDC電源を独自の'プラズマ・スイッチング・リレー'モジュールでマルチカソードに自在に配置を組み合えることが可能、様々な用途に柔軟に対応 高温基板加熱ステージ（二重ジャケット水冷式）オプション -1) Max600℃（ランプ加熱） -2) Max1000℃（C/Cコンポジット） ...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

ファンフィルターユニット（FFU）

筐体に合ったサイズにカスタマイズFFUの提案が可能です。

貴社製造装置のご要望に応じた特注対応のFFUがご提案できます（※1)。 何なりとご要望をお聴かせください。 【主な特注可能な仕様】 1.FFU外形サイズの自由度 貴社筐体とのマッチングを考慮し、必要風量に応じたファンモータを 組み合わせることで最適なFFUを提供いたします。 2.各種フイルタの搭載が可能 　HEPA、ULPA、ボロン対応、低有機ガス対応の他、酸/アルカ...

メーカー・取り扱い企業： トーアメック株式会社

RFプローブカード　（高周波プローブカード）

RFプローブカード　（高周波プローブカード）

RFプローブカード（高周波プローブカード） 　 周波数 / スペック / RF最大ピン数 ・DC-10GHz / IL<1.5dB RL>15dB / 8 ・DC-10GHz / IL<3dB RL>10dB / 32 ・DC-40GHz / IL<1.5dB RL>18dB / GSG, GSGSG等規定 特長 ・イニシャルコスト不要 ・短納期 ・高耐久 ・針先へ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクノプローブ

小型圧力ゲージ　ＰＧ−２０

半導体のガス供給系の集積化システムに対応した小型圧力ゲージ

半導体のガス供給系の集積化システムに対応した小型圧力ゲージ ＜特長＞ ■表示部外径20mm(1.125インチ)／1.5インチベースブロックへの着脱が容易 ■視認性に優れた3・1／2桁LEDデジタル圧力表示 ■配管の方向に合わせて表示部の回転が可能 ■スイッチ出力（NPN／PNP）、電圧出力、電流出力の選択が可能 ■センサ素子と継ぎ手は電子ビーム（EB）溶接による一体構造 ...

メーカー・取り扱い企業： ニデックコンポーネンツ株式会社 (旧社名: 日本電産コパル電子株式会社)

スピンドルダイシング装置『7120/7130シリーズ』

ダイシングの問題点を解決！先進的プロセス技術により生産性の向上に貢献

『7120/7130シリーズ』は、2"及び4"の低振動スピンドル装置で、 ご要求に対し納得の行く使い勝手と柔軟性を提供します。 ターンテーブルが高いトルクと高い精度（1ミクロン）を有しています。 X軸の動程が長く、ロード/アンロードを容易にします。 また、独特のアルゴリズムによってブレード平均消耗時間に基づき、 従来の方法の1/3までブレードの消耗率を予告し、時間当り生産量を ...

メーカー・取り扱い企業： 日本技術産業株式会社

精密切断機『クリスタルカッターNeo Expensive』

操作性をUPした新基軸設計、三軸可動型(テーブル自動送り装置付)の上刃…

『クリスタルカッターNeo Expensive』 構造用セラミックスなど難削材料（窒化硅素・炭化硅素）や、超硬金属などを高能率にマルチ切断（またはシングル切断）できる本格的な精密切断機です。 ■主軸の高剛性、高出力はもとより、微小切込量やテーブル送り速度の幅広い調節機能があるため、切断時のチッピングの発生やクラックの誘発を最小限に抑える事が出来ます。 ■X軸（切断送り方向）に対し斜め30度を正...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社マルトー 本社

試料切断機『クリスタルカッターNeo Expensive』

操作性をUPした新基軸設計、三軸可動型(テーブル自動送り装置付)の上刃…

『クリスタルカッターNeo Expensive』 構造用セラミックスなど難削材料（窒化硅素・炭化硅素）や、超硬金属などを高能率にマルチ切断（またはシングル切断）できる本格的な精密切断機です。 ■主軸の高剛性、高出力はもとより、微小切込量やテーブル送り速度の幅広い調節機能があるため、切断時のチッピングの発生やクラックの誘発を最小限に抑える事が出来ます。 ■X軸（切断送り方向）に対し斜め30度を正...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社マルトー 本社

自動精密切断機『クリスタルカッターNeo Expensive』

操作性をUPした新基軸設計、三軸可動型(テーブル自動送り装置付)の上刃…

『クリスタルカッターNeo Expensive』 構造用セラミックスなど難削材料（窒化硅素・炭化硅素）や、超硬金属などを高能率にマルチ切断（またはシングル切断）できる本格的な精密切断機です。 ■主軸の高剛性、高出力はもとより、微小切込量やテーブル送り速度の幅広い調節機能があるため、切断時のチッピングの発生やクラックの誘発を最小限に抑える事が出来ます。 ■X軸（切断送り方向）に対し斜め30度を正...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社マルトー 本社

切断機『クリスタルカッターNeo Expensive』

操作性をUPした新基軸設計、三軸可動型(テーブル自動送り装置付)の上刃…

『クリスタルカッターNeo Expensive』 構造用セラミックスなど難削材料（窒化硅素・炭化硅素）や、超硬金属などを高能率にマルチ切断（またはシングル切断）できる本格的な精密切断機です。 ■主軸の高剛性、高出力はもとより、微小切込量やテーブル送り速度の幅広い調節機能があるため、切断時のチッピングの発生やクラックの誘発を最小限に抑える事が出来ます。 ■X軸（切断送り方向）に対し斜め30度を正...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社マルトー 本社

自動切断機『クリスタルカッターNeo Expensive』

操作性をUPした新基軸設計、三軸可動型(テーブル自動送り装置付)の上刃…

『クリスタルカッターNeo Expensive』 構造用セラミックスなど難削材料（窒化硅素・炭化硅素）や、超硬金属などを高能率にマルチ切断（またはシングル切断）できる本格的な精密切断機です。 ■主軸の高剛性、高出力はもとより、微小切込量やテーブル送り速度の幅広い調節機能があるため、切断時のチッピングの発生やクラックの誘発を最小限に抑える事が出来ます。 ■X軸（切断送り方向）に対し斜め30度を正...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社マルトー 本社

自動試料切断機『クリスタルカッターNeo Expensive』

操作性をUPした新基軸設計、三軸可動型(テーブル自動送り装置付)の上刃…

『クリスタルカッターNeo Expensive』 構造用セラミックスなど難削材料（窒化硅素・炭化硅素）や、超硬金属などを高能率にマルチ切断（またはシングル切断）できる本格的な精密切断機です。 ■主軸の高剛性、高出力はもとより、微小切込量やテーブル送り速度の幅広い調節機能があるため、切断時のチッピングの発生やクラックの誘発を最小限に抑える事が出来ます。 ■X軸（切断送り方向）に対し斜め30度を正...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社マルトー 本社

ポイントタイプ液漏れ検知器『リークラーン OD-7』

液漏れを早期に発見し事故を最小限に防止！油、有機溶剤検知器にＲｏＨＳお…

ポイントタイプ液漏れ検知器「リークラーン OD-7」は、多種類の油や有機溶剤に対応する高性能なセンサと組み合わせて使用する機器です。 一般工場・各種プラント・火力、原子力発電所等の機器や、配管からの液漏れを早期に発見し、事故を最小限に防止することができます。 【特徴】 ■検知方法は抵抗変化方式を採用 ■液漏れと断線の警報を各々別の外部接点から出力することが可能 ■対象液体や液漏れ状態...

メーカー・取り扱い企業： ラポールプラントエンジニアリング株式会社

【マグネトロンスパッタリングカソード】

不純物なく金属・絶縁物等を堆積するRF, DC, パルスDC対応高効率…

【特徴】 ・高真空対応 ・Φ2inch、Φ3inch、Φ4inchサイズ ・クランプリング式を採用、ボンディングが不要 ・メンテナンス性に優れ、容易にターゲットの交換が可能 ・シャッター、チムニーポート、ガスインジェクション、磁性材用高強度マグネット、などのオプションが豊富 ・各種フランジサイズ接続に対応...【主仕様】 ■RF, DC, パルスDC対応 ■ターゲット厚さ：1/16...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

DCRF混在プローブ　　（電源と高周波の混在プローブ）

DCRF混在プローブ　　（電源と高周波の混在プローブ）

RFプローブに合わせて使用頂けるDCRF混在プローブ （電源と高周波の混在プローブ） 特長 ・完全国内生産 ・DC−40GHz ・GSG, GSSG等のRFにDCを加えたプローブです。 ・お客様のPADレイアウトに合わせて製作致します。 ・ご指定箇所へキャパシターを実装可能。 ・短納期 ・ローコスト（イニシャルコスト不要） ...RFプローブに合わせて使用頂けるDCRF混在...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクノプローブ

完全自動化ダイシング装置『7220シリーズ』

開発から量産へ！効率的なウエハ運搬や迅速正確な位置合わせにより生産性ア…

『7220シリーズ』は、難しいダイシングで求められる生産性と品質に合致する 高度な自動化とプロセス監視機構を広く提供する省スペースな完全自動化装置です。 効率的なウエハ運搬装置での流れ作業をはじめ、迅速正確な位置合わせや ブレード磨耗予告アルゴリズムで高さ測定時間を短縮し、生産性を高めます。 専用のドレスカセットで自動ブレード研磨が行えるほか、 タッチパネルディスプレーで操作性に...

メーカー・取り扱い企業： 日本技術産業株式会社

メタルプラズマコーター「AT-ET」【導電性薄膜を作製！】

省スペース&低コストで導電性薄膜を作製！電子顕微鏡観察時に金属被膜のコ…

メタルプラズマコーター「AT-ET」は、電子顕微鏡観察時における試料の帯電を防止するためのAu（金）、Ag（銀）、Pt（白金）等の導電性薄膜を作製する装置です。ロータリーポンプを本体に内蔵したことで、省スペースでの設置が可能となりました。真空度の表示は読み易いデジタル表示で、ボタン1つで排気～コーティング～終了（標準処理時間約5分）までを自動で行える簡単操作のコンパクトなメタル薄膜作製専用コーター...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エーティーエー

【多目的真空蒸着装置】スパッタリングソース

多目的真空蒸着装置HEXシステム用RF&DCスパッタリングソース

多目的真空蒸着装置HEX／HEX-L用のスパッタリングソースです。 ターゲットが導体の場合はDCモードで、絶縁体の場合はRFモードで使用することができます。ガスフードが標準装備されているため、ターゲット表面近傍での圧力を高め、成膜中のチャンバー圧力を低く抑えることが可能です。 冷却水配管およびガス配管の接続には、クイックリリースコネクターが採用されています。そのため、工具を使用することなく...

メーカー・取り扱い企業： テガサイエンス株式会社

金属箔低抵抗チップ抵抗器『KRLシリーズ』

最高175℃の耐熱性！大電流と広い定格電力をカバーする豊富なラインアッ…

『KRLシリーズ』は、広い定格電力の電流検出抵抗（シャント抵抗）を検出できる、低抵抗の長辺電極チップ抵抗器です。耐熱性、抵抗温度係数に優れ、温度上昇を抑えた放熱対策を可能にし、「放熱問題があり、製品の小型化が難しい」といった問題点を解決。高耐熱品、下面電極・コの字電極タイプなど豊富にラインアップし、自動車関連機器、各種電源装置、OA機器など、様々な用途に活躍します。 【特長】 ■AEC-Q...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社オリナス 東京営業所、名古屋営業所、京都営業所、大阪営業所、香港

蒸着/スパッタ・デュアルチャンバーシステム【MiniLab】

2台の薄膜実験装置をロードロック機構で連結。異なる成膜装置（スパッタ、…

2台の薄膜実験装置をロードロック機構で連結。異なる成膜装置（スパッタ - 蒸着、など）をロードロックでシームレスに連結。Moorfield社独自のロードロックシステムにより、左右・後方へのプロセス室への連結も可能です。...【装置構成事例】 1. MiniLab-E080A（蒸着装置） ・基板サイズ：Φ8inch ・EB蒸着:7ccるつぼ x 6 ・抵抗加熱蒸着 x 2 ・有機蒸着限 x...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

PRIME TECH-車両用新エネルギー-CWT

用途で使い分ける車両用新エネルギー

PRIME TECH-車両用新エネンルギー-CWTは、Portable Charger (for EV,1ψ, 16A)とMini Portable Charger (for EV, 1ψ, 16A)、AC Charging Station (for EV, 1ψ, 32A)とAC Charging Station (for EV, 3ψ, 32A)とDC Charging Station(fo...

メーカー・取り扱い企業： PRIME TECH SOLUTIONS Co., LTD PRIME TECH (Shanghai) Co., LTD