【防災・BCP対策】非常用LPガス発電機

PR防災・停電対策・BCP対策向け非常用電源には災害に強いLPガス発電機を…

豊富なラインナップからお客様に適した発電機をご提案。 【LPガス発電機のメリット・優位性】 ■ガソリン発電機のように使用後放置してもキャブレターが詰まらない ■スズがでず、大気汚染物質の排出量が少なく、CO2も削減できる ■燃料の保管が容易のため、必要な量に応じて備蓄可能。72時間も対応可能。 【LPガスのメリット・優位性】 ■分散型エネルギーで復旧が早い。 ■国土強靭化計画で「エネルギー供給...

メーカー・取り扱い企業： 富士瓦斯株式会社（フジガス）

圧縮ガスドライヤー

PR各種圧縮ガスから不純な水分を除去するドライヤー

各種ガスドライヤーは、圧縮ガスから水蒸気を連続的に分離するように設計されているため、圧力下露点温度を低下させます。 【効果一例】 二酸化炭素は不活性ガスであり、湿度のレベルによっては腐食性が高くなる可能性があります。 したがって、圧縮二酸化炭素ドライヤー（CO2ドライヤー）は通常、特定のプロジェクト要求を満たすためにカスタムメイドされます。 動作圧力、温度、要求される圧力下露点温度、湿度レベル...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社旭ケミカルス

大気圧プラズマ装置 Plasma Beam

圧搾空気を用いたアーク放電式の大気圧プラズマ装置 　‐低ランニングコ…

量処理用の小型モデルを始め、大型処理機まで幅広くプラズマクリーナーを取り扱っております。 Diener社の大気圧プラズマ装置は、プラズマノズルの電極部に高電圧フィールドを形成し、そこを通過するガスをプラズマ化します。 そのプラズマをエアーの気流で大気中に照射し、対象製品のクリーニングや親水性改善を行います。ガス源にはアルゴンガスやヘリウムガスを使用せず、圧搾エアーを使用するため、ランニングコ...

メーカー・取り扱い企業： テクノアルファ株式会社

乾式除害装置(MAKシリーズ)

大気放出できない装置から排出される有害排気ガスを安全に除害処理します。…

乾式除害装置「ＭＡＫシリーズ」は、排気ガス中の有害成分を化学処理剤トムクリーンと反応させ、安全な化合物に変えて処理剤内に固定し、弊社にて産業廃棄物として処理されます。 トムクリーンを処理対象成分に合わせて選択することにより、多種多様な排気...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社巴商会 管理部署：企画営業部

ガス導入型真空プラズマ装置

空気・酸素・窒素・アルゴンなど様々なガスを導入できる卓上型の真空プラズ…

樹脂・金属・ガラス・繊維など様々な材質への接着・密着強化や親水性の向上・有機物の除去などプラズマの持つ高い反応性を利用し、これらの悩みを解決！ 本機種は酸素や窒素・アルゴン・ヘリウムなど様々なガスを導入する事できます。またフロントパネルでパワー調整・ガス流量系・圧力計が設置されており様々な条件で照射が可能です♪...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社チェッカーズ

緊急除害装置(S-CDシリーズ)

毒性ガス漏洩の緊急時に無害化します。（高圧ガス保安法一般則第55条第1…

緊急除害装置「S-CDシリーズ」は、高圧ガス保安法に対応した緊急用乾式除害設備です。 （高圧ガス保安法一般則第55条第１項） ● 特殊高圧ガス（７種）の他、アンモニア、塩素など、各種ガスの仕様に合わせた安全設計 ●排気ブロワーのインバー...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社巴商会 管理部署：企画営業部

大気圧プラズマ装置　Plasma Beam RT

2 次元表面の高速、高効率、広範なインラインプラズマ処理に最適なソリュ…

ドイツDiener(ディエナー)社の大気圧プラズマ装置は、プラズマノズルの電極部に高電圧フィールドを形成し、そこを通過するガスをプラズマ化します。 そのプラズマをエアーの気流で大気中に照射し、対象製品のクリーニングや親水性改善を行います。ガス源にはアルゴンガスやヘリウムガスを使用せず、圧搾エアーを使用するため、ランニングコ...

メーカー・取り扱い企業： テクノアルファ株式会社

大気圧プラズマ装置 「Preciseシリーズ」

従来比50％の性能UP！低N2消費（約45％削減）の大気圧プラズマ装置

大気圧プラズマ装置 「Preciseシリーズ」は、窒素ガスをベースとし、誘電体バリア放電を利用しワーク自体を電磁界エリアから隔離し、リアクター内で励起されたラジカル等のみを使用した装置です。 これによりワークへのダメージを与えない状態で連続処理が可能になり...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社イー・スクエア

大気圧プラズマ装置　

大気圧Plasma装置の開発・製造・販売累計1200台以上の実績（20…

【大気圧プラズマ表面改質の優位点】 ■目的とする表面エネルギー（接触角）をコントロールできる ■活性種ガス(OHラジカル等)の侵入部分の細部まで処理ができる ■種々のガスを添加することで、撥水・還元処理やエッチング、CVD装置プラズマソースとして簡便に使用できる ■装置がコンパクト(省スペース) ■親水...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社イー・スクエア

PILLAR社　大気圧プラズマ表面処理装置『Protean1』

プラスチックフィルムの濡れ性・接着性改善など多用途で活躍。コロナ処理よ…

『Protean1』は、食品包装フィルム、光学フィルム、不織布、 金属コイルなど多用途で活躍する大気圧プラズマ表面処理装置です。 窒素ベースの混合ガスにより、基材の表面に反応性の高い官能基を形成。 フィルムの濡れ性・接着性向上、不織布の親水性・通気性効果改善などが可能です。 国内にテスト機がございます。 お客様のワークに応じて適した条件...

メーカー・取り扱い企業： 伊藤忠マシンテクノス株式会社

ダメージレスで接着性＆濡れ性向上！大気圧広幅低温プラズマ処理機

デモ機有り！　初回は無償でサンプル作成いたします。 安価なガスで低温…

前処理、有機物の除去や洗浄などのクリーニングとしても有効です。 金属、ガラス、樹脂の表面活性なら是非お試しください。 弊社にて濡れ性の確認テストがすぐに行えます。 N2,O2,H2といった各種ガスは常備しており、 サンプルをご持参いただければすぐに処理いたします。 小型電極は既存のラインへ設置が容易です。 ポテンシャルフリーなため対象物をダメージレスで処理が出来、 繊細な表面を持つプ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ケー・ブラッシュ商会 本社

卓上型／スタンドアローン 大気圧プラズマ装置

シンプルな卓上型の大気圧プラズマ装置やダイレクト方式の装置など豊富に掲…

気圧プラズマ装置』を ご紹介します。 前後スライドステージによるシンプルな卓上型の大気圧プラズマ装置 「MyPLシリーズ」をはじめ、スタンドアローンタイプの「ILPシリーズ」や キャリアガスに不活性のアルゴンを使用したダイレクト方式のプラズマ装置、 アルゴンガスを使用した大気圧プラズマのヘッドユニット「MDシリーズ」 などを取り扱っております。 また、曲面・凹凸のあるワークへ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社イトー

プラズマ窒化処理（イオン窒化処理）

真空中でプラズマエネルギーを利用した環境重視の窒化処理についてのご紹介…

株式会社では、真空中でプラズマエネルギーを利用した 環境重視の窒化処理を行っております。 真空炉中、炉壁と処理品との間で直流電圧をかけると、グロー放電が発生。 グロー放電を起こすための反応ガスとして、水素とガスを使用しています。 励起したプラズマ中に、窒化反応ガスとして窒素ガスを導入すると、 窒素原子は、同様に励起してN+のイオンに変わります。 このN+イオンを処理物の表面...

メーカー・取り扱い企業： 朝日熱処理工業株式会社

熱触媒式除害装置(TCSシリーズ)

排気ガス中の有害成分を専用触媒により除去します。

● 反応副生成ガスにも対応 　カーボンナノチューブCVDプロセスで使用される　NH3（アンモニア）の他 　副生成される可能性が　ある毒性の強いHCN（シアン化水素）にも対応。※1 ● 視認性に優れたデザイン ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社巴商会 管理部署：企画営業部

サンプル形状を選ばず、自由に処理！バレルタイプ プラズマ処理装置

微細なパターンやチューブ形状内面の洗浄、改質が可能！溶液を使用せずに洗…

【装置仕様】 ○装置フットプリント：幅６５０×奥行８００×高さ１２６０ ○処理室：φ３００×Ｌ４５０石英チャンバー ○高周波発振器：１３．５６ＭＨｚ／５００Ｗ ○処理ガス：処理ガス２系統マスフロー制御 ○真空排気：ドライポンプ ○制御：オート／マニュアル操作マイコン制御 ○安全仕様：非常停止スイッチ、各インターロック ○ユーテイリテイー：電源、処理ガス、Ｄｒ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社電子技研

大気圧プラズマ『Precise』シリーズ　※資料進呈中

【異種接合・接着剤レス直接接合】密着性・親水性などが向上！炭素繊維を高…

【大気圧プラズマ表面改質の優位点】 ■ドライ処理のため乾燥工程(ドライプロセス)が不要 ■目的とする接触角をコントロールできる ■活性ガス(OHラジカル)の侵入部分全て処理ができる ■種々のガスを添加することで、撥水・還元処理やエッチング、CVD装置プラズマソースとして簡便に使用できる ■装置がコンパクト(省スペース) ■親水処...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社イー・スクエア

大型プラズマエッチング装置

ウェハやガラス・大型基板のエッチング・アッシングに実績豊富なバッチタイ…

標準５００ｍｍ□のステージを装備したバッチタイプ平行平板型プラズマエッチング装置。 高周波プラズマを標準とし電極の切替によりRIE・プラズマエッチングのどちらのモードにも対応。 Ｆ系ガスによるエッチング・アッシングを標準的なプロセスとしＳｉ系・ＳｉＯ2系・ＳｉN系のエッチング及びアッシングに対応。またＡｒガスを主とした基板のクリーニングやＯ2ガスによる表面改質など多様な用途に実績。...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

水素プラズマクリーニング装置（イオンクリーニングタイプ）

H2（水素プラズマの還元力で各種基板表面クリーニング。表面酸化層除去効…

実装基板用のプラズマクリーニング装置「POEM]及び量産用プラズマクリーニング装置のハードを応用、クリーニング用ガス及びプロセスレシピをバージョンアップ。 豊富なレシピによる目的別クリーニングプロセスを実現。 水素ガス単体によるプラズマクリーニングの高還元性クリーニングに加え、Ａｒ＋Ｈ２の混合ガスによる物理洗...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

コールドカソード減速イオン銃『OMI0750シリーズ』

高精度減速型多段レンズにより、高電流密度の低速イオンビームを照射可能

0eVの 減速型コールドカソードイオン銃です。 効率よくイオンを引き出し、高精度減速型多段レンズにより、高電流密度の 低速イオンビームを照射可能です。 フィラメントがない構造は反応性ガスを使用可能となっており、長寿命の 為メンテナンスサイクルを短くすることが可能。整備性に優れた新設計 ディスチャージチャンバーを採用しております。 また高効率差動排気設計によりメインチャンバ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社オメガトロン

プラズマガン『SG-100』

緻密で溶射効率のよい皮膜が得られる！新設計のノズル電極により長寿命化を…

SG-100」＞ ■出力：40KW サブソニック、マッハ1、マッハ2、80KW マッハ2 ■粉末供給方式：アノード内部供給方式 ＜コントロールコンソール「3710/3620」＞ ■使用ガス：Ar、Ar+He、Ar+H2、Ar+N2 ■制御範囲 　・電流：150～1200A 　・ガス：Ar 30-200L/min、He 7-43L/min ＜パウダーフィダー 「1264」＞ ...

メーカー・取り扱い企業： ユテクジャパン株式会社

超高密度大気圧プラズマ　ToughPlasma　FPF20-GM

高い処理能力と安全性を両立させた大気圧プラズマ装置

。 　それにより高速での表面処理が可能となり、高い生産性と安定性をご提供します。 ◆電気的に中性 　ICチップ等が搭載された基板であっても電気的なダメージを与えません。 ◆低温処理 　照射ガス温度が低く、低融点の樹脂材料へも安心してご使用いただけます。 ◆ロボットケーブル 　電力線にロボットケーブルを採用しており、生産の自動化に貢献します。 ◆様々な自己監視機能 　放電状態やガス...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ＦＵＪＩ ロボットソリューション事業本部　新規事業部

大気圧プラズマ能力確認ツール　ToughPlasma　FSI

色の変化でプラズマ能力を容易に可視化できるシールです

。 　それにより高速での表面処理が可能となり、高い生産性と安定性をご提供します。 ◆電気的に中性 　ICチップ等が搭載された基板であっても電気的なダメージを与えません。 ◆低温処理 　照射ガス温度が低く、低融点の樹脂材料へも安心してご使用いただけます。 ◆ロボットケーブル 　電力線にロボットケーブルを採用しており、生産の自動化に貢献します。 ◆様々な自己監視機能 　放電状態やガス...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ＦＵＪＩ ロボットソリューション事業本部　新規事業部

今さら聞けない大気圧プラズマ装置の選び方　※解説資料進呈

"大気圧プラズマ装置の処理形態"や"当社独自の装置特長"などについて解…

ここではコロナ処理や、アーク等を用いた装置ではなく、 完全なるバルクプラズマを発生させた大気圧プラズマ装置を主体に置き、説明しております。 特殊電極構造を用い、窒素ガス・希ガス等をベースに高周波電力を電極に印可し、 高密度プラズマを発生させることによりが生成された高密度の活性種が ワーク表面に官能基や水酸基、アミン基を付与し、 濡れ性や、塗布性能、有機物除去等の処...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社イー・スクエア

Diener Electronic社製『プラズマ処理装置』

幅広い材質に対応できる低圧タイプや、インライン設置が可能な大気圧タイプ…

ルゴンプラズマによる酸化膜除去や、 フッ素を利用してのエッチングなど様々なプロセスを実行可能です。 《大気圧プラズマ装置》 プラズマノズルの電極部に高電圧フィールドを形成し、そこを通過するガスをプラズマ化。 そのプラズマをエアーやアルゴンガスの気流で大気中に照射し、対象製品のクリーニングや親水性改善を行います。 ※詳しくは資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。...

メーカー・取り扱い企業： テクノアルファ株式会社

大気圧プラズマ表面処理装置【洗浄や濡れ性改善、接着性改善に】

大気圧でフィルム・基板等の高速連続処理が可能！【サンプルテスト受付中！…

エア・ウォーターの「大気圧プラズマ表面処理装置」は工業ガス会社の知見から、様々な表面改質に提案が可能です。処理対象を電極の間に挿入するダイレクト方式と、電極間で発生したプラズマを対象に吹き付けるリモート方式をラインナップしています。 【特長】 ◆工...

メーカー・取り扱い企業： エア・ウォーター株式会社

大気圧プラズマ装置

大気圧プラズマ装置です。 接着、洗浄などに最適です。

電極ユニットを取り付けることで プラズマ処理を可能にする、大気圧プラズマ装置 【特徴】 ○ラミネーターの上流側に装着し 　窒素と空気の混合ガスの大気圧プラズマ処理を行う ○ガスが窒素のため安価 ○真空ユニットなど高価な装置は不要 ○太陽電池及び液晶の基板（ガラス）の洗浄や 　表面改質およびフィルム吸着力のUPなどに最適 ○仕様...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エム・シー・ケー 東京 電子事業本部

プラズマ溶射

溶射する材料に適した溶射条件に調整することが可能です。

の実績があればこそ、プラズマ溶射の良さを引き出すことができ、プラズマ溶射のメリットを十分発揮させることが可能になります。プラズマとは、分子が1原子ずつに解離し、そこからさらに電子が放出された超高温のガス状態。プラズマ溶射法はその超エネルギーを熱源として成膜材料を溶かし、爆発的に膨張するガスを収束したプラズマジェットで加速して、母材に叩きつけるようにコーティングします。詳しくはカタログをダウンロード...

メーカー・取り扱い企業： 日本コーティング工業株式会社

粉末用イオン注入装置

IonPOWDERによる粉体の革新的な表面処理。 粉体へのイオン注入…

特徴 ･多種のガスが使用可能（Ar, He, N2, O2, SiH4, 混合ガス） ･装置はレシピで動作可能 ･PVD(physical vapor deposition)機構も、増設できます。 プロセス...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社マツボー

マグネトロンスパッタ装置ＭＳＰ－２０ＴＫ

電子顕微鏡向けタングステン薄膜のコーティング装置です。

○電圧・電流容量の変更（オプション）により、殆どの金属コーティングを可能にします。 ○空冷式マグネトロンターゲット採用で、試料ダメージを最小限にし、ターゲットの温度上昇を防ぎます。 ○雰囲気ガスはアルゴンガスを使用。 ○条件出しの際の操作をより簡単にしたボタンレイアウト。 ○条件出し完了後はボタンひとつでフルオート動作。 ○インターロック・安全機構が充実した電子顕微鏡向けスパッター装...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社真空デバイス

ＳｉＣコーティング装置（ＡＦ－ＩＰ装置）

緻密で耐摩耗性と耐酸化性に優れたＳｉＣ（シリコンカーバイド）膜をＰＶＤ…

ＳｉＣ膜を形成可能とした新成膜技術を採用。 個体シリコンを出発材料としたイオンプレーティング法のためシンプルで環境負荷の少ないクリーンなプロセスを実現。 膜厚や膜質の制御性も高くＣＶＤに比べ、排ガス処理・メンテナンス性・設置面積・ランニングコストの全てに優れた新成膜装置 ...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

プラズマイオンボンバーダＰＩＢ－２０

あらゆる用途に対応可能な高性能装置。調整後はボタンひとつでＯＫ！

が導入困難な方、RFプラズマ装置が高価で手が出せなかった方に高性能なACプラズマ装置を低価格で！ 【その他の特徴】 ○大型フラット試料台を採用して、大きな試料もそのまま処理が可能です。 ○ガス導入＆調整機能を搭載して、お好きな雰囲気ガスを接続できます。 ○ハイドロカーボンの付着を防ぐバイパス排気管自動切換えシステム搭載。 ○調整操作もラクラク！黄色ＳＷを右から順に押していくだけです。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社真空デバイス

大気圧プラズマ処理機『ALDYNE』※フィルム加工・印刷業界向け

高いエネルギーレベルが安定的に長期間持続！高機能性基材の開発が可能に！

『ALDYNE』は、基材と塗工剤との接着性を高める装置です。 窒素ガスをベースとする混合ガス雰囲気中で、プラズマ放電を発生させ、 添加されたガスの分子を、基材表面に結合させアミド、イミド及びアミノ基を 生成します。 これらの官能基が高極性であり、また塗工剤と...

メーカー・取り扱い企業： ソフタル・コロナ・アンド・プラズマGmbH　日本支社

フィルム用ダイレクト方式大気圧プラズマ装置

フィルムの高速表面改質を窒素雰囲気中で実現。

安価な窒素ガスでも均一放電を実現。フィルムを高速均一処理します。 プラズマ中の活性な粒子が（原子状酸素など）によりフィルムや樹脂の有機分子の結合の一部が切断され、新たな官能基が形成されます。 これにより、表面...

メーカー・取り扱い企業： エア・ウォーター株式会社

ICP エッチング装置

ヨーロッパ 発の技術から生まれた汎用性の高い装置！

N層の特別処理が可能； pGaNの高エッチング選択比を実現、AlGaN層に低損失制御； 超低出力工程に対応 ・Pishow D： DRIE技術をベースに、Si、SiCの深掘りに対応； ガスの切り替え速度＜1s； BOSOH工程に対応可能 ...

メーカー・取り扱い企業： 日星産業株式会社

高電流密度イオンビーム型イオン銃

EUROVAC社製VARIAN型廉価版3keVイオン銃

タリングレート:200Å/min 　■ ビーム径:2.5mm 　■ リモートコントロール機能:ビーム電圧のオンオフ 　■ イオンビームスキャニング機能: 　■ DC偏向機能: 　■ 自動出ガス機能: 　■ 取付フランジ:ICF70 　■ 許容加熱温度:250℃...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社テク

DC-IMPACT（低温プラズマ浸炭）処理

低温域の処理において、窒素拡散だけではなく、炭素拡散も有効な表面硬化法…

【試験仕様】 ■固溶化熱処理条件(真空炉)：1030℃×80分保持後、窒素ガス冷却(130Kp) ■DCI処理条件：420℃×25時間　/　ガス比(CH4：H2)=1：20　/　真空度(Pa)=665 ■TP形状：50×50×1.2t ※詳しくはPDF資料をご覧いた...

メーカー・取り扱い企業： 朝日熱処理工業株式会社

プラズマアッシャー/ストリッパー

強力なプラズマ分子照射とヒータチャックを組み合わせることにより、通常の…

特長 ●高出力密度ダウンストリーム・プラズマ処理 ●ヒータステージ最高温度250℃ ●MFCによる各種ガス雰囲気制御（最大４系統） ●低周波40kHzプラズマ電源により効率的で加熱の少ない処理を実現 （CV200RFS） ●ストリップレート 　CV200RFS：最大7000Å/分 　EcoCl...

メーカー・取り扱い企業： ハイソル株式会社

卓上プラズマエッチング装置『TP-50B』

独自のスポットプラズマ技術で局所加工が可能な卓上プラズマエッチング装置

m(W)×390mm(D)×350mm(H) ■重量：20kg ■真空ポンプ：ドライポンプ（15L） ■加工範囲：28mm×28mm(オプションステージ使用時) 0.5~4mm ■対応可能ガス：CF4、N2、D.A、Ar、O2等 ※詳しくはPDFをダウンロードいただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： ナラサキ産業株式会社 メカトロソリューション部　機能材料課

プラズマイオン注入成膜装置

日本発のまったく新しいガスイオン注入も可能なDLCコーティング装置です…

・真空装置部の大型が容易に可能で最大長さ4m、直径1.2mの大型装置の納入実績もあります ・完全自動運転のためコスト低減が可能です ・DLC成膜のほかに簡易なイオン注入も可能で新しい材料の開発も可能です ・自転公転機構やヒーターが必要ないため真空装置内のパーティクルの発生を最小限に抑えることが可能です...・栗田製作所新開発のプラズマ発生方式により三次元形状物でも全方位に均一にDLC処理が可...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社栗田製作所 本社・京都事業部

VacuTEC-真空プラズマトリーター

低電力と特別な処理用ガスを必要としない設計！材料に応じて20～120秒…

【その他の特長】 ■標準チャンバーも用意されているため用途により選択可能 ■アルゴンや酸素などのプロセスガスを使用できるが、ほとんどの場合は必要ない ■プラズマプロセス全体は、HV-XジェネレータとPLC装置により制御される ■すべてのパラメータはタッチパネル上に表示される（標準－Pro-face製）...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社第一メカテック

簡易型大気圧プラズマ装置

低温・電荷ダメージなし！簡易型大気圧プラズマ装置 洗浄・表面改質・親水…

てはサンプル表面を40℃程度に。) ■コロナ放電のような電流集中したアーク状態ではありません。 →処理対象物へ電荷のダメージを与えません。 ■窒素のみをプラズマ化。 →ArやHeなどの高価なガスは必要としません。 ■AC100Vのコンセントで動作しますので、様々の状況での使用が可能です。 ■スリット型トーチ(φ20mm)噴射幅対応...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社チェッカーズ

大気圧プラズマにおけるダメージを与えない表面機能性付与の新提案

大気圧、ダウンストリーム型プラズマを用いることにより表面ダメージ等を排…

株式会社イー・スクエアは2001年に大気圧プラズマ装置をリリース以降、1200台以上（2021年時点　国内外表示デバイス市場・その他）の販売実績を誇る大気圧プラズマ装置専門メーカーです。　 今回「ワーク表面」や「電子デバイス」にダメージを与えない表面への機能性付与の新提案です。　 【掲載内容】 ■はじめに～背景 ■プラズマ処理形態 ■大気圧プラズマ装置から発生する種々のダメージ ■...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社イー・スクエア

プラズマ処理装置　WLP600S

6インチと8インチのウエハーに対応！平行平板方式のプラズマ処理装置

【仕様】 ○処理方式：平行平板プラズマ励起方式（DP／RIE切替可） ○処理室：AL製（シングルチャンバー） ○RF電源：600Ｗ　13.56MHz　オートチューニング ○処理ガス →O2：1000SCCM →CF4：500SCCM →1系統増設可（オプション） ○パージガス：N2 ○スループット：3000枚／400時間（ポリイミド膜1μｍエッチング時） ○処理ス...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エスクラフト

大気圧プラズマ装置を用いたダイレクト接着

大気圧プラズマ装置による分子結合接着「ダウンストリーム型大気圧プラズマ…

伝送ロスを排除した接着技術であり、分子結合を利用した接着剤レス接着であるため信頼性が高く、ワーク表面のフラットな状態をキープしながら、フッ素樹脂やその他フィルムとの異種材接着を実現している。 使用ガス種の変更により選択的に共有結合分子を選択でき、接着相手側との最適化を実現。 また、既存接着強度の向上にも適用可能です。 本資料では、「ダウンストリーム型大気圧プラズマ装置」を使った、 接合・接着の...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社イー・スクエア

枚葉式プラズマアッシング装置（ＳＷＰシリーズ）

ダメージレス・ハイスループット・多用途対応　ハイエンドデバイス・化合物…

波プラズマ源装備アッシング室２室装備。枚葉式ロードロック室１室装備。マルチチャンバタイプ。 コンパクトな設置寸法でハイスループットを実現。豊富なオプション類（ＲＩＥ室・ＩＣＰ室・加熱・冷却室・追加ガス系）による通常のアッシング岳でなく。マルチステップアッシング・各種有機膜エッチング・エッチング／アッシング複合装置として多くの用途・プロセスに対応 ...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

DLC成膜装置「プラズマイオン注入成膜装置」

３次元・大型・低温処理が可能！独自開発技術採用プラズマイオン注入成膜装…

第3555928号）です。 プラズマ生成用のバルスRF電源、イオン注入用の高圧バルス電源の出力を一つの電極から供給することにより、基材形状に合わせたプラズマ生成が可能です。 DLCコーティング、ガスイオン注入処理がこの一台で行うことができます。 【特徴】 ○３次元形状成膜が可能 ○装置の大型化が可能 ○低温処理が可能 ○完全自動運転 ○安心のログ機能 詳しくはお問い合わせ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社栗田製作所 本社・京都事業部

PlasmaMAX Hollow Cathode プラズマCVD

最高品質を保ちつつ、基板幅と成膜速度を最大化することで、大量生産プロセ…

わずかであるために、総所有コストが非常に低い。 ・　屈折率、光学的透明度、膜ストレス、密着性、柔軟性、硬度、密度といったフィルム物性を正確にコントロール 　　可能ためのプリカーサー、混合物、ガス供給比、プラズマ出力の操作が容易。 ・　様々な形状、材質のサブストレートに成膜可能。 ・　プラズマ形状を最適化するためのマグネットを追加することも可能。 ・　密着性を向上させるため...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社マツボー