蓄熱燃焼式脱臭装置『Deopo（デオポ）』

PR装置全体をコンパクト化し組立た状態で運搬する為設置工事を簡略化 ！生…

『Deopo（デオポ）』は、従来の蓄熱燃焼式脱臭装置「RTO」の3塔式と回転式の 優れている要素を併せ持ち、ワンユニットにパッケージ化した装置です。 VOCの処理効率は98%以上、温度効率は95%以上の性能を持ち、従来品に比べ、 パージ部分の体積を最小にすることによりコンパクト化することが出来ました。 また、工場で組立した状態で運搬可能なサイズなので、標準装置の場合は 現地の荷降...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社サーマルプラント

EVベアリング高速回転受託試験

PR高速回転域(MAX 40,000rpm)でのラジアル荷重、アキシアル荷…

当社で行っている「EVベアリング高速回転受託試験」について ご紹介いたします。 試験槽に軸受けを装着し、軸受外輪にラジアル・アキシアル荷重を加えて 軸受内輪を回転駆動。高速回転に適した高精度微小トルク計を装備し、 試験時に発生するフリクション・トルクを高精度に計測します。 回転数、荷重負荷、試験時間等を含め試験条件をお打合せの上で決定し、 当社にて試験実施いたします。 【...

メーカー・取り扱い企業： オートマックス株式会社 本社・工場

可視光線とは？

可視光線に相当する光の波長は下限360-400nm～上限760-830…

可視光線とは、ヒトの目で見ることのできる 光の波長帯のことです。 可視光線に相当する光の波長は下限360-400nm～上限760-830nm。 また可視光線より波長の短いものは紫外線、 長いものを赤外線と呼びます。 【特長】 ■ヒトの目で見ることのできる光の波長帯 ■可視光線に相当する光の波長は...

メーカー・取り扱い企業： 夏目光学株式会社

中心波長とは？

レーザーの中心波長は、レーザーの発光原理や発光素子によって決まります。

やエネルギーに関係します。 波長が短いほど、光は青く見えてエネルギーが高くなります。 逆に、波長が長いほど、光は赤く見えてエネルギーが低くなります。 人間の目に見える光の波長は約400nmから700nmの範囲で、 これを可視光と呼びます。レーザーは可視光だけでなく、赤外線や 紫外線なども発することができます。 【概要】 ■レーザーが発する光の波長の平均値 ※詳しくは...

メーカー・取り扱い企業： 夏目光学株式会社

技術情報誌 201905-01 高空間分解能の結晶方位解析

技術情報誌The TRC Newsは、研究開発、生産トラブルの解決、品…

【要旨】 TEMベースの結晶方位解析システム“ASTAR”を用いると、SEMをベースにしたEBSDよりも高い空間分解能が実現可能である（各種EBSD法の空間分解能が数十 nm程度に対してASTARを用いたACOM-TEM法では2～5 nm）。また、識別できる結晶構造が多いことも特長である。通常のTEM解析では取得困難な結晶方位マップ、結晶相マップおよび粒径分布などを得る...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社東レリサーチセンター

EUVとは？

主に半導体リソグラフィ用途に13.5nmのEUV光源が用いられます！

EUVは、極端紫外光のことで、Extreme Ultravioletの略称です。 主に半導体リソグラフィ用途に13.5nmのEUV光源が用いられ、 従来のArFエキシマレーザー(193nm)に比べより微細なパターンが 描写可能です。 EUVは物質への吸収率が極めて高く透過型の光学系(レンズ)を 使用できない...

メーカー・取り扱い企業： 夏目光学株式会社

軟X線とは？

波長が1nm(ナノメートル：1ナノメートルは10億分の1メートル)近傍…

X線は、波長が非常に短い光です。 波長が1nm近傍のX線を「軟X線」、波長が 0.1nm近傍のX線を「硬X線」といいます。 材料の中でも酸素、炭素、などの軽元素の 分析によく使われます。 【特長】 ■酸素、炭素、などの軽元素の...

メーカー・取り扱い企業： 夏目光学株式会社

技術情報誌 202001-01 in-situ STEM

技術情報誌The TRC Newsは、研究開発、生産トラブルの解決、品…

リや磁気センサーなどが注目を集めている。これらのデバイスには、高い磁気抵抗効果が得られることからMTJ（magnetic tunnel junction）構造が広く用いられている。このMTJ構造は数nm程度の薄い積層膜から成り、原子レベルでの膜厚やラフネスおよび結晶性が特性を左右する。また、アニール温度によって磁気特性が変化することから、本稿ではin-situ TEMを用いて、加熱に伴う結晶性や元...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社東レリサーチセンター

技術情報誌 202101-04 陽電子によるバリア膜や分離膜評価

技術情報誌The TRC Newsは、研究開発、生産トラブルの解決、品…

【要旨】 革新的なバリア性や分離性などの気体輸送特性（ガスや蒸気の透過性、拡散性、収着性など）を持つ材料の開発ではサブナノ空隙（1 nm未満の空隙）構造の評価が重要になる。そのため、分子レベルの空隙を評価する技術が求められ、陽電子消滅寿命法は強力なツールとなる。本稿では、polyethylene terephthalateおよびシリ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社東レリサーチセンター

技術情報誌 201903-01 最先端SIMS分析装置

技術情報誌The TRC Newsは、研究開発、生産トラブルの解決、品…

【要旨】 最先端の二次イオン質量分析（SIMS）装置であるNanoSIMS 50Lは、プローブ径約50 nmのイオンビームと、透過率の高い質量分析系の併用により、従来のSIMSに比べて約2桁高い空間分解能でイメージング測定を行うことが可能である。本稿では、NanoSIMS 50Lの装置の特徴と分析事例を紹...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社東レリサーチセンター

技術情報誌 202102-04 新規RBS装置の導入

技術情報誌The TRC Newsは、研究開発、生産トラブルの解決、品…

る軽元素の高感度測定 ４．重元素の質量分解能向上 ５．まとめ 【図表】 図1～図8 RGB各画素で取得したRBSスペクトル 各元素の質量分解能と感度（理論計算値） SiON膜(100 nm)/Si基板：RBSスペクトル、NRAスペクトル IGZO膜(300 nm)/Si基板：RBSスペクトル IGZO膜のGa/Zn比の比較...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社東レリサーチセンター

【技術情報】KRガスによる微少表面積測定

低比表面積評価にKrが用いられる理由？

Krを用いて低比表面積を測定できるのか？ 吸着断面積は、Kr(0.202 nm2)、N2(0.162 nm2)とKr分子のほうが 25％も大きく、低比表面積測定に向いていません。 理由は、吸着温度・蒸気圧にあります。 定容量法においてガス吸着量を計算する場合、導...

メーカー・取り扱い企業： マイクロトラック・ベル株式会社

カーボンナノチューブの材料開発と分散複合化、高機能化、市場展開

★まだまだ未完成なカーボンナノチューブの最新技術報告を中心とした材料・…

　1991 年の飯島氏によるカーボンナノチューブCarbon Nanotube(CNT)の発見2)は,炭素材料の常識をさらに変えることとなった.6角網面は平面しか作り得ないと考えられてきたが、直径1nm という細さのチューブともなり得ることが示された.2000 年代に入り、CNT は構造と物性に関する魅力によってナノテクノロジーのキーマテリアルとして大きく注目されることとなった。 　本書はこの分...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社AndTech

ノボラックレジスト 材料とプロセスの最適化

古くて新しい、未だ大量に使用されている「ノボラックレジスト」を初詳説

るのは,ゲート工程などわずかであり,大部分は線幅の太いパターンが使用されることである。この太いパターンにノボラックレジストが使用されているのである。もちろんデバイスによっては,ここにKrF(248 nm)用化学増幅型レジストが使用される場合もある。 よって,半導体デバイスにおいて,線幅の太い工程は,すべてではないにしろいまだにノボラックレジストは使用されており,しかも結構な量が使用されている。 ...

メーカー・取り扱い企業： S&T出版株式会社

技術情報誌 201910-03 in-situ 昇温手法

技術情報誌The TRC Newsは、研究開発、生産トラブルの解決、品…

結果、ガス発生は構造変化と密接な関係にあることが示された。充放電挙動と酷似した変化も認められ、温度をパラメータにした一連の測定結果は、実材料を解析する上でも重要な知見になること、また、高分解能（40nm角程度の視野）でないと検出できない微視的構造変化（ドメイン構造の形成など）について、ASTAR＊（＊ASTARはNanoMEGAS社の登録商標）を用いることで1μm角以上の視野で可視化でき、定量的に...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社東レリサーチセンター

【技術情報】メソ・マクロ孔解析

粒子解析および粒子解析装置に関する情報！メソ・マクロ孔解析についてご紹…

メソ孔の解析理論としては、BJH、 CI、 DH法(シリンダー型)や Innes法(スリット型)があります。 これらは毛管凝縮理論(ケルビン式)に基づき計算され、一般的に メソ孔(2 nm)以上の細孔径に適用されます。 当社のホームページにて、詳しく紹介しております。さらに、 相対圧と細孔半径の関係を表で掲載しています。ぜひご覧ください。 ※詳しくは関連リンクをご覧いた...

メーカー・取り扱い企業： マイクロトラック・ベル株式会社

【技術情報】細孔分布測定法

「ガス吸着法」や「水銀ポロシメータ」など！細孔分布測定法についてご紹介

代表的な測定方法としては、 ガス吸着法と水銀ポロシメータがあります。 「ガス吸着法」は、主に低温（液体窒素や液体アルゴン）におけるN2や Arガス吸着等温線から解析され、分子サイズ～数百 nmの細孔径測定が可能。 「水銀ポロシメータ」は、材料に濡れにくい水銀を加圧し、試料に圧入する 量から細孔分布を求める方法です。 また、近年フィルターや分離膜の透過孔のみを測定する方法とし...

メーカー・取り扱い企業： マイクロトラック・ベル株式会社

【技術情報】細孔径の定義

ナノポーラス材料の細孔径の定義についてご紹介

これまで、細孔径は画像の通り定義されていました。 2015年IUPACが改訂され、これまでの細分化をなくし、 NANOPORE（～100 NM）として定義しています。 ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： マイクロトラック・ベル株式会社