• 背負って歩くだけで3Dスキャン!ウェアラブルレーザースキャナ 製品画像

    PR【計測時間が三脚式3Dスキャナの約1/10】簡単・迅速・便利!軽量のレ…

    『HERON』は、レーザースキャナーを背中に装着し、計測したい場所を 歩くことで周囲の3Dデータが取得できるレーザースキャナです。 オペレーターはタブレット端末で計測状況をリアルタイムに確認できるため、 現場に戻って再計測するという無駄な作業は無くなります。 データの処理は基本的にデスクトップソフトウェアにて自動化され、 後工程に使用される汎用的なデータにエクスポートされます。 ...(つづきを見る

  • 新製品!『石英ガラスレンズ』 製品画像

    PR【展示会出展】高透過率&高熱伝導率!独自製法により仕上げ加工不要で複雑…

    当社では、高純度な石英ガラス原料を使用した 『石英ガラスレンズ』を提供しています。 型を用いて複雑な形状を成形し、離型後の収縮や変形を適切に制御する 独自製法を用いることで、仕上加工なしで完成製品を製作可能。 一般的なホウケイ酸ガラスレンズやプラスチックレンズと比べ 光透過率や熱伝導率が高く、蛍光を生じにくいなど優れた材料特性を有します。 【特長】 ■光学特性に優れ、UV...(つづきを見る

  • 【分析事例】透過EBSD法による30nm以下の結晶粒解析 製品画像カタログあり

    EBSD:電子後方散乱回折法

    薄片化した試料でEBSD分析を行うことにより、従来のバルク試料よりも高い空間分解能を得ることができます。...詳しいデータはカタログをご覧ください...(つづきを見る

  • [FIB]集束イオンビーム加工 製品画像カタログあり

    FIBは、数nm~数百nm径に集束したイオンビームのことで試料表面を走…

    FIBは、数nm~数百nm径に集束したイオンビームのことで、試料表面を走査させることにより、特定領域を削ったり(スパッタ)、特定領域に炭素(C)・タングステン(W)・プラチナ(Pt)等を成膜することが可能です。また...(つづきを見る

  • [SSRM]走査型広がり抵抗顕微鏡法 製品画像カタログあり

    ナノメートルレベルでの局所抵抗測定が可能

    して検出することになります。このような局所的な抵抗を広がり抵抗と呼びます。 ■ダイヤモンドコート探針 SSRM では、主に、ダイヤモンドコートされたシリコン製の探針を用います。この先端は数十nm 程度まで先鋭化されており、特に尖りの部分は数nmの鋭利さを持ちます。SSRMはこの微細な探針の直下のキャリアを検出するため、高分解能の計測が可能です。 ...(つづきを見る

  • [SIM]走査イオン顕微鏡法 製品画像カタログあり

    高分解能(加速電圧30kV:4nm)でのSIM像観察が可能

    ・高分解能(加速電圧30kV:4nm)でのSIM像観察が可能 ・SEM像に比べてSIM像の方が極表面層の情報が得られる ・金属結晶粒観察が可能(Al, Cu等) ・分解能はSEM像より劣る(SIM:4nm, SEM:0.5nm)...(つづきを見る

  • [AES]オージェ電子分光法 製品画像カタログあり

    試料表面(数nm程度の深さ)の元素の種類・存在量の評価

    AESは、電子線照射により放出されるオージェ電子の運動エネルギー分布を測定し、試料表面(数nm程度の深さ)に存在する元素の種類・存在量に関する知見を得る手法です。 ・固体材料の表面(深さ数nm)の定性・定量が可能 ・微小領域(数十nm~サブミクロン程度)の定性・定量が可能 ・主成分...(つづきを見る

  • [XPS]X線光電子分光法 製品画像カタログあり

    試料表面(数nm程度の深さ)の元素の種類、存在量、化学結合状態評価に有…

    XPSは、X線照射により放出される光電子の運動エネルギー分布を測定し、試料表面(数nm程度の深さ)に存在する元素の種類・存在量・化学結合状態に関する知見を得る手法です。化学結合状態に関する知見が得られるため、別名ESCA : Electron Spectroscopy for Che...(つづきを見る

  • ウルトラミクロトーム加工 製品画像カタログあり

    ダイヤモンドナイフを用いてバルク試料を切削し、厚さ100nm以下の透過…

    ウルトラミクロトーム加工とは、ダイヤモンドナイフを用いてバルク試料を切削し、厚さ100nm以下の透過電子顕微鏡用の超薄切片を作製する加工法です。イオンビームを用いた加工と異なり、大気中にて広範囲の切片を作製することができます。 室温では切削が困難な生体材料や柔らかい高分子材料も、凍結固...(つづきを見る

  • Arイオンミリング加工 製品画像カタログあり

    機械研磨を行った後低加速Arイオンビームで仕上げ加工を行うことで厚さ5…

    Arイオンミリング法とは、機械研磨を行った後、低加速Arイオンビームで仕上げ加工を行うことで厚さ50nm以下の透過電子顕微鏡用の薄膜試料を作製する加工法です。...(つづきを見る

  • 【分析事例】AES分析によるウエハ表面上の異物評価 製品画像カタログあり

    加工無しで30nmサイズの組成分析が可能

    AES分析は最表面から数nm深さまでの組成情報を得る手法であり、製造工程において表面に生じた汚染や異物の組成を調べる際に有効な分析です。基板などの母材の情報を検出することが少ないため、異物など異常箇所のみの情報を前処理加工など...(つづきを見る

  • [SAXS]X線小角散乱法 製品画像カタログあり

    ・ナノスケールでの周期構造・配向性を評価可能

    SAXSは、X線を物質に照射して散乱したX線のうち、2θ<10°以下の低角領域に現れるものを測定し、物質の構造を評価する分析手法です。通常、数nm~数十nm程度の大きさの構造を評価できます。 ・ナノスケールでの周期構造・配向性の評価が可能 ・微粒子や材料中の空孔分布を評価することが可能 ・タンパク質など生体材料の評価が可能 ・サン...(つづきを見る

  • EBSD分析(電子後方散乱回折法) 製品画像カタログあり

    容易に広い領域の結晶情報を得ることが可能

    の面方位の測定が可能 ・測定領域の配向測定が可能 ・結晶粒径観察が可能 ・双晶粒界(対応粒界)観察が可能 ・特定結晶方位の抽出が可能 ・隣接結晶粒の回転角の測定が可能 ・透過法により10nm以上のグレインを評価可能...(つづきを見る

  • TOF-SIMSによる最表面微量汚染分析 製品画像カタログあり

    最表面に付着した無機・有機汚染物質について、PPMレベルの高感度分析が…

    した無機・有機汚染の物質の同定が可能 2.PPMレベルの高感度分析が可能 3.最小5um領域の点分析から5cm角までの広領域面分析が可能 ■装置 / ION TOF TOF-SIMS IV  分析イオン:Ga、Ar  スパッターイオン:Cs、Ar  検出方法:飛行時間型質量分析       リフレクター型  分析領域:最小分析領域 約5um       分析深さ 1~2nmつづきを見る

  • 【分析事例】AES分析による積層試料の割断面評価 製品画像カタログあり

    割断サンプルで50nm薄膜を可視化

    AES分析は最表面から数nm深さまでの組成情報を得る手法ですが、試料の断面からAES測定を行って元素分布像を得ることで、層構造を明瞭に評価することが可能です。積層構造の評価やトレンチやホールの内壁の元素分析に加え、機械加工やイ...(つづきを見る

  • [TEM-EDX]エネルギー分散型X線分光法(TEM) 製品画像カタログあり

    EDXは、分析対象領域に電子線照射した際に発生する特性X線の、エネルギ…

    れます。 多くの場合、SEMまたはTEMに付属しており、本資料ではTEMに付属のEDXについて紹介します。 ・全元素範囲(B~U)の同時分析が可能(付属装置によりBeの検出も可) ・0.1nmφ~の細い電子線プローブで測定が可能 ・ドリフト補正機能を用いることで、面分析でサブnmの積層膜を分布像として識別可能 ・面分析では任意箇所のスペクトルの抽出や線分析の表示が可能...(つづきを見る

  • [UV-Vis]紫外可視分光法 製品画像カタログあり

    UV-Visは波長ごとに分けた光を測定試料に照射し、試料を透過した光の…

    定により、試料中の目的成分の定性・定量分析や、試料の波長特性の評価が可能です。 また、透過率測定では、試料中の成分に特有の透過特性を評価できます。 ・紫外~可視~近赤外領域(波長域約190nm~約3000nm)における吸収スペクトル・透過スペクトルの取得が可能。...(つづきを見る

  • 【分析事例】酸化チタンアナターゼ型とルチル型の判別 製品画像カタログあり

    TEM-EELSにより、微小領域の元素同定・化学状態分析が可能です

    電子材料・触媒材料・紫外線吸収剤・光触媒などに用いられる酸化チタン(TiO2)には組成が同じで結晶構造の異なるアナターゼ型とルチル型が存在します。Si基板上に成膜した厚さ20nmの多結晶TiO2試料(写真1)について電子線プローブを約1nmΦ(FWHM)まで絞って測定を行いました。試料から取得したEELSスペクトルは、Ti, Oともにアナターゼ型TiO2の標準スペクトルと一...(つづきを見る

  • 膜分析の受託サービス|JTL 製品画像カタログあり

    メッキや薄膜、多層膜の分析を多彩な手法で適切に実施致します。

    SEMで観察します。 膜厚が約10μmまでなら、凹凸のない研磨が可能です。それ以上の薄膜の観察をご希望の場合は、イオンミリング(CP加工)を推奨します。 ・イオンミリング(CP加工):100nmオーダーでの観察 イオンミリング(CP加工)を行い、観察では100nmオーダーで観察可能です。 イオンビームによる加工は材料の硬さの違いに影響されにくく、硬軟質の複合材料でも凹凸が非常に少ない研...(つづきを見る

  • 【分析事例】ステンレス不動態皮膜の深さ方向状態評価 製品画像カタログあり

    TOF-SIMSで無機物の分子情報を深さ方向に捕らえることが可能

    原因につながります。 今回、TOF-SIMSを用いてステンレス表面の金属酸化膜の状態について分析した事例をご紹介します。 TOF-SIMSでは酸化物状態として分子情報を高感度に得ることで、表面数nm~数十nmの酸化物の分布を高感度に得ることができ、イメージ分析によって空間的な分布を評価することが可能です。...(つづきを見る

  • [SMM]走査型マイクロ波顕微鏡法 製品画像カタログあり

    SMM は、固体金属探針(Pt 製) を用いて計測試料を走査し、その凹…

    、マイクロ波は探針から遠ざかると急激に減衰するため、反射に寄与する領域は探針の直下に限定されます。この反射に寄与する領域の大きさが空間分解能とみなせます。キャリア濃度の高い領域では、空間分解能は10nm 程度まで小さくなりますが、キャリア濃度の低い領域では、数百nmに低下します。...(つづきを見る

  • CTスキャン受託サービス 製品画像カタログあり

    産業用CTスキャナによる非破壊検査・三次元測定

    【phoenix nanotom m】 X線管タイプ ナノフォーカス・オープンチューブ 最大管電圧/最大出力 180 kV / 15 W 倍率 1.5 - 300 倍 最小検出能 200 nm 最小ボクセルサイズ 300 nm 最大試料径 240 mm 最大試料高さ 250 mm 最大試料重量 3 kg 試料稼動範囲(Y軸/Z軸) 250 mm / 400 mm...(つづきを見る

  • 【分析事例】SiON膜の評価 製品画像カタログあり

    膜厚1nm程度のSiON中Nの評価が可能

    高感度なSIMS分析が得意とする低濃度領域に至るまで、SiON膜中Nの分布を深さ方向に評価し、N量(単位:atoms/cm2)を高い精度で評価が可能です(図1)。またNをatomic%へ変換(図2)、Nのフィッテングカーブ算出することができ、フィッティングによりNのピーク濃度・深さ・半値幅を算出(図3)することが可能です。...詳しいデータはカタログをご覧ください...(つづきを見る

  • 絶対PL量子収率測定 製品画像カタログあり

    絶対PL量子収率測定は、材料の発光効率を求める手法です。

    測定は、材料に吸収された光(エネルギー)に対し、どのくらいの効率で発光が得られるか、つまり材料の発光効率を求める手法です。 ・分光器付きの励起光源を用いているため、様々な波長(約350~800nm)での励起が可能 ■MSTの特徴 ・装置は雰囲気制御下で管理されているため、薄膜サンプルについては酸素の影響を受けずに測定することが可能...(つづきを見る

  • SIM像 3D再構築解析受託サービス 製品画像カタログあり

    SIM像3D再構築解析の受託スタート!※材料開発や半導体、基板のトラブ…

    ブル原因解明など、様々な分野で、お役にたちます!! 【特長】 ■逐次加工・観察で再構築データを作成 ■スライスデータの重ね合わせが高精度で、高品位な3Dデータを作成 ■スライスピッチは1nm~1μmで設定が可能 ■高分解能なSIM像観察 ※解析例などの詳細については、お問い合わせいただくかまたはカタログをダウンロードしてご覧下さい。...(つづきを見る

  • 【分析事例】角度分解XPS(ARXPS)による極薄膜組成分布評価 製品画像カタログあり

    基板上の極薄膜についてデプスプロファイルを評価可能です

    スプロファイルを評価する手法です。従来のArイオンスパッタを用いた方法と比較すると、深さ方向分解能が向上し、かつ選択スパッタやミキシングによる組成変化が無いといったメリットがあり、基板上の極薄膜(数nm程度)のデプスプロファイル評価に有効です。 本資料ではSi基板上のSiN膜について、膜中の組成分布評価を行った事例をご紹介します。...(つづきを見る

  • [SIMS]二次イオン質量分析法 製品画像カタログあり

    二次イオンを検出し、各質量における検出量を測定することで、試料中に含ま…

    ・高感度(ppb~ppm) ・HからUまでの全元素の分析が可能 ・検出濃度範囲が広い(主成分元素から極微量不純物まで) ・標準試料を用いて定量分析が可能 ・深さ方向分析が可能 ・数~数十nmの深さ方向分解能での評価が可能 ・数μm角までの微小領域の測定が可能 ・同位体分析が可能 ・破壊分析...(つづきを見る

  • [PL]フォトルミネッセンス法 製品画像カタログあり

    物質に光を照射し、励起された電子が基底状態に遷移する際に発生する発光ス…

    ミネッセンス法とは、物質に光を照射し、励起された電子が基底状態に戻る際に発生する光を観測する方法です。得られる発光スペクトルから、様々な情報を得ることが可能です。 ・He-Cdレーザー(325nm)励起により、バンドギャップ約3.5eVまでのサンプルを励起することが可能 ・マッピング機能により、広範囲の情報を得ることが可能 ・約10Kまでの測定(大きさ15mm×15mmまで)が可能 ・...(つづきを見る

  • 白色干渉計測法 製品画像カタログあり

    非接触・非破壊で3次元測定可能

    三次元測定が可能な装置です。 ・高輝度白色光源を用いた表面形状測定装置 ・非接触・非破壊で三次元測定が可能 ・広い視野(50μm×70μm ~ 5mm× 7mm) ・高垂直分解能(0.1nm) ・広いダイナミックレンジ(<150μm)...(つづきを見る

  • [UPS]紫外光電子分光法 製品画像カタログあり

    試料表面の組成の定性・定量や仕事関数評価に

    UPSは、紫外光照射により放出される電子の運動エネルギー分布を測定し、試料極表面(数nm程度以下)の価電子状態に関する知見を得る手法です。その一方で、高いエネルギー分解能を利用して各種金属材料の仕事関数評価にも用いられています。 XPS分析と併せて測定が可能なため、試料表面組成の...(つづきを見る

  • 【分析事例】多元系金属微粒子の結晶構造観察 製品画像カタログあり

    InGaZnO4粒子の超高分解能STEM観察

    Csコレクタ(球面収差補正機能)付きSTEM装置により、超高分解能観察(分解能0.10nm)が可能となりました。原子量に敏感なHAADF※-STEM像は多元系結晶構造を直接理解できる有効なツールです。今回、TAOS(透明アモルファス酸化物半導体)中微粒子の評価を行いましたので紹介します。...(つづきを見る

  • 【分析事例】化合物へテロ接合界面歪の可視化 製品画像カタログあり

    FFTM法による格子像解析

    す。FFTM解析により、(1)画像のx, y方向の格子歪みの解析、(2)結晶面方向の格子歪みの解析、(3)結晶面間隔分布、結晶面方位分布の解析、(4)データ分布のヒストグラム表示、(5)空間分解能5nmで0.5%の歪の検出、が可能です。 化合物ヘテロ接合多層膜試料に適用した例を示します。...(つづきを見る

  • 【分析事例】XPSにおける吸着酸素の影響 製品画像カタログあり

    XPS: X線光電子分光法

    XPSは試料表面(数nm程度の深さ)の組成・結合状態に関する知見を得る手法ですが、イオン照射によるスパッタエッチングを組み合わせることで、試料内部や深さ方向分布の評価も可能です。 但し、スパッタエッチングを伴う評価ではX...(つづきを見る

  • 【分析事例】Si自然酸化膜の膜厚評価 製品画像カタログあり

    光電子の平均自由行程を用いた膜厚の見積もり

    シリコンウエハ上の自然酸化膜・シリコン酸窒化薄膜など厚さ数nm以下の極薄膜について、XPS分析によって膜厚を算出した事例をご紹介します。Siウエハ最表面のSi2pスペクトルを測定し、得られたスペクトルの波形解析を行うことにより、各結合状態の存在割合を求め、この...(つづきを見る

  • 【分析事例】XAFSによるシリコン酸化膜評価 製品画像カタログあり

    シリコン周囲の局所構造解析、中間酸化物の定量、バルク・界面の評価

    ウムイオン二次電池の負極材料として広く利用されていますが、中間酸化物の有無や界面での結合状態がデバイス特性に大きな影響を与えることが知られています。 放射光を用いたXAFS測定では試料表面から数十nmの深さの情報を検出するため、非破壊でバルク・界面における構造および結合状態を解析することが可能です。 本資料ではXAFSを用いてシリコン酸化膜の中間酸化物の有無を調査した事例を紹介します。...(つづきを見る

  • 【分析事例】Siウエハの保管状態による表面汚染評価 製品画像カタログあり

    フッ酸処理で酸化膜を除去したSiウエハの汚染・酸化の評価

    試料搬送時の汚染及び酸化の影響についての知見は、検出深さがnmオーダーの表面分析において重要です。そこで、保管方法の違いによる汚染・酸化の影響をSiウエハにおいて検討致しました。 薬包紙・アルミホイル保管では、一般的に見られる二次汚染による有機物のピークは弱...(つづきを見る

  • 【分析事例】AESによるボンディング界面の元素分析 製品画像カタログあり

    加工を併用することで界面の元素分析が可能

    AES分析は最表面(~深さ数nm)の組成情報や元素分布を得る手法ですが、断面加工を併用することで、層構造内や構造界面でも同様の情報を得ることができます。合金層や元素拡散・偏析等の評価が可能であるため、デバイスの故障解析や不具合調査...(つづきを見る

  • 【分析事例】Si-IGBTチップのキャリア濃度分布評価 製品画像カタログあり

    フィールドストップ層およびライフタイムキラーのSRA評価

    SRAでは、キャリアの深さ方向濃度分布を浅い領域(数100nm)から深い領域(数100μm)までの幅広いレンジで分析が可能です。また、試料表面や指定深さにおける抵抗値の面内分布評価も可能です。 一例として、市販品のSi-IGBTチップを解体し、チップ全体/フ...(つづきを見る

  • 【分析事例】磁気ヘッドの組成像観察 製品画像カタログあり

    EELS元素マップによる層構造評価

    GMR(giant magnetoresistive)ヘッドはnmオーダーの薄膜が積層された構造を持ちます。この多層膜は各層の原子番号が近く、また構造も似ているためにTEM観察では各層の識別ができませんでした。TEM観察では単層にしか見えなかった膜内において、EE...(つづきを見る

  • 【分析事例】アイシャドウ成分の元素分析 製品画像カタログあり

    ナノオーダーの形態観察・元素分析が可能

    透過型電子顕微鏡(TEM)はμm~nmオーダーの形態観察・元素分析が可能です。 アイシャドウは固体粒子の集まりなので、そのままTEMによる分析を行いました。 TEM観察後、視野内の特定箇所についてEDX分析を行い、構成元素から材料を...(つづきを見る

  • 【分析事例】ZnO膜表面の形状観察 製品画像カタログあり

    広域の表面形状観察が可能

    走査型白色干渉計(光干渉計)は、試料の表面形状を「高い垂直(Z)分解能(0.1nm)と広い(X-Y)測定視野(50μm~4.2mm)」で高精度に、非接触3次元測定を行うことが可能です。4.2mm×4.2mmの視野まで測定可能です。...(つづきを見る

  • 【分析事例】球面収差補正機能 製品画像カタログあり

    TEM:透過電子顕微鏡法

    球面収差補正機能(=Csコレクタ)つきSTEM装置では、原子レベルでの高分解能観察・高感度分析が可能です。分解能は約0.10nmです。...(つづきを見る

  • [AFM]原子間力顕微鏡法 製品画像カタログあり

    ナノスケールの凹凸形状を三次元的に計測

    ■使用する探針 シリコン単結晶ウエハを加工して作られた鋭い探針で試料表面を走査します。先端径は10nm未満にまで加工されています。 ■タッピングモード タッピングモードは、探針を約300kHzの高周波で強制振動させ、試料表面を走査します。 走査の過程で、探針が試料表面に近づくと探針の振動振...(つづきを見る

  • シミ分析の受託サービス|JTL 製品画像カタログあり

    試料表面の微量なシミの分析から調査まで一貫してご対応します。

    けすることにより、視覚的にサンプルの状態を把握することが可能です。 ●薄いシミも分析可能 酸化膜等の、ナノオーダーの非常に薄いシミも分析可能です。 ESCA/XPSを用いることにより、表面nmからの分析に対応しております。また、イオンスパッタリングにより、深さ方向の分析も可能です。 ...(つづきを見る

  • 光学応用機器開発 オプトメカトロ機器の受託開発 製品画像カタログあり

    オプトメカトロ機器の受託開発例。

    ○アグリチェッカ・クロマトチェッカ →試験片を装置にセットするだけで試験片の呈色の度合いを濃度分析や分光分析等の手法で判定することができる。 ○高出力半導体レーザ照射ユニット →波長808nm50W のファイバーレーザを用いプラスティックの熱融着による接合を行う。 ○パーティクルセンサ →気体(煙)及び液体(飲料水、薬液、オイル等)に含まれるパーティクルの検出。 ○バイオ計測用光源...(つづきを見る

  • 【分析事例】ステンレス不動態皮膜の深さ方向状態評価 製品画像カタログあり

    波形解析・Arスパッタによる結合状態の深さ方向分布評価

    成分(金属と結合している成分)などの結合状態の評価が可能です。また、アルゴンイオンスパッタリングを併用することにより、深さ方向の結合状態の評価も可能です。 ※ ステンレス表面の不動態皮膜(厚さ数十nm~数百nm程度)について、上記測定を行った結果、(1)表面側にFe酸化成分が多い、(2)Cr酸化成分がFe酸化層の下側に存在、(3)Ni酸化成分はほとんど存在していないことがわかりました。 ※スパ...(つづきを見る

  • 【分析事例】EELSスペクトラムイメージング 製品画像カタログあり

    TEM:透過電子顕微鏡法 EELS:電子線エネルギー損失分光法

    STEM装置:HD-2700のEELS装置にGatan Enfinaを採用、EELSスペクトラムイメージングによるナノメートルスケールでの評価が可能です。 全ての測定点(ピクセル)でEELSスペクトルデータを取得しておりますので、面分析後に着目領域のスペクトルやライン上の元素分布を抽出することが可能です。 半導体材料・電池材料・カーボン材料・高分子材料において、ナノメートルスケールの詳細な...(つづきを見る

61件中1〜45件を表示中

表示件数
45件
  • 1
  • 2
分類で絞り込む

分類で絞り込む

[-]

PR