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太陽電池作製装置(Si系、CIGS系太陽電池作製用のCVD装置)
高周波プラズマCVD法およびホットワイヤーCVD法を用いた微結晶SiC…
本装置は高周波プラズマCVD法およびホットワイヤーCVD法を用いた微結晶SiC太陽電池を作製することが可能な装置です。太陽電池における光吸収層であるi層、およびpn層の各層が分離形成できるように、3つの薄膜堆積チャンバー、試料搬送用ロボットチャンバー、試料ストックチャンバーの合計5室で構成しております。...
メーカー・取り扱い企業: 北野精機株式会社
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