【防災・BCP対策】非常用LPガス発電機

PR防災・停電対策・BCP対策向け非常用電源には災害に強いLPガス発電機を…

豊富なラインナップからお客様に適した発電機をご提案。 【LPガス発電機のメリット・優位性】 ■ガソリン発電機のように使用後放置してもキャブレターが詰まらない ■スズがでず、大気汚染物質の排出量が少なく、CO2も削減できる ■燃料の保管が容易のため、必要な量に応じて備蓄可能。72時間も対応可能。 【LPガスのメリット・優位性】 ■分散型エネルギーで復旧が早い。 ■国土強靭化計画で「エネルギー供給...

メーカー・取り扱い企業： 富士瓦斯株式会社（フジガス）

産業廃棄物焼却プラント『ヤスジマ製 バイオマスボイラシステム』

PRボイラ排熱を利用し、エネルギーコストを削減。汚泥等にも対応。テスト機で…

『ヤスジマ製 バイオマスボイラシステム』は、 「バイオマスボイラ」と「撹拌乾燥機」を組み合わせた 産業廃棄物を焼却するためのプラントシステムです。 「バイオマスボイラ」では木屑やバークなどを燃焼させ、 「撹拌乾燥機」は食品残渣や汚泥などの乾燥に使用。 撹拌乾燥機はボイラ排熱を利用することで エネルギーコストやCO2の削減にも貢献します。 【特長】 ■装置の設計から製造、...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ヤスジマ

乾式除害装置(MAKシリーズ)

大気放出できない装置から排出される有害排気ガスを安全に除害処理します。…

乾式除害装置「ＭＡＫシリーズ」は、排気ガス中の有害成分を化学処理剤トムクリーンと反応させ、安全な化合物に変えて処理剤内に固定し、弊社にて産業廃棄物として処理されます。 トムクリーンを処理対象成分に合わせて選択することにより、多種多様な排気...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社巴商会 管理部署：企画営業部

ガス配管

半導体や太陽電池等製造装置用ガス供給装置の設置・製造

半導体向け溶接ガス配管　 その他製品事例・・・ ・高純度ガス供給ユニット製作 ・シリンダーキャビネット製作 ・排気ユニット製作 ・除害ユニット製作 ・クリーン自動溶接配管製作 ・真空配管製作 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社湘南テクノ

緊急除害装置(S-CDシリーズ)

毒性ガス漏洩の緊急時に無害化します。（高圧ガス保安法一般則第55条第1…

緊急除害装置「S-CDシリーズ」は、高圧ガス保安法に対応した緊急用乾式除害設備です。 （高圧ガス保安法一般則第55条第１項） ● 特殊高圧ガス（７種）の他、アンモニア、塩素など、各種ガスの仕様に合わせた安全設計 ●排気ブロワーのインバー...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社巴商会 管理部署：企画営業部

超高純度ガス小型精製器

腐蝕によるパーティクルの発生や化学反応を起こしません。

(株)ピュアロンジャパン製ガス精製器です。 ユースポイントにおいて、不活性ガスや特殊ガス中に含まれる水分・酸素・ハイドロカーボンなどの不純物を、条件により最大１ＰＰＢ以下まで除去します。内蔵の粗取り用フィルターメディアには全て...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ピー・ジェイ

活性炭ガス精製器

高清浄度活性炭を内蔵

(株)ピュアロンジャパン製ガス精製器です。 超精密なガスフィルターエレメントと高清浄度活性炭を内蔵しており、ユースポイントにおいてドライエアー及び不活性ガス中の微粒子、ガス状有機物、酸系不純物を高効率で除去します。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ピー・ジェイ

熱触媒式除害装置(TCSシリーズ)

排気ガス中の有害成分を専用触媒により除去します。

● 反応副生成ガスにも対応 　カーボンナノチューブCVDプロセスで使用される　NH3（アンモニア）の他 　副生成される可能性が　ある毒性の強いHCN（シアン化水素）にも対応。※1 ● 視認性に優れたデザイン ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社巴商会 管理部署：企画営業部

セトラ社　ウルトラクリーン圧力センサ　モデル２２５シリーズ

特殊ガス用途に開発された静電容量方式の圧力センサ

セトラ社のモデル２２５は特殊ガス用途に開発された静電容量方式の圧力センサです。配管時のトルクストレス、低温ガスのフローによる温度変化、外部からの高周波ノイズなどの影響が受けにくい構造になっています。...

メーカー・取り扱い企業： エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社　ST事業部

腐蝕性特殊ガス対策用ハステロイC-22ハウジング製

ハロゲン系反応性腐蝕性特殊ガスに対し、耐蝕性が非常に高く極めて優れた性…

半導体製造ガスラインなどに用いられる（株）ピュアロンジャパン製セラミックガスフィルターです。 フィルター構成部材には、フィルターハウジングにハステロイC-22を、そしてフィルターエレメントにはセラミックスを使用...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ピー・ジェイ

小型ガス精製器用ジャケットヒーター

ピュアロン製小型ガス精製器を効率良くヒーティングするために専用で開発致…

(株)ピュアロンジャパン製 ジャケットヒーターです。...【特徴】 ○４００℃までの高温に対応可能です。 ○各サイズに合わせて設計されていますのでジャストフィットします。 ○外装はポリエステルクロス製です。 ○発塵の心配がありません。 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ピー・ジェイ

『事例集』半導体製造用バルブのヒューマンエラー対策※無料進呈中

【特に人気のある3事例をまとめて進呈中！】「バルブを変える」ことでトラ…

は半導体製造工程でのヒューマンエラー事例と対策をご紹介。 特に人気のある3事例をまとめて進呈中です。 ◎概要◎ ・バルブを閉止したつもりが半開状態だった ・間違って閉止バルブを開けてガスを流してしまった ・忙しい時や普段とは違う作業時にバルブを締め切らずに漏れ発生… といった事故やトラブルのお悩みはありませんか？ お悩み別の解決方法を事例集にまとめております。 ▼ ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社キッツエスシーティー

セトラ社　ウルトラクリーン圧力センサ　モデル２２４シリーズ

特殊ガスのモニターと制御用に開発されたウルトラクリーンセンサ

セトラ社のモデル２２４は特殊ガスのモニターと制御用に開発されたウルトラクリーンセンサです。 　モデル２２４はパージ効果の高い流線型のセンサチャンバを持ち、ガスの流れによる瞬時の温度変化の条件下でも優れた安定性を実現するように設計...

メーカー・取り扱い企業： エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社　ST事業部

ガスボックス

ガスボックス

系統図、使用ガスの流量を御指示いただければ、確かな物を安価で迅速に供給できます。 【製造事例】 ・高純度ガス供給ユニット製作 ・シリンダーキャビネット製作 ・排気ユニット製作 ・除害ユニット製作 ・...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社湘南テクノ

プラズマＣＶＤ成膜

ガスを化学反応させることで緻密な薄膜を形成！低温加工も可能です。

プラズマＣＶＤ法は、膜としたい元素を含むガスを、プラズマにより励起や分解をさせて、 基板表面で吸着、反応等を経て膜を形成する方法です。 プラズマを用いるため熱ＣＶＤに比べて低温での製膜が可能です。 また、イオンプレーティング法、真空...

メーカー・取り扱い企業： 東邦化研株式会社

GaN半導体 MOCVD用機能部品

高温アンモニアに耐性があり、容易に高温が得られる機能部品、高温用ヒータ…

Momentiveの『超高温用ヒータ』、『窒化ホウ素製品群』および『グラファイト保護コーティング』は、高温の腐食性ガス雰囲気に耐性があり、窒化物単結晶成長やエピタキシャル装置の機能部品として多くの実績を有しております。 ■超高温ヒータ ・超高温（1500℃以上）での使用が可能 ・腐食性ガス雰囲気に耐性があ...

メーカー・取り扱い企業： モメンティブ・テクノロジーズ・ジャパン株式会社

VP型ドライルーツ式　真空ポンプ　VPシリーズ

独自の冷却技術を用いた 多段ルーツ式真空ポンプ

ルーツ式で大気圧から入口締切りまでの全域で 　運転を実現し、使い易さを追求 ○ステンレス(SCS13.14.16)製真空ポンプの製作が可能 　その他の特殊材質についても対応可能 ○擬縮性ガスの吸引でも連続運転が出来ます。 ○真空ポンプケーシング内部の洗浄が容易に行える ○高温ガス130℃を直接吸引することができる(標準材・FC) ○吸引と同時に圧送ができる（特殊仕様により0.1M...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社四葉機械製作所

『事例』ガス供給ラインバルブの安全対策 ※無料進呈中

『流路まるごと事例集』バルブ半開によるヒヤリハット事例がある方、狭所で…

バルブを閉止したつもりが実際には半開状態だった、バルブの閉止の確認や作業に手間や時間がかかる、といったお悩みはありませんか？ KITZ SCT では半導体製造での流体関連のお悩みにさまざまな提案を行っております。気になる事例がありましたらイプロスまたは当社ホームページ経由でお問い合わせください。 ホームページ：https://www.kitzsct.com/contact/produc...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社キッツエスシーティー

排気配管内Ｎ２ヒーター（コントローラ内蔵型）

配管形状を選ばず、粉体の析出を抑制し配管内の閉塞を局所集中により防止し…

半導体・液晶製造装置の排気ラインは大量のパウダーにより常に汚染や閉塞の危険が伴います。当製品は既設の希釈用Ｎ２ガスを利用してこれらの諸問題を簡単且つ低コストで防止、解消します。また、クライオポンプのオーバーホールサイクルの向上、延命の他、ロードロック室のパージにも優れた効果を発揮します。...

メーカー・取り扱い企業： エヴァンリード株式会社

単結晶高純度ダイヤモンド合成用CVD装置　DCVD-51A

コンパクトで省電力！デバイス作成向け単結晶高純度ダイヤモンド合成実験用…

により、高効率な運転が可能 ○放電状態を見ながらの実験が可能 ○試料導入はロードロック方式への発展が可能 ○完全なシールド構造により、マイクロ波の漏れ対策は万全 ○全て空冷仕様により、電力とガス供給のみでの運転が可能 ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。 ...

メーカー・取り扱い企業： アリオス株式会社

Aera Transformer　デジタルマスフローコントローラ

コスト削減に寄与する汎用性に優れたMFC

効率を実現することによって、歩留まりの改善、生産性の向上、ならびにコストの削減に寄与貢献します。 新センサー・バルブ技術、フィールドで実績のある基幹部品、ならびに高速デジタル回路を搭載して、精密なガスフロー制御を実現します。優れた信頼性と卓越した応答性、正確性、再現性を誇り、汎用性に富んだ、お客様が重点を置く価値や機能に合ったシングルガス対応ならびにマルチガス・マルチレンジ対応MFCを取り揃えて...

メーカー・取り扱い企業： 日立Astemo＆ナガノ株式会社

高周波レーザーCVD装置

簡単に試料セットする事が可能！外部ビューポートよりYAGレーザーを入射…

部ビューポートよりYAGレーザーを入射し成膜ができるCVD装置です。 サンプル導入口はチャンバー側面で、両側開閉可能。 簡単に試料セットする事ができます。 オプションでチャンバー上部にガス供給系（最大5系統）を設置する事も可能です。 【特長】 ■外部ビューポートよりYAGレーザーを入射し成膜ができる ■サンプル導入口はチャンバー側面で、両側開閉可能 ■簡単に試料セットする...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社和泉テック

Aera FC-DR980　デジタルマスフローコントローラ

優れた汎用性を備え、多くのシステムに対応する先進のデジタルMFC/MF…

既存の主な制御方式および通信方式に合わせて使用するため、様々な出力形態に応じてアナログまたはデジタル制御を行います。本製品には、お客様のご要望に応じて、シングルガスモデル、マルチガス・マルチレンジモデルをご用意しています。 マルチガス・マルチレンジモデルは、スペアMFCの在庫の大幅削減に寄与する事でコストダウンを図っています。また、流量のモニタリングと制御を...

メーカー・取り扱い企業： 日立Astemo＆ナガノ株式会社

CVD、PECVD横型炉装置『EVADシリーズ』

フロー管理システムが搭載！粉体へも高温でのCVD/PECVDによる処理…

『EVADシリーズ』は、ガス、蒸気、液体や固体原料から合成・成膜可能な、 CVD、PECVD横型炉装置です。 シングルゾーン、マルチゾーンによる温度分布を制御し、 回転機構付き高品質ステンレス製チャンバーにより粉体へ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ハイテック・システムズ

半導体式マイクロ波電源　5.8GHｚ帯

半導体式マイクロ波電源　5.8GHｚ帯

の可変が可能。 オプションとしてパルス巾変調・FM変調・AM変調・発振周波数の掃引・PLL式周波数発生器、出力電力のパターン運転やパソコンとのリンク、試験管、石英管、フッ素チューブ等を用いた減圧、ガス置換などができます。 主な仕様はマイクロ波出力:130W、電源入力：単相 AC100V 0.8KVA、外形寸法：W431×H310×D330、質量25kgなど ...

メーカー・取り扱い企業： 富士電波工機株式会社 第1機器部

高濾過精度オールメタルガスフィルター

コンパクトサイズでより高流量のガスを処理

(株)ピュアロンジャパン製 ガスフィルターです。 全ての材質にＳＵＳ３１６Ｌを使用。高流量・高差圧下においても０.００３μｍ以上の粒子を高い効率で除去致します。従来品と比較し圧力損失が極めて低く、コンパクトサイズでより高流量のガ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ピー・ジェイ

【nanoCVD-8G/8N】グラフェン/CNT合成装置

◉ 大型製造装置設備を使わず、短時間で容易にグラフェン・CNT（SWN…

◆Model. nanoCVD-8G（グラフェン用）◆ ・グラフェン生成用，真空プロセス制御 ・ロータリーポンプ標準付属（オプション：TMP, Diffusion or Dry Pump） ・ガス供給3系統（標準） ・試料加熱ステージMax1100℃ ・Kタイプ熱電対 ◆Model. nanoCVD-8N（CNT用）◆ ・CNT生成用，常圧プロセス制御 他同上 ※ H2,...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

Aera PI-980　プレッシャーインセンシティブＭＦＣ

明日のプロセスニーズに応える次世代PI技術

この画期的な技術プラットフォームは、従来の技術と比べて、応答性、ガス流量安定性、計測精度を向上させるとともに、リアルタイムプロセス制御において優れた性能を発揮します。その優れた流量安定性により、チャンバ間のプロセス再現性が向上し、生産歩留まりを改善します。 PI-...

メーカー・取り扱い企業： 日立Astemo＆ナガノ株式会社

高生産性連続式常圧CVD(APCVD)装置 (AMAX800V)

量産向け　NSG(SiO2)/PSG/BPSG膜成膜用　高生産性　連続…

ウェハを載せたトレーを連続で搬送させ、下部より加熱しながらディスパージョンヘッド(ガスノズル)下を通過させることで成膜させることで、高スループット(高生産性)を実現しました。 トレー材質にはSiCを採用することで、重金属汚染(メタルコンタミネーション)を最小限にし、また長期的に安定...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社渡辺商行

高性能枚葉式常圧CVD(APCVD)装置 (A200V)

少量・多品種向け　NSG(SiO2)/PSG/BPSG膜成膜用　枚葉式…

密閉式チャンバー内で、ウェハを成膜面を下に向け裏面を吸着した状態で加熱させ、プロセスガスを下部より吹き上げながら成膜するFace-down成膜方式の採用により、低パーティクルで安全かつ高品質な成膜を実現しました。特許取得済のウェハ反り矯正機能により、SiCウェハの様な反りの大きなウェハ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社渡辺商行

小規模生産・開発用常圧CVD(APCVD)装置 (D501)

試作・開発・小ロット生産向け　NSG(SiO2)/BSG/PSG/BP…

大型トレーに複数枚ウェハをマニュアル装填し、トレーがディスパージョンヘッド(ガスノズル)下を往復させ成膜を行います。 常圧CVD(APCVD)の特色はそのまま、手軽に成膜が可能す。 ●納入実績 　・国内外半導体デバイス/オプトデバイスメーカー 　・大学/研究機関 ●装...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社渡辺商行

高生産性連続式常圧CVD(APCVD)装置 (AMAX1200)

量産向け　NSG(SiO2)/PSG/BPSG膜成膜用　高生産性　連続…

ウェハを載せたトレーを連続で搬送させ、下部より加熱しながらディスパージョンヘッド(ガスノズル)下を通過させることで成膜させることで、高スループット(高生産性)を実現しました。 トレー材質にはSiCを採用することで、重金属汚染(メタルコンタミネーション)を最小限にし、また長期的に安定...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社渡辺商行

太陽電池セル量産用連続式常圧CVD装置 (AMAX1000S)

結晶Si太陽電池セル量産用　NSG(SiO2)/PSG/BSG膜成膜用…

太陽電池の生産ニーズに合致した大量生産を可能にするために、大型ディスパージョンヘッド(ガスノズル)と超高速ダブルアーム搬送機構を搭載しています。 また、太陽電池用薄ウェハ対応のため、特殊ウェハホルダー・ランプ加熱機構・多段ベルヌイチャック等を採用しました。 ●装置サイズ(mm): 1...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社渡辺商行

プラズマイオン注入成膜装置

日本発のまったく新しいガスイオン注入も可能なDLCコーティング装置です…

・真空装置部の大型が容易に可能で最大長さ4m、直径1.2mの大型装置の納入実績もあります ・完全自動運転のためコスト低減が可能です ・DLC成膜のほかに簡易なイオン注入も可能で新しい材料の開発も可能です ・自転公転機構やヒーターが必要ないため真空装置内のパーティクルの発生を最小限に抑えることが可能です...・栗田製作所新開発のプラズマ発生方式により三次元形状物でも全方位に均一にDLC処理が可...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社栗田製作所 本社・京都事業部

【Nanofurnace】BWS-NANO 熱CVD装置

【ホットウオール式熱CVD装置】基礎研究に最適なコンパクトサイズ高性能…

x 100mm（Φ4inch） ◉ PID温度コントロール：Eurotherm 2416プログラム温度調節計 ◉ 流量制御：±1%F.S. 0sccm 〜 100, or 1000sccm（ガス種による） ◉ ロータリーポンプ付属...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

ガラス基板成膜装置「低温成膜」「フレキシブル基板対応」

FPDなどリジット/フレキシブルデバイスに対応した4.5世代ガラス基板…

成膜有効幅760mmのガスヘッド2基を搭載し、吸着式加熱ステージの採用により、温度制御性±3％以内を実現しました。 4.5世代ガラス基板に250℃で100nmのSiO2膜をスループット 25枚/h以上で成膜が可能で、膜厚均...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社渡辺商行

【HTシリーズ基板加熱ヒーターMax1900℃】Φ1〜8inch

プレート最高温度Max1900℃。HV, UHVほか過酷なプロセス環境…

300℃ ・TiC3（チタン・カーバイド）コーティンググラファイト Max1900℃ ◆◇対応基板サイズ◇◆ ・Φ1〜8inch基板、150mm角 ◆◇使用雰囲気◇◆ ・高真空,不活性ガス(CCC) ・超高真空, O2(Gr+SiC3コート) ・還元雰囲気中(Gr+TiC3コート)...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

真空センサ『730シリーズ』

コンパクトサイズでローコスト。半導体製造ラインなどで活躍。静電容量型

圧性能に優れるため、様々な用途に使用でき、 太陽光パネル、半導体、石油化学など幅広い分野のプロセス制御で 重要な真空圧力範囲の測定に活躍します。 【特長】 ■極めて低いノイズ影響 ■接ガス部にインコネルを採用 ■CEマーク対応／RoHS準拠 ■接続継手の選択が可能 ※『730シリーズ』のカタログはPDFダウンロードよりすぐにご確認いただけます。 　そのほかご不明点はお気軽...

メーカー・取り扱い企業： エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社　ST事業部

『事例』プラズマや熱による センターリングの劣化対策　無料進呈中

真空配管設備の不安を解消！プラズマや熱によるセンターリングの劣化対策の…

お困りではありませんか？ プラズマや高温、ガスによる影響で連結部に使用しているセンターリングが劣化してしまうなどの問題にたいする改善策をまとめた事例集です。 センターリングの検討をされている方、選定の一助までにご覧ください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社キッツエスシーティー

『事例』 ヒューマンエラーによるバルブ誤操作対策 ※無料進呈中

『流路まるごと事例集』錠やタグ付きワイヤーでバルブをロック！バルブ誤操…

お困りではありませんか？丸ハンドルのダイヤフラムバルブの安全対策。バルブ誤操作対策事例をご紹介します。 ・ガス供給機器のバルブのオペレーションミス防止 ・忙しい時期に起こりがちなケアレスミス防止...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社キッツエスシーティー

撥水コーティング装置 テスト受付中

プラズマ処理で撥水コーティング。低温処理で樹脂フィルムに対応。サンプル…

標準２５０ｍｍ□の処理ステージで各種表面処理（撥水化・親水化・表面酸化・クリーニング） 基板と目的に合わせて各種機能プラズマモード（ＲＩＥ／ＤＰ）・ガス種（ｆ系・ＣＨ系）・基板温度（水冷／加熱）が選択可能 サンプルテストで実基板評価が可能。同コンセプト装置で大型化・連続処理化も容易 ...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

小型・大流量PTFEガスフィルター「メガフロー」

最大1,000lpmまでの流量を確保

■小型・大流量 一般的なインラインガスフィルタのサイズで、大流量濾過が可能です。 高い粒子除去性能 ■0.003μm 以上の粒子を高い効率で除去致します。 ■優れた耐食性 フィルターメディアとサポート材は全てフッ素樹脂を採用し、...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ピー・ジェイ

Oリング フロロアップD（低固着+低アウトガス+耐高真空）

Oリングの桜シールによる低固着性+低アウトガス性のフッ素ゴム（FKM）…

ゴム材質の特徴である貼り付きやガスの放出といった現象を低減させたフッ素ゴム（2元系）による材質で、高真空用途に最適なグレードです。尚、耐熱性や耐薬品性については汎用FKMと同程度です。桜シール株式会社は、JIS規格による一般的な規格...

メーカー・取り扱い企業： 桜シール株式会社 日本本社

ハイブリッドフィルター

ガス配管コンポーネント保護用ガスケット付きメタルフィルター

■配管の面シール継手部のガスケットとして単体で装着出来ます。 ■既存の配管にも改造無しで取り付けることが出来ます。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ピー・ジェイ

常圧CVD装置「AMAX800V」

優れた膜厚・不純物濃度の均一性。高生産性と低価格を実現した常圧CVD装…

常圧CVD装置「AMAX800V」は、φ200mmウェーハ対応、モノシランガスの反応特性を応用したUSG、PSG、BPSG等の絶縁膜およびシリコン基板の裏面保護膜を形成する連続式常圧CVD装置です。 搬送機構の改良により高スループットを実現しました。 SiCトレーの採用に...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社天谷製作所

真空装置設計・製作からサポートまで短納期でご対応

真空装置の設計・製作から保守作業までお任せを！

着膜形成・物性の評価用・薄膜形成・膜厚強度(強化)・温度制御 ・ドーピング・材料研究評価用 【製作例】 ・実験装置設計製作(カスタム仕様)・実験装置改造設計製作(カスタム仕様) ・不活性ガス環境装置・真空乾燥装置(加熱/冷却) ・グローブボックス対応装置(高純度雰囲気室＋真空チャンバ) ・各種精製機の設計製作 【各種ＦＡ関連装置】 ・真空室内可動装置・大気/真空/グローブボ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社コスモ・サイエンス

液体ソースプラズマCVD装置

小型でスペース効率の優れた装置！基板はφ4インチ対応で、加熱機構・T/…

【構成（一部）】 ■基板寸法：最大φ4インチ ■電極構造：平行平板（デポタウン） ■プラズマ電極 　・外径φ150、シャワー式ガス噴射 　・自動整合器マウント ■基板電極 　・外径φ150 　・ヒーター内蔵式、基板加熱Max500℃ ■成膜チャンバー：φ300 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問...

メーカー・取り扱い企業： ケニックス株式会社