• レンズ用表面形状測定機 MarSurf LD Aspheric 製品画像

    レンズ用表面形状測定機 MarSurf LD Aspheric

    PR非球面レンズの両面を一度に測定できる表面形状測定機。高精度&高速測定で…

    特許取得の独自構造によりレンズの表・裏を一度に測定出来る 表面形状測定機『MarSurf LD 130/260 Aspheric 2D/3D』 2024年4月 OPIE'24(株)マブチ エス アンド ティー ブースに実機を展示! レンズの表裏を変える必要がなく、セッティングの手間を削減できるほか、 高精度・高速測定が行えるため、測定作業の短縮に貢献。 また、0.5mNという低測定圧での測定が可...

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    メーカー・取り扱い企業: マール・ジャパン株式会社

  • コネクタ形状を間違えた!→【光アダプタ/変換プラグ】で解決します 製品画像

    コネクタ形状を間違えた!→【光アダプタ/変換プラグ】で解決します

    PR「短くて繋げない」「コネクタ形状が違う」ケーブルの緊急トラブルを解決し…

    様々な場面で必要になる「ケーブル」について、こんなトラブルはありませんか? 「ケーブルが明日必要なのに、ケーブルが短い!」 「コネクタの形が違うため接続が出来ない!調達する時間もない!」 ★データコントロルズの光アクセサリで、こんな緊急トラブルを解決します★ 中継アダプタ、変換プラグ、光パッチパネルなど常時在庫多数なため 15時までのご注文で最短翌日に納品可能です! 【トラブル解決事例】 ケ...

    メーカー・取り扱い企業: データコントロルズ株式会社

  • 10nmフィードバックステージコントローラ FC-511 製品画像

    10nmフィードバックステージコントローラ FC-511

    10nm分解能で位置決め制御!検査や研究の再現性向上に!

    10nmフィードバックステージと組み合わせて10nm分解能位置決め装置として使用できます。 ステージに内蔵されているリニアエンコーダからの位置情報をもとにフィードバック(フルクローズドループ)制御を行って...

    メーカー・取り扱い企業: シグマ光機株式会社

  • 1nmフィードバックステージコントローラ FC-911 製品画像

    1nmフィードバックステージコントローラ FC-911

    1nm分解能で位置決めステージを制御!

    1nmフィードバックステージを1nm分解能で制御することができます。 ステージ内のリニアエンコーダの値をもとにフィードバック(フルクローズドループ)制御を行います。 コマンドにより通信制御ができ、容易...

    メーカー・取り扱い企業: シグマ光機株式会社

  • 真空対応5nmフィードバックステージシステム 製品画像

    真空対応5nmフィードバックステージシステム

    真空チャンバー内での位置決め用途に リニアエンコーダ内蔵により5nm分…

    光学式リニアエンコーダに対して、5nm分解能と±10nmの再現性を実現した超高分解能位置決め装置(フィードバックステージシステム)。 真空度10^-4 Paまでの真空チャンバー内で使用できます。 ピエゾを利用した位置決め装置と比...

    メーカー・取り扱い企業: シグマ光機株式会社

  • 1nmフィードバックステージ FS-1020UPX / XY 製品画像

    1nmフィードバックステージ FS-1020UPX / XY

    【精密位置決め装置】1nmの高分解能はそのままに、移動速度が早くなりま…

    光学式リニアエンコーダを内蔵し、内蔵スケールの読み取り値に対して『1nm』分解能で位置決めが可能です。 ストロークは『 20mm 』と長く、搬送と精密位置決めが1台でできます。 ナノメートルオーダーの波長を扱うような研究分野で利用されています。...

    メーカー・取り扱い企業: シグマ光機株式会社

  • 真空対応1nmフィードバックステージFS-1020UPX(V) 製品画像

    真空対応1nmフィードバックステージFS-1020UPX(V)

    【真空で使用可能】1nm高分解能・高再現性・高保持性を持った高性能位置…

    フルクローズドループ制御により高精度な繰返し位置決めが可能 ○テーブルサイズ:60mm×60mm ○テーブル移動量:20mm ○対応真空度:10-4Pa ○耐荷重:49N ○最小分解能:1nm ○最大移動速度:2mm/sec ○対応コントローラ:FC-911 ●その他機能や詳細については、お問合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...

    メーカー・取り扱い企業: シグマ光機株式会社

  • 真空対応10nmフィードバックステージ 50mm動作 製品画像

    真空対応10nmフィードバックステージ 50mm動作

    【真空対応】リニアエンコーダの位置情報で再現性が取れる10nm分解能で…

    ージを導入可能です。 ステージ内蔵の光学式リニアエンコーダの位置情報によるフルクローズドループ制御を行っているため、高精度な繰り返し位置決め性能を持っています。 50mmストロークを10nm分解能で動作させることができます。...

    メーカー・取り扱い企業: シグマ光機株式会社

  • 真空対応10nmフィードバックステージ 微小回転タイプ 製品画像

    真空対応10nmフィードバックステージ 微小回転タイプ

    【真空対応】最小分解能0.00001°で±4°動作できるエンコーダ内蔵…

    光学式リニアエンコーダを搭載した高分解能微小回転ステージです。 0.00001°分解能でストロークは±4° アウトガス対策を施し、真空中で使用可能となっております。 回転方向の調整用に適しています。 ...○フルクローズドループ制御により高精度な繰返し位置決めが可能 ○テーブルサイズ:120mm×120mm ○テーブル移動量:±4° ○繰返し位置決め精度:±0.00002...

    メーカー・取り扱い企業: シグマ光機株式会社

  • サブミクロンフィードバックステージコントローラ FC-111 製品画像

    サブミクロンフィードバックステージコントローラ FC-111

    100nm分解能で位置決め!リニアエンコーダによる位置フィードバックで…

    サブミクロンフィードバックステージと組み合わせて100nm分解能位置決め装置として使用できます。 ステージに内蔵されているリニアエンコーダからの位置情報をもとにフィードバック(フルクローズドループ)制御を行っているため、高分解能かつ再現性に優れています。...

    メーカー・取り扱い企業: シグマ光機株式会社

  • Z軸用サブミクロンステージ FS-1005Z/1010Z 製品画像

    Z軸用サブミクロンステージ FS-1005Z/1010Z

    【精密位置決め装置】50nm又は100nmの高分解能・高い位置決め再現…

    光学式リニアスケールを搭載した高分解能Z軸用位置決めステージです。 『 50nm 』(*1)又は『 100nm 』(*2)分解能でストロークは『 5mm 』又は『 10mm 』を達成しております。 独自の設計により、Z軸にありがちなテーブル面の傾きの変化を極力抑えた構成に...

    メーカー・取り扱い企業: シグマ光機株式会社

  • ロングスケールステージ FS-3000/2000シリーズ  製品画像

    ロングスケールステージ FS-3000/2000シリーズ

    【精密位置決め装置】ロングストロークで高分解能・高い位置決め再現性・位…

    光学式リニアスケールを搭載して検出誤差を少なくした高分解能ロングストローク位置決めステージです。 『 50nm 』(*1)又は『 100nm 』(*2)分解能でストロークは『 200mm 』『 300mm 』『 400mm』となっております。 自社開発リニアスケールと自社独自のフィードバック制御回路に...

    メーカー・取り扱い企業: シグマ光機株式会社

  • 真空対応サブミクロンフィードバックステージ 昇降タイプ 製品画像

    真空対応サブミクロンフィードバックステージ 昇降タイプ

    真空中で使用可能!リニアエンコーダ内蔵でサブミクロン分解能のZ軸用位置…

    光学式リニアスケールを搭載した高分解能Z軸用位置決めステージです。 『 50nm 』(*1)又は『 100nm 』(*2)分解能でストロークは『 5mm 』又は『 10mm 』を達成しております。 アウトガス対策を施し、真空中で使用可能となっております。 独自の設計...

    メーカー・取り扱い企業: シグマ光機株式会社

  • サブミクロンフィードバックステージ FS-3200X/XY 製品画像

    サブミクロンフィードバックステージ FS-3200X/XY

    【精密位置決め装置】高分解能・高い位置決め再現性・位置決め後の位置保持…

    光学式リニアスケールをステージ中央に内蔵して検出誤差を少なくした高分解能位置決めステージです。 『 50nm 』または『 100nm 』分解能(*1)でストロークは『 200mm 』となっております。 自社開発リニアスケールと自社独自のフィードバック制御回路により、高分解能、高い位置決め再現性、位置...

    メーカー・取り扱い企業: シグマ光機株式会社

  • 長ストロークに対応!精密位置決め装置 製品画像

    長ストロークに対応!精密位置決め装置

    長距離(150mm)を細かく位置決め可能!『精密位置決め装置(分解能:…

    光学式リニアスケールをステージ中央に内蔵して検出誤差を少なくした高分解能位置決めステージ。 長ストローク(150mm)を細かく(10nm単位※)位置決め可能。 ストロークが長いため、光学実験での光学遅延を作るのに適しています。 自社開発リニアスケールと自社独自のフィードバック制御回路により、高分解能、高い位置決め再現性を位置...

    メーカー・取り扱い企業: シグマ光機株式会社

  • シグマテック株式会社 会社案内 製品画像

    シグマテック株式会社 会社案内

    正確性・安全性を考慮し、常に安定したサービスを提供いたします

    【取扱製品(抜粋)】 ■フィードバックステージシステム ・1nmフィードバックステージシステム ・5nmフィードバックステージシステム ・10nmフィードバックステージシステム ・サブミクロンフィールドバックステージシステム ■真空対応フィードバックステ...

    メーカー・取り扱い企業: シグマ光機株式会社

  • 真空対応サブミクロンフィードバックステージ 100mm動作 製品画像

    真空対応サブミクロンフィードバックステージ 100mm動作

    真空中で使用可能!リニアエンコーダ内蔵でサブミクロン分解能の位置決めス…

    制御を行っているため高分解能、位置再現性に優れています。 アウトガス対策を施し、真空中で使用可能となっております。 100mmの範囲を動作可能でその分解能はコントローラによって 「50nm」または「100nm」になります。 ...

    メーカー・取り扱い企業: シグマ光機株式会社

  • 特注例 X軸・XY軸ステージ(透過穴追加) 製品画像

    特注例 X軸・XY軸ステージ(透過穴追加)

    ステージ中央にφ100mmの透過穴(開口)を追加したステージ

    ○5相ステッピングモータ、カップリング、ボールねじ、リニアスケール内蔵 ○フルクローズドループ制御により高精度な繰返し位置決めが可能 ○分解能:5nm / 10nm / 50nm / 100nm ○ストローク:30mm(※画像のステージ「FS-1030X」の場合) ※その他の仕様はお問い合わせください。...

    メーカー・取り扱い企業: シグマ光機株式会社

  • 10nmフィードバックステージコントローラ FC-514 製品画像

    10nmフィードバックステージコントローラ FC-514

    10nm分解能で位置決め。スローダウン機能搭載

    10nmフィードバックステージと組み合わせて10nm分解能位置決め装置として使用できます。 ステージに内蔵されているリニアエンコーダからの位置情報をもとにフィードバック(フルクローズドループ)制御を行って...

    メーカー・取り扱い企業: シグマ光機株式会社

  • 5nmフィードバックステージコントローラ FC-611 製品画像

    5nmフィードバックステージコントローラ FC-611

    検査や研究を効率化!5nm分解能で位置決め制御ができます。

    5nmフィードバックステージと組み合わせて5nm分解能位置決め装置として使用できます。 ステージに内蔵されているリニアエンコーダからの位置情報をもとにフィードバック(フルクローズドループ)制御を行ってい...

    メーカー・取り扱い企業: シグマ光機株式会社

  • 1nmフィードバックステージシステム(精密位置決め装置) 製品画像

    1nmフィードバックステージシステム(精密位置決め装置)

    リニアエンコーダ内蔵により1nm分解能で位置決め 可動範囲最大50mm

    光学式リニアエンコーダに対して、1nm分解能と±2nmの再現性を実現した超精密位置決め装置(フィードバックステージシステム)。 ピエゾを利用した位置決め装置と比較し、 『安価』『簡単制御』『大きなストロークがとれる』ため、 幅...

    メーカー・取り扱い企業: シグマ光機株式会社

  • 真空対応1nmフィードバックステージシステム 製品画像

    真空対応1nmフィードバックステージシステム

    リニアエンコーダ内蔵により1nm分解能で位置決め 可動範囲最大50mm…

    光学式リニアエンコーダに対して、1nm分解能と±2nmの再現性を実現した超精密位置決め装置(フィードバックステージシステム)。 真空度10^-4 Paまでの真空チャンバー内で使用できます。 ピエゾを利用した位置決め装置と比較し、...

    メーカー・取り扱い企業: シグマ光機株式会社

  • 真空対応10nmフィードバックステージシステム 製品画像

    真空対応10nmフィードバックステージシステム

    真空チャンバー内での位置決め用途に リニアエンコーダ内蔵により10nm

    ステージ内蔵の光学式リニアエンコーダに対して、10nm分解能と±20nmの再現性を実現した精密位置決め装置(フィードバックステージシステム)。 真空度10^-4 Paまでの真空チャンバー内で使用できます。 ピエゾを利用した位置決め装置と比較し、...

    メーカー・取り扱い企業: シグマ光機株式会社

  • 1nmフィードバックステージ FS-1050UPX / XY 製品画像

    1nmフィードバックステージ FS-1050UPX / XY

    【精密位置決め装置】1nmの高分解能はそのままに、移動速度が早くなりま…

    光学式リニアエンコーダを内蔵し、内蔵スケールの読み取り値に対して『1nm』分解能でクローズドループ制御が可能な精密位置決めステージです。 ストロークは『 50mm 』と長く、移動と精密位置決めが1台でできます。 フィードバックステージコントローラ『 FC-9...

    メーカー・取り扱い企業: シグマ光機株式会社

  • スリム型100nm分解能ステージ(40mm) 製品画像

    スリム型100nm分解能ステージ(40mm)

    エンコーダ内蔵のフルクローズ制御可能なステージ

    自社開発した光学式リニアスケールエンコーダを内蔵しているため コントローラで制御することで100nnまたは50nm分解能で 動作します。 進行方向に対してスリムなモデルです。 スリムなメリット ・省スペースで長いストローク ・定盤のスペース確保 ・検査装置の小型化 ...

    メーカー・取り扱い企業: シグマ光機株式会社

  • 真空対応1nmフィードバックステージFS-1050UPX(V) 製品画像

    真空対応1nmフィードバックステージFS-1050UPX(V)

    [真空対応]1nm高分解能・高再現性・高保持性を持った高性能位置決めス…

    設計を実現 ○フルクローズドループ制御により高精度な繰返し位置決めが可能 ○テーブルサイズ:120mm×120mm ○テーブル移動量:50mm ○対応真空度:10-4Pa ○最小分解能:1nm ○最大移動速度:2mm/sec ○対応コントローラ:FC-911 □ 詳しくはカタログをご覧いただくか、お問い合わせください □...

    メーカー・取り扱い企業: シグマ光機株式会社

  • 真空対応1nmフィードバックステージFS-1040UPX(V) 製品画像

    真空対応1nmフィードバックステージFS-1040UPX(V)

    [1nm分解能]真空中で使用できるリニアエンコーダ内蔵ステージ

    フルクローズドループ制御により高精度な繰返し位置決めが可能 ○テーブルサイズ:80mm×80mm ○テーブル移動量:40mm ○対応真空度:10-4Pa ○耐荷重:49N ○最小分解能:1nm ○最大移動速度:2mm/sec ○対応コントローラ:FC-911 □ 詳しくはカタログをご覧いただくか、お問い合わせください□...

    メーカー・取り扱い企業: シグマ光機株式会社

  • Z軸用10nmステージ FS-1005PZ/1010PZ 製品画像

    Z軸用10nmステージ FS-1005PZ/1010PZ

    【昇降ステージ】リニアエンコーダ内蔵により10nmの高分解能・高い位置…

    光学式リニアエンコーダを内蔵した高分解能Z軸用位置決めステージです。 『 10nm 』分解能(*1)でストロークは『 5mm 』又は『 10mm 』を達成しております。 独自の設計により、Z軸にありがちなテーブル面の傾きの変化を極力抑えた構成になっております。 自社開発リ...

    メーカー・取り扱い企業: シグマ光機株式会社

  • 10nmフィードバックステージ FS-1050PX/XY  製品画像

    10nmフィードバックステージ FS-1050PX/XY

    【精密位置決め装置】10nmの高分解能・高い位置決め再現性・位置決め後…

    光学式リニアスケールをステージ中央に内蔵して検出誤差を少なくした高分解能位置決めステージです。 『 10nm 』分解能(*1)でストロークは『 50mm 』となっております。 自社開発リニアスケールと自社独自のフィードバック制御回路により、高分解能、高い位置決め再現性、 位置決め後の位置保持性...

    メーカー・取り扱い企業: シグマ光機株式会社

  • 1nmフィードバックステージ FS-1050SPX(MD)/XY 製品画像

    1nmフィードバックステージ FS-1050SPX(MD)/XY

    【精密位置決め装置】1nmの高分解能・高い位置決め再現性・位置決め後の…

    光学式リニアスケールをステージ中央に内蔵して検出誤差を少なくした高分解能位置決めステージです。 『 1nm 』分解能(*1)でストロークは『 50mm 』となっております。 自社開発リニアスケールと自社独自のフィードバック制御回路により、高分解能、高い位置決め再現性、位置決め後の位置保持性を備えて...

    メーカー・取り扱い企業: シグマ光機株式会社

  • 1nmフィードバックステージ FS-1040SPX(MD)/XY 製品画像

    1nmフィードバックステージ FS-1040SPX(MD)/XY

    【精密位置決め装置】1nmの高分解能・高い位置決め再現性・位置決め後の…

    光学式リニアスケールをステージ中央に内蔵して検出誤差を少なくした高分解能位置決めステージです。 『 1nm 』分解能(*1)でストロークは『 40mm 』となっております。 自社開発リニアスケールと自社独自のフィードバック制御回路により、高分解能、高い位置決め再現性、位置決め後の位置保持性を備えて...

    メーカー・取り扱い企業: シグマ光機株式会社

  • 5nmフィードバックステージ FS-1040SPX/XY 製品画像

    5nmフィードバックステージ FS-1040SPX/XY

    【精密位置決め装置】リニアエンコーダを内蔵し、5nm分解能で動作する位…

    光学式リニアスケールをステージ中央に内蔵して検出誤差を少なくした高分解能位置決めステージです。 『 5nm 』分解能(*1)でストロークは『 40mm 』となっております。 自社開発リニアスケールと自社独自のフィードバック制御回路によりフルクローズドループ制御を行っているため、高分解能、高い位置決...

    メーカー・取り扱い企業: シグマ光機株式会社

  • 5nmフィードバックステージ FS-1020SPX/XY 製品画像

    5nmフィードバックステージ FS-1020SPX/XY

    【エンコーダ内蔵】分解能・位置決め再現性・位置保持性が高い5nm分解能…

    光学式リニアエンコーダをステージ中央に内蔵して検出誤差を少なくした高分解能位置決めステージです。 『 5nm 』分解能(*1)でストロークは『 20mm 』となっております。 自社開発リニアスケールと自社独自のフィードバック制御回路により、高分解能、高い位置決め再現性、 位置決め後の位置保持性...

    メーカー・取り扱い企業: シグマ光機株式会社

  • 1nmフィードバックステージ FS-1020SPX(MD)/XY 製品画像

    1nmフィードバックステージ FS-1020SPX(MD)/XY

    【精密位置決め装置】1nmの高分解能・高い位置決め再現性・位置決め後の…

    光学式リニアスケールをステージ中央に内蔵して検出誤差を少なくした高分解能位置決めステージです。 『 1nm 』分解能(*1)でストロークは『 20mm 』となっております。 自社開発リニアスケールと自社独自のフィードバック制御回路により、高分解能、高い位置決め再現性、位置決め後の位置保持性を備えて...

    メーカー・取り扱い企業: シグマ光機株式会社

  • 5nmフィードバックステージ FS-1050SPX/XY 製品画像

    5nmフィードバックステージ FS-1050SPX/XY

    【精密位置決め装置】5nmの高分解能・高い位置決め再現性・位置決め後の…

    光学式リニアスケールをステージ中央に内蔵して検出誤差を少なくした高分解能位置決めステージです。 『 5nm 』分解能(*1)でストロークは『 50mm 』となっております。 自社開発リニアスケールと自社独自のフィードバック制御回路により、高分解能、高い位置決め再現性、位置決め後の位置保持性を備えて...

    メーカー・取り扱い企業: シグマ光機株式会社

  • 10nmフィードバックステージ FS-1040PX/XY  製品画像

    10nmフィードバックステージ FS-1040PX/XY

    【ストローク40mm】10nmの高分解能・高い位置決め再現性・位置保持…

    自社独自のフィードバック制御回路により、分解能、位置決め再現性、位置保持性が優れております。 フィードバックステージコントローラ FC-511と組み合わせることでエンコーダの読み取り値の『10nm』分解能で『40mm』ストロークで動作させることができます。...

    メーカー・取り扱い企業: シグマ光機株式会社

  • 10nmフィードバックステージ FS-1020PX/XY  製品画像

    10nmフィードバックステージ FS-1020PX/XY

    【10nm分解能】フィードバック制御により位置の分解能・再現性・保持性…

    ドバック制御を行い、高分解能・高い位置再現性・高い位置保持性を持っています。 フィードバックステージコントローラ FC-511と組み合わせて使用することでストローク『 20mm 』間を『 10nm 』分解能で動作します。 ...

    メーカー・取り扱い企業: シグマ光機株式会社

  • 10nmフィードバックステージ FS-1100PX/XY 製品画像

    10nmフィードバックステージ FS-1100PX/XY

    【エンコーダ内蔵】10nm分解能・高い位置決め再現性・位置決め後の位置…

    ニアエンコーダをステージ中央に内蔵して位置検出誤差を少なくし、コントローラへ位置情報をフィードバックすることで高い分解能、高い位置決め再現性、位置決め後の位置保持性を備えております。 『 10nm 』分解能(*1)でストロークは『 100mm 』となっております。 動作範囲が長いため移動と位置決めがこのステージ1台で行えます。 (*1)フィードバックステージコントローラFC-51...

    メーカー・取り扱い企業: シグマ光機株式会社

  • 1nmフィードバックステージ FS-1040UPX / XY 製品画像

    1nmフィードバックステージ FS-1040UPX / XY

    【精密位置決め装置】1nmの高分解能はそのままに、移動速度が早くなりま…

    光学式リニアエンコーダを内蔵し、内蔵スケールの読み取り値に対して『1nm』分解能でクローズドループ制御が可能な精密位置決めステージです。 ストロークは『 40mm 』と長く、移動と精密位置決めが1台でできます。 フィードバックステージコントローラ『 FC-9...

    メーカー・取り扱い企業: シグマ光機株式会社

  • 真空対応10nmフィードバックステージ 昇降タイプ 製品画像

    真空対応10nmフィードバックステージ 昇降タイプ

    【真空対応】リニアエンコーダ内蔵で10nm分解能のZ軸用位置決めステー…

    光学式リニアエンコーダを搭載した高分解能Z軸用位置決めステージです。 10nm分解能でストロークは『 5mm 』又は『 10mm 』を用意。 アウトガス対策を施し、真空中で使用可能となっております。 テーブル面の傾きの変化を極力抑えた構成になっており、自社開発リニ...

    メーカー・取り扱い企業: シグマ光機株式会社

  • 10nmフィードバックステージ FS-3150X/XY 製品画像

    10nmフィードバックステージ FS-3150X/XY

    【精密位置決め装置】高分解能・高い位置決め再現性・位置決め後の位置保持…

    光学式リニアスケールをステージ中央に内蔵して検出誤差を少なくした高分解能位置決めステージです。 『 10nm 』分解能(*1)でストロークは『 150mm 』となっております。 自社開発リニアスケールと自社独自のフィードバック制御回路により、高分解能、高い位置決め再現性、位置決め後の位置保持性を備え...

    メーカー・取り扱い企業: シグマ光機株式会社

  • 10nmフィードバックステージ FS-3200X/XY 製品画像

    10nmフィードバックステージ FS-3200X/XY

    【精密位置決め装置】高分解能・高い位置決め再現性・位置決め後の位置保持…

    光学式リニアスケールをステージ中央に内蔵して検出誤差を少なくした高分解能位置決めステージです。 『 10nm 』分解能(*1)でストロークは『 200mm 』となっております。 自社開発リニアスケールと自社独自のフィードバック制御回路により、高分解能、高い位置決め再現性、位置決め後の位置保持性を備え...

    メーカー・取り扱い企業: シグマ光機株式会社

  • 真空対応10nmフィードバックステージ 40mm動作 製品画像

    真空対応10nmフィードバックステージ 40mm動作

    【真空対応】40mmの範囲を10nm分解能で動作する高性能位置決めステ…

    のまま導入可能です。 ステージ内蔵の光学式リニアエンコーダの位置情報によるフルクローズドループ制御を行っているため、高精度な繰り返し位置決め性能を持っています。 40mmストロークを10nm分解能で動作させることができます。...

    メーカー・取り扱い企業: シグマ光機株式会社

  • 真空対応5nmフィードバックステージ 50mm動作 製品画像

    真空対応5nmフィードバックステージ 50mm動作

    真空中で使える 5nm分解能・高再現性・高保持性を持った高性能位置決め…

    そのまま導入可能です。 自社開発したリニアスケールを内蔵しているため、薄型で軽量な設計、フルクローズドループ制御による高精度な繰り返し位置決め性能を持っています。 50mmストロークを5nm分解能で動作させることができます。...

    メーカー・取り扱い企業: シグマ光機株式会社

  • 真空対応5nmフィードバックステージ 40mm動作 製品画像

    真空対応5nmフィードバックステージ 40mm動作

    真空中で使える 5nm分解能で40mm動作の高性能位置決めステージ

    真空チャンバーにそのまま導入可能です。 自社開発したリニアスケールを内蔵しているため、フルクローズドループ制御による高精度な繰り返し位置決め性能を持っています。 40mmストロークを5nm分解能で動作させることができます。...

    メーカー・取り扱い企業: シグマ光機株式会社

  • 真空対応10nmフィードバックステージ 20mm動作 製品画像

    真空対応10nmフィードバックステージ 20mm動作

    【真空中で使用可能】10nm分解能で動作するリニアエンコーダ内蔵の高性…

    光学式リニアエンコーダを内蔵しており、エンコーダで検出した位置情報をもとにフルクローズドループ制御を行っているため、高精度な繰り返し位置決め性能を持っています。 20mmストロークを10nm分解能で位置決めができます。...

    メーカー・取り扱い企業: シグマ光機株式会社

  • 真空対応5nmフィードバックステージ 20mm動作 製品画像

    真空対応5nmフィードバックステージ 20mm動作

    真空中で使える リニアエンコーダによる5nm分解能の高性能位置決めステ…

    そのまま導入可能です。 ステージ内蔵の光学式リニアエンコーダの位置情報によるフルクローズドループ制御を行っているため、高精度な繰り返し位置決め性能を持っています。 20mmストロークを5nm分解能で動作させることができます。...

    メーカー・取り扱い企業: シグマ光機株式会社

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