無機防汚コーティング剤『エクセルピュア』による気化冷却効果

PR親水性による水膜形成で気化冷却を促進。空調室外機や屋根の散水冷却などに…

『エクセルピュア』は、アクリル、ポリカーボネート、PET、 ガラスなどの基材表面に超親水被膜を形成するコーティング剤です。 親水性により、被膜表面に付着した水分が薄い水膜を形成し、 水分の蒸発が促進されることで気化冷却効果が生まれ、 施工部分の冷却効率が改善されます。 ★PDFダウンロード”より、本製品のカタログのほか 　散水後の表面温度観察結果をまとめた資料をスグにご覧いただ...

メーカー・取り扱い企業： 中央自動車工業株式会社 営業開発部　営業推進グループ

【無線式】大型車のホイールナットの締付けトルク管理システム

PR大型車のホイールナットの締付けトルクデータを一括管理。無線による自動記…

トルク管理システム『K-TMS』は、中・大型車のホイールナットの 締付けトルク管理の負担を大幅に軽減できるシステムです。 当社の「パワートルクセッター　PTS-800ESL-K」を使用し、 無線で連携して、締付けトルクデータを自動記録することができます。 【特長】 ■1本ごとにデータを送信。パソコンに顧客・車両情報を記録 ■PCで状況をリアルタイムで確認可能。過去の車両データも呼び出し可能 ■...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社空研 本社

【分析事例】透過EBSD法による30nm以下の結晶粒解析

EBSD：電子後方散乱回折法

薄片化した試料でEBSD分析を行うことにより、従来のバルク試料よりも高い空間分解能を得ることができます。...詳しいデータはカタログをご覧ください...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

［FIB］集束イオンビーム加工

FIBは、数nm～数百nm径に集束したイオンビームのことで試料表面を走…

FIBは、数nm～数百nm径に集束したイオンビームのことで、試料表面を走査させることにより、特定領域を削ったり（スパッタ）、特定領域に炭素（C）・タングステン（W）・プラチナ（Pt）等を成膜することが可能です。また...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

［SAXS］X線小角散乱法

・ナノスケールでの周期構造・配向性を評価可能

SAXSは、X線を物質に照射して散乱したX線のうち、2θ＜10°以下の低角領域に現れるものを測定し、物質の構造を評価する分析手法です。通常、数nm～数十nm程度の大きさの構造を評価できます。 ・ナノスケールでの周期構造・配向性の評価が可能 ・微粒子や材料中の空孔分布を評価することが可能 ・タンパク質など生体材料の評価が可能 ・サン...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

自動車用駆動モータの性能評価

自動車およびその周辺分野を含めた様々なニーズにお応えし、委託試験・研究…

モータダイナモでは，以下の様な性能評価が可能です． ●モータ・インバータ定格・最高出力 　・自動車などの加速性能，最高速度などに影響 ●モータ・インバータ効率 　・自動車などの航続距離・電力量消費率などに影響 ●モータの回転数-トルク特性（N-T特性） 　・指示値と実値，温度，効率，出力などをマップ形状で評価 ●設計と実機の性能評価 　・材料の特性をモータにした状態での性能評価...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人日本自動車研究所

［AES］オージェ電子分光法

試料表面（数nm程度の深さ）の元素の種類・存在量の評価

AESは、電子線照射により放出されるオージェ電子の運動エネルギー分布を測定し、試料表面（数nm程度の深さ）に存在する元素の種類・存在量に関する知見を得る手法です。 ・固体材料の表面（深さ数nm）の定性・定量が可能 ・微小領域（数十nm～サブミクロン程度）の定性・定量が可能 ・主成分...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

プラスチック成形品の歪、複屈折評価

複屈折位相差（歪）や流れ方向・応力方向（主軸方位）の視覚化が可能です！

【装置原理】 ■複屈折を持つ透明体に光を当てると、その偏光状態が変化する性質がある ■複屈折測定装置を使用することで、偏光情報を専用の偏光イメージセンサで 　視覚化することが可能 ■523nm・543nm・575nmの波長を使用して、透明体を通過する前後の 　偏光状態を比較することで、複屈折を評価できる ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アイテス

技術情報誌 201905-01 高空間分解能の結晶方位解析

技術情報誌The TRC Newsは、研究開発、生産トラブルの解決、品…

【要旨】 TEMベースの結晶方位解析システム“ASTAR”を用いると、SEMをベースにしたEBSDよりも高い空間分解能が実現可能である（各種EBSD法の空間分解能が数十 nm程度に対してASTARを用いたACOM-TEM法では2～5 nm）。また、識別できる結晶構造が多いことも特長である。通常のTEM解析では取得困難な結晶方位マップ、結晶相マップおよび粒径分布などを得る...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社東レリサーチセンター

［SIM］走査イオン顕微鏡法

高分解能（加速電圧30kV：4nm）でのSIM像観察が可能

・高分解能（加速電圧30kV：4nm）でのSIM像観察が可能 ・SEM像に比べてSIM像の方が極表面層の情報が得られる ・金属結晶粒観察が可能（Al, Cu等) ・分解能はSEM像より劣る（SIM：4nm, SEM：0.5nm）...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

EBSD分析（電子後方散乱回折法）

容易に広い領域の結晶情報を得ることが可能

の面方位の測定が可能 ・測定領域の配向測定が可能 ・結晶粒径観察が可能 ・双晶粒界（対応粒界）観察が可能 ・特定結晶方位の抽出が可能 ・隣接結晶粒の回転角の測定が可能 ・透過法により10nm以上のグレインを評価可能...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

［XPS］X線光電子分光法

試料表面（数nm程度の深さ）の元素の種類、存在量、化学結合状態評価に有…

XPSは、Ｘ線照射により放出される光電子の運動エネルギー分布を測定し、試料表面（数nm程度の深さ）に存在する元素の種類・存在量・化学結合状態に関する知見を得る手法です。化学結合状態に関する知見が得られるため、別名ESCA : Electron Spectroscopy for Che...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【資料DL可：FIB】FIBによるナノレベル高精度加工

FIB装置によりSi基板上に”マスクレス”でナノレベルの加工を狙った位…

FIB(Focused Ion Beam：集束イオンビーム)装置のエッチング加工でマスクレスで任意形状作成できます。 この事例ではでは以下サイズで50nmステップ毎のピラー作製を紹介しています。 ・円形：φ5μm ・ピラーの高さ：700nm/650nm/600nm ・ピラーの径：φ500 nm ぜひPDF資料をご一読ください。 また...

メーカー・取り扱い企業： セイコーフューチャークリエーション株式会社

技術情報誌 202001-01 in-situ STEM

技術情報誌The TRC Newsは、研究開発、生産トラブルの解決、品…

リや磁気センサーなどが注目を集めている。これらのデバイスには、高い磁気抵抗効果が得られることからMTJ（magnetic tunnel junction）構造が広く用いられている。このMTJ構造は数nm程度の薄い積層膜から成り、原子レベルでの膜厚やラフネスおよび結晶性が特性を左右する。また、アニール温度によって磁気特性が変化することから、本稿ではin-situ TEMを用いて、加熱に伴う結晶性や元...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社東レリサーチセンター

膜分析の受託サービス｜JTL

メッキや薄膜、多層膜の分析を多彩な手法で適切に実施致します。

SEMで観察します。 膜厚が約10μmまでなら、凹凸のない研磨が可能です。それ以上の薄膜の観察をご希望の場合は、イオンミリング（CP加工）を推奨します。 ・イオンミリング（CP加工）：100nmオーダーでの観察 イオンミリング（CP加工）を行い、観察では100nmオーダーで観察可能です。 イオンビームによる加工は材料の硬さの違いに影響されにくく、硬軟質の複合材料でも凹凸が非常に少ない研...

メーカー・取り扱い企業： JAPAN TESTING LABORATORIES株式会社 本社

PCB基板・FPC基板解析サービス＜部品掲載位置＞

回路での使われ方、部品の仕様が確認可能！当社のPCB基板・FPC基板解…

当社のPCB基板・FPC基板解析サービスでは、部品ごとに部品表や回路図と 共通の番号を割り振り、各部品の搭載位置を示します。 部品番号は「回路図」や「部品表」と共通の番号なので、回路での使われ方、 部品の仕様が確認可能。 未実装（NM：Non Mount）の場合は、「NM000」のように未実装箇所ごとに 番号を割当て、回路図上でも未実装であることがわかるようにしています。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エルテック

［TEM-EDX］エネルギー分散型X線分光法（TEM）

EDXは、分析対象領域に電子線照射した際に発生する特性X線の、エネルギ…

れます。 多くの場合、SEMまたはTEMに付属しており、本資料ではTEMに付属のEDXについて紹介します。 ・全元素範囲（B～U）の同時分析が可能（付属装置によりBeの検出も可） ・0.1nmφ～の細い電子線プローブで測定が可能 ・ドリフト補正機能を用いることで、面分析でサブnmの積層膜を分布像として識別可能 ・面分析では任意箇所のスペクトルの抽出や線分析の表示が可能...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

［UV-Vis］紫外可視分光法

UV-Visは波長ごとに分けた光を測定試料に照射し、試料を透過した光の…

定により、試料中の目的成分の定性・定量分析や、試料の波長特性の評価が可能です。 また、透過率測定では、試料中の成分に特有の透過特性を評価できます。 ・紫外～可視～近赤外領域（波長域約190nm～約3000nm）における吸収スペクトル・透過スペクトルの取得が可能。...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

EELS分析手法による膜質評価

元素同定を行うEELS分析により、物質の結合状態の比較が可能です！

用するパラメータ：エネルギー損失電子 ■エネルギー分解能：1eV以下 ■長所：状態分析軽元素分析（Li,B） ■短所：広範囲の元素を同時分析が困難 ■測定時間：5s ■TEM試料厚：約50nm以下 <EDS> ■分析に使用するパラメータ：特性X線 ■エネルギー分解能：100eV前後 ■長所：全元素についての分析 ■短所：近接するエネルギーを持つ元素のピーク分離が困難 ■測定時...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アイテス

【受託分析】レーザー顕微鏡（高精度3D測定＆カラー観察）

試料表面の凹凸形状の3D測定や透明体越しの表面形状測定などが可能です！

当社では、形状測定レーザマイクロスコープ「VK-X200」を用いた 受託分析を行っております。 408nmレーザーを用いて観察、計測を実施。測定結果は国家基準につながる トレーザビリティ体系に基づいており、測定機器として非破壊測定に活用できます。 レーザー顕微鏡では、試料表面の凹凸形状の3D測定...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アイテス

STEM(走査型透過電子顕微鏡)分析法

極小に絞った電子ビームを試料に照射！試料内部の原子像分布・形態などを画…

当社で行っている「STEM(走査型透過電子顕微鏡)分析法」について ご紹介いたします。 原子像やサブnmオーダーで物質の構造を捉えることが出来、 明視野観察で構造情報を、暗視野像やHAADF像観察で物質の密度・ 元素情報を得ることが可能。 また、物質界面などの極微小領域での結晶状態・結晶方位...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社クオルテック

Arイオンミリング加工

機械研磨を行った後低加速Arイオンビームで仕上げ加工を行うことで厚さ5…

Arイオンミリング法とは、機械研磨を行った後、低加速Arイオンビームで仕上げ加工を行うことで厚さ50nm以下の透過電子顕微鏡用の薄膜試料を作製する加工法です。...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】ステンレス不動態皮膜の深さ方向状態評価と酸化膜厚評価

TOF-SIMSで無機物の分子情報を深さ方向に捉えることが可能

不具合の原因につながります。今回、TOF-SIMSを用いてステンレス表面の金属酸化膜の状態について分析した事例をご紹介します。TOF-SIMSでは酸化物状態として分子情報を高感度に得ることで、表面数nm～数十nmの酸化物の分布を得ることができ、イメージ分析によって空間的な分布を評価することが可能です。 測定法：TOF-SIMS 製品分野：製造装置・部品 分析目的：化学結合状態評価・組成分布評...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】酸化チタンアナターゼ型とルチル型の判別

TEM-EELSにより、微小領域の元素同定・化学状態分析が可能です

電子材料・触媒材料・紫外線吸収剤・光触媒などに用いられる酸化チタン（TiO2）には組成が同じで結晶構造の異なるアナターゼ型とルチル型が存在します。Si基板上に成膜した厚さ20nmの多結晶TiO2試料（写真1）について電子線プローブを約1nmΦ(FWHM)まで絞って測定を行いました。試料から取得したEELSスペクトルは、Ti, Oともにアナターゼ型TiO2の標準スペクトルと一...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】ウエハ表面の微小異物分析

加工無しで30nmサイズの組成分析が可能

AES分析は最表面から数nm深さまでの組成情報を得る手法であり、製造工程において表面に生じた汚染や異物の組成を調べる際に有効な分析です。基板などの母材の情報を検出することが少ないため、異物など異常箇所のみの情報を前処理加工など...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【解析事例】肝細胞（ブタの肝臓）

×7.000 挿入写真 細胞膜（×100,000）で解析！細胞膜は幅約…

がほとんど肝細胞です。 その他毛細胆管（BC）や血管（HS）があり血管の中には血液細胞（EC,Kf）が みられます。 挿入写真は隣り合った細胞の細胞膜の拡大で、それぞれの細胞膜は 幅約7nmの2重構造であることが判ります。 また、肝細胞は一般的な細胞の構造と機能を解説する時に常に引き合いに 出されるくらい、典型的な細胞小器官を持っています。 【解析概要】 ■解析対象：肝...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社花市電子顕微鏡技術研究所

［XRR］X線反射率法

XRR：X-ray Reflectivity

測定で得られた反射X線強度プロファイルをシミュレーション結果と比較し、シミュレーションパラメータを最適化することによって、試料の膜厚・密度を決定する手法です。 ・膜厚の評価が可能 （2～300nm 程度） ・密度の評価が可能 ・表面粗さの評価が可能（Rms = 5nm 以下） ・非破壊で分析が可能 ・約10×20mm の広い範囲の平均情報を得ることが可能...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

技術情報誌 202101-04 陽電子によるバリア膜や分離膜評価

技術情報誌The TRC Newsは、研究開発、生産トラブルの解決、品…

【要旨】 革新的なバリア性や分離性などの気体輸送特性（ガスや蒸気の透過性、拡散性、収着性など）を持つ材料の開発ではサブナノ空隙（1 nm未満の空隙）構造の評価が重要になる。そのため、分子レベルの空隙を評価する技術が求められ、陽電子消滅寿命法は強力なツールとなる。本稿では、polyethylene terephthalateおよびシリ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社東レリサーチセンター

［SSRM］走査型広がり抵抗顕微鏡法

ナノメートルレベルでの局所抵抗測定が可能

して検出することになります。このような局所的な抵抗を広がり抵抗と呼びます。 ■ダイヤモンドコート探針 SSRM では、主に、ダイヤモンドコートされたシリコン製の探針を用います。この先端は数十nm 程度まで先鋭化されており、特に尖りの部分は数nmの鋭利さを持ちます。SSRMはこの微細な探針の直下のキャリアを検出するため、高分解能の計測が可能です。 ...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

技術情報誌 201903-01 最先端SIMS分析装置

技術情報誌The TRC Newsは、研究開発、生産トラブルの解決、品…

【要旨】 最先端の二次イオン質量分析（SIMS）装置であるNanoSIMS 50Lは、プローブ径約50 nmのイオンビームと、透過率の高い質量分析系の併用により、従来のSIMSに比べて約2桁高い空間分解能でイメージング測定を行うことが可能である。本稿では、NanoSIMS 50Lの装置の特徴と分析事例を紹...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社東レリサーチセンター

【解析事例】ネガティブ染色法によるトリアデノウイルスの観察

×100,000 TEMで解析！風邪の主要病原ウイルスと言われ、直径約…

当社が行った『トリアデノウイルス』の解析事例をご紹介します。 アデノウイルスは、風邪の主要病原ウイルスと言われ、 直径約80nmの球状粒子です。 ネガティブ染色法により、表面のスパイクが観察できます。 【解析概要】 ■解析対象：トリアデノウイルス ■アデノウイルスは、風邪の主要病原ウイルス ■直径約80nm...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社花市電子顕微鏡技術研究所

［XRD］X線回折法

XRDは、回折パターンから試料の結晶構造情報を得る手法です。

・結晶性物質の同定が可能 ・結晶子サイズの評価 (数nm～100nm)が可能 ・結晶化度の評価が可能 ・配向性の評価が可能 ・歪み量・応力の評価が可能 ・非破壊で分析が可能 保有装置の特徴 ・室温～1100℃までの加熱分析が可能 ・ビー...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【AFM/AESオージェ電子分光装置】めっき部品の加熱影響評価

AFM走査型プローブ顕微鏡/AESオージェ電子分光装置によりめっき部品…

原子間力、摩擦力、静電気力などがあります。 また、大気中、真空中の様々な環境において測定ができ、導電性、絶縁性を問わず試料表面の観察が可能です。 AESオージェ電子分光装置では、材料の極表層（~5nm程度）の元素分析や深さ方向の濃度勾配を調査することが可能です。 この2つの分析装置を使い「めっき済みのコネクタ接点用ピン表面」の加熱影響調査を行いました。 ぜひPDF資料をご一読ください...

メーカー・取り扱い企業： セイコーフューチャークリエーション株式会社

【STEM/EDS】Auめっきされたコネクタ端子接点不良解析

STEMでめっきされたコネクタ端子表面の付着物層(20nm程度)の”表…

●表面を保護するサンプリング法により、端子表面の付着物層(20nm程度)が損失なく確認可能 ●EDS分析結果より、付着物の主成分はC(炭素)、O(酸素)であるため接点不良は有機物汚染によるもの判断 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてく...

メーカー・取り扱い企業： セイコーフューチャークリエーション株式会社

ウルトラミクロトーム加工

ダイヤモンドナイフを用いてバルク試料を切削し、厚さ100nm以下の透過…

ウルトラミクロトーム加工とは、ダイヤモンドナイフを用いてバルク試料を切削し、厚さ100nm以下の透過電子顕微鏡用の超薄切片を作製する加工法です。イオンビームを用いた加工と異なり、大気中にて広範囲の切片を作製することができます。 室温では切削が困難な生体材料や柔らかい高分子材料も、凍結固...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

オージェ分光分析

固体表面の元素組成と化学状態の分析が可能です。

表面≦5nm深さ、≦10nm径の微小領域、Li～Uまでの元素の高感度元素分析ができます。このため、材料表面の元素組成と化学状態分析、薄膜の分析が可能です。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大同分析リサーチ

技術情報誌 202102-04 新規RBS装置の導入

技術情報誌The TRC Newsは、研究開発、生産トラブルの解決、品…

る軽元素の高感度測定 ４．重元素の質量分解能向上 ５．まとめ 【図表】 図1～図8 RGB各画素で取得したRBSスペクトル 各元素の質量分解能と感度（理論計算値） SiON膜(100 nm)/Si基板：RBSスペクトル、NRAスペクトル IGZO膜(300 nm)/Si基板：RBSスペクトル IGZO膜のGa/Zn比の比較...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社東レリサーチセンター

【資料】解析事例

リポソームの構造解析や皮膚ラメラ構造解析など！30nmから5μmの切片…

当資料は、株式会社花市電子顕微鏡技術研究所が行った解析事例を 掲載しています。 「ウルトラミクロトーム」では、30nmから5μmの切片作製が可能。 生物組織、金属メッキ層や無機蒸着層を含む複合材料、ナノ粒子など 幅広い分野における高品質な超薄切片および断面作製に適応できます。 多数分析をお取り扱いしており...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社花市電子顕微鏡技術研究所

<PDF資料DL可＞【XPS】XPSでのポリイミド表面の汚染分析

X線光電子分光分析(XPS)は試料最表面(数nm)の元素情報を得られる…

●試料最表面(数nm)の元素情報を得ることができるため、表面汚染・変色 の分析、表面処理の評価に有効です。 ●元素の特定だけでなく、元素の結合状態の解析も可能です。...

メーカー・取り扱い企業： セイコーフューチャークリエーション株式会社

表面処理層の構造解析

シランカップリング剤処理の効果を高める処方を分析結果から導きます！

当社では、分析が難しいnmオーダーの薄い表面/界面層の構造を推定し、 シランカップリング剤の処理条件の最適化に貢献します。 反応液の状態把握や付着量の比較が可能で、複数の分析手法を組み 合わせることで、精度がUP。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社KRI

角度分解HAXPES測定

HAXPES：硬X線光電子分光法

HAXPESでは、試料表面から深い位置まで（～約50nm）の情報を得る事が可能です。さらに2次元検出器を用いた角度分解測定により、広い光電子取出角で取得したデータを、角度すなわち検出深さを変えた情報に分割することができます。これにより、非破壊でXPSより...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

絶対PL量子収率測定

絶対PL量子収率測定は、材料の発光効率を求める手法です。

測定は、材料に吸収された光（エネルギー）に対し、どのくらいの効率で発光が得られるか、つまり材料の発光効率を求める手法です。 ・分光器付きの励起光源を用いているため、様々な波長（約350～800nm）での励起が可能 ■MSTの特徴 ・装置は雰囲気制御下で管理されているため、薄膜サンプルについては酸素の影響を受けずに測定することが可能...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

［AFM］原子間力顕微鏡法

ナノスケールの凹凸形状を三次元的に計測

■使用する探針 シリコン単結晶ウエハを加工して作られた鋭い探針で試料表面を走査します。先端径は10nm未満にまで加工されています。 ■タッピングモード タッピングモードは、探針を約300kHzの高周波で強制振動させ、試料表面を走査します。 走査の過程で、探針が試料表面に近づくと探針の振動振...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

［UPS］紫外光電子分光法

試料表面の組成の定性・定量や仕事関数評価に

UPSは、紫外光照射により放出される電子の運動エネルギー分布を測定し、試料極表面（数nm程度以下）の価電子状態に関する知見を得る手法です。その一方で、高いエネルギー分解能を利用して各種金属材料の仕事関数評価にも用いられています。 XPS分析と併せて測定が可能なため、試料表面組成の...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】Si-IGBTチップのキャリア濃度分布評価

フィールドストップ層およびライフタイムキラーのSRA評価

SRAでは、キャリアの深さ方向濃度分布を浅い領域（数100nm）から深い領域（数100μm）までの幅広いレンジで分析が可能です。また、試料表面や指定深さにおける抵抗値の面内分布評価も可能です。 一例として、市販品のSi-IGBTチップを解体し、チップ全体/フ...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】化合物へテロ接合界面歪の可視化

FFTM法による格子像解析

す。FFＴＭ解析により、(1)画像のx, ｙ方向の格子歪みの解析、(2)結晶面方向の格子歪みの解析、(3)結晶面間隔分布、結晶面方位分布の解析、(4)データ分布のヒストグラム表示、(5)空間分解能5nmで0.5%の歪の検出、が可能です。 化合物ヘテロ接合多層膜試料に適用した例を示します。...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】XPSにおける吸着酸素の影響

XPS： X線光電子分光法

XPSは試料表面(数nm程度の深さ)の組成・結合状態に関する知見を得る手法ですが、イオン照射によるスパッタエッチングを組み合わせることで、試料内部や深さ方向分布の評価も可能です。 但し、スパッタエッチングを伴う評価ではX...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】リチウム二次電池負極表面の劣化評価

大気非暴露で前処理から測定・観察まで行います

容量低下が見られるリチウムイオン二次電池負極表面を大気非暴露で評価した結果、100～200nm程度のCoを含む付着層が確認され、Coは金属状態であることがわかりました。 適用可能な手法観察手法：FIB‐TEM, SEM 表面分析：SIMS,XPS,AES,TOF‐SIMS その他構造評...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】XAFSによるシリコン酸化膜評価

シリコン周囲の局所構造解析、中間酸化物の定量、バルク・界面の評価

ウムイオン二次電池の負極材料として広く利用されていますが、中間酸化物の有無や界面での結合状態がデバイス特性に大きな影響を与えることが知られています。 放射光を用いたXAFS測定では試料表面から数十nmの深さの情報を検出するため、非破壊でバルク・界面における構造および結合状態を解析することが可能です。 本資料ではXAFSを用いてシリコン酸化膜の中間酸化物の有無を調査した事例を紹介します。...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】多元系金属微粒子の結晶構造観察

InGaZnO4粒子の超高分解能STEM観察

Csコレクタ（球面収差補正機能）付きSTEM装置により、超高分解能観察（分解能0.10nm）が可能となりました。原子量に敏感なHAADF※-STEM像は多元系結晶構造を直接理解できる有効なツールです。今回、酸化物半導体中微粒子の評価を行いましたので紹介します。異種材料界面・化合物界面の原...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】Si自然酸化膜の膜厚評価

光電子の平均自由行程を用いた膜厚の見積もり

シリコンウエハ上の自然酸化膜・シリコン酸窒化薄膜など厚さ数nm以下の極薄膜について、XPS分析によって膜厚を算出した事例をご紹介します。Siウエハ最表面のSi2pスペクトルを測定し、得られたスペクトルの波形解析を行うことにより、各結合状態の存在割合を求め、この...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】Siウエハの保管状態による表面汚染評価

フッ酸処理で酸化膜を除去したSiウエハの汚染・酸化の評価

試料搬送時の汚染及び酸化の影響についての知見は、検出深さがnmオーダーの表面分析において重要です。そこで、保管方法の違いによる汚染･酸化の影響をSiウエハにおいて検討致しました。 薬包紙・アルミホイル保管では、一般的に見られる二次汚染による有機物のピークは弱...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】アイシャドウ成分の元素分析

ナノオーダーの形態観察・元素分析が可能

透過型電子顕微鏡（TEM）はμm～nmオーダーの形態観察・元素分析が可能です。 アイシャドウは固体粒子の集まりなので、そのままTEMによる分析を行いました。 TEM観察後、視野内の特定箇所についてEDX分析を行い、構成元素から材料を...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

［SXES］軟X線発光分光法

SXESは、物質から発光される軟X線を用いて化学結合状態を評価する手法…

の評価が可能 ・スペクトル形状は価電子帯における着目元素の部分状態密度を反映 ・X線吸収スペクトル（XAS）との同時測定によってバンド構造の評価も可能 ・バルクの情報が得られるため、表面近傍数nmの影響を受けにくい ・絶縁物に対しても帯電の影響を受けずに評価が可能 ・検出下限が低く（＜1atomic%）、微量成分であっても評価が可能...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】球面収差補正機能

TEM：透過電子顕微鏡法

球面収差補正機能(=Csコレクタ)つきSTEM装置では、原子レベルでの高分解能観察･高感度分析が可能です。分解能は約0.10nmです。...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

SIM像　3D再構築解析受託サービス

SIM像3D再構築解析の受託スタート！※材料開発や半導体、基板のトラブ…

察、めっきの積層構造や厚さ の確認等を可能にします。 【特長】 ■逐次加工・観察で再構築データを作成 ■スライスデータの重ね合わせが高精度で、高品位な３Ｄデータを作成 ■スライスピッチは1nm～1μmで設定可能 ■高分解能なSIM像観察 ■観察対象：200µmまで対応可能 ■研磨加工で不具合箇所が消えてしまうような微小な観察対象でも観察可能 ※解析例などの詳細については、お問い合...

メーカー・取り扱い企業： 東レ・プレシジョン株式会社

シミ分析の受託サービス｜JTL

試料表面の微量なシミの分析から調査まで一貫してご対応します。

けすることにより、視覚的にサンプルの状態を把握することが可能です。 ●薄いシミも分析可能 酸化膜等の、ナノオーダーの非常に薄いシミも分析可能です。 ESCA/XPSを用いることにより、表面nmからの分析に対応しております。また、イオンスパッタリングにより、深さ方向の分析も可能です。 ...

メーカー・取り扱い企業： JAPAN TESTING LABORATORIES株式会社 本社

［SIMS］二次イオン質量分析法

二次イオンを検出し、各質量における検出量を測定することで、試料中に含ま…

・高感度（ppb～ppm） ・HからUまでの全元素の分析が可能 ・検出濃度範囲が広い（主成分元素から極微量不純物まで） ・標準試料を用いて定量分析が可能 ・深さ方向分析が可能 ・数～数十nmの深さ方向分解能での評価が可能 ・数μm角までの微小領域の測定が可能 ・同位体分析が可能 ・破壊分析...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

ガス昇圧設備を用いた高圧ガス試験

自動車およびその周辺分野を含めた様々なニーズにお応えし、委託試験・研究…

ガス充填・放出サイクルを繰り返す耐久試験や大流量の水素ガスを使用する試験が可能です。 ●超低温恒温恒湿槽を使用した高圧部品の温度サイクル試験、水素ガス性能・耐久試験 ●圧縮水素容器への水素ガス充填試験・ガスサイクル試験 ●高圧水素圧縮機にて供試体を95MPaまで昇圧可能 ●ガスブースター装置により、水素・窒素・ヘリウム・天然ガスにて供試体を110MPaまで昇圧可能 ●圧縮水素ガスを燃...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人日本自動車研究所

白色干渉計測法

非接触・非破壊で3次元測定可能

三次元測定が可能な装置です。 ・高輝度白色光源を用いた表面形状測定装置 ・非接触・非破壊で三次元測定が可能 ・広い視野（50μm×70μm ～ 5mm× 7mm） ・高垂直分解能（0.1nm） ・広いダイナミックレンジ（＜150μm）...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

光学応用機器開発　オプトメカトロ機器の受託開発

オプトメカトロ機器の受託開発例。

○アグリチェッカ・クロマトチェッカ →試験片を装置にセットするだけで試験片の呈色の度合いを濃度分析や分光分析等の手法で判定することができる。 ○高出力半導体レーザ照射ユニット →波長808nm50W のファイバーレーザを用いプラスティックの熱融着による接合を行う。 ○パーティクルセンサ →気体（煙）及び液体（飲料水、薬液、オイル等）に含まれるパーティクルの検出。 ○バイオ計測用光源...

メーカー・取り扱い企業： エーエルティー株式会社

塗膜内異物の非破壊分析＜顕微レーザーラマン分光分析＞

共焦点を用いたラマン分光分析による非破壊調査が可能！ラマン分光分析装置…

【測定条件】 ■レーザー波長：532nm ■対物レンズ：100倍 ■アパーチャー径：40μm ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大同分析リサーチ