コリオリ式マスフローコントローラ/メータ　Quantimシリーズ

PRコリオリ式微小流量の測定と制御の業界標準！幅広い流量レンジで液体・ガス…

『Quantimシリーズ』は、微小流量のガス/流体測定や制御において、高い 精度とゼロ安定性を実現するコリオリ式マスフローコントローラ/メータです。 特許取得済みのコリオリ式センサは、流体のタイプやプロセス変動に関係なく、 低流量の測定が可能。 その結果、条件が変化する場合でも、精度、安定性、繰り返し性、再現性の 高いマスフロー測定と制御を実現し、卓越したパフォーマンスを提供しま...

メーカー・取り扱い企業： ITWジャパン株式会社

独自の安全機構でガス充満による酸欠事故を防止『グローブボックス』

PR真空装置メーカーの技術・経験を結集！自社設計により柔軟な仕様変更とリー…

当社では、不純物ガス濃度1ppm以下の高純度環境を実現する 『グローブボックス』を設計・製造・販売しております。 内部のガス圧力が一定範囲になるよう制御するAPC機構や、 グローブ・圧力計の破損時に異常を検知してガス供給を停止するセイフティ機構を標準搭載。 グローブボックスの豊富な知識・経験を活かし、各種カスタマイズも承ります。 【特長】 ■自社設計により柔軟な仕様変更とリ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイエルエステクノロジー

卓上型大気圧プラズマ装置『MyPLシリーズ』

シンプルな構造のアルゴンプラズマ装置！小さいサイズのサンプルの改質に

『MyPLシリーズ』は、アルゴンガスを使用した大気圧ダイレクトプラズマ装置です。 前後スライドステージによるシンプルな卓上型ですので、 小さいサイズのサンプルの改質など研究開発・試作用途に適しています。 反りのあるフイル...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社イトー

大気圧プラズマ装置

アルゴンガスを使用したダイレクトプラズマ方式

キャリアガスに不活性のアルゴンを使用したダイレクト方式のプラズマ装置です。 安定したグロー放電を発生させ強力な改質が得られます。 省電力・低ガス消費量によりコストパフォーマンスに優れています。 オゾン発生...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社イトー

大気圧プラズマ装置ヘッドユニット　MDシリーズ

アルゴンガスを使用した大気圧プラズマのヘッドユニットです

アルゴンガスを使用した大気圧ダイレクトプラズマのヘッドユニットです。 非常に軽量でシンプルな構造の為、お客様の生産設備に容易に取り付けることが出来ます。 幅は60mm～2500mmまでラインナップがございま...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社イトー

実験用スパッタ装置

簡易でありながらφ3インチターゲットのマグネトロンカソードと200L/…

●　価格500万円(税込み) ●　φ3インチターゲット　1元カソード ●　RF300W電源、自動マッチングボックス付 ●　ガス系統：1系統(オプションにて3系統まで対応可)、 　　マスフローコントローラーによる調整 ●　酸化物など絶縁体のスパッタが可能。 ●　オプションにて基板ヒーターの取付可。 ●　余分なものを省...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ヤシマ

ユニフォームプラズマスパッタ装置

均一性プラズマ閉じ込めによる高品質スパッタリング

マ分布 ●独立したプラズマ室 ●基板温度100℃以下の低温スパッタ(SiO2，2KW，1時間) ●基板へのプラズマ衝撃フリーにより緻密な膜の形成・組成ずれのない合金膜 ●CVDのような特殊なガスを使わず、ターゲット間を電子が高速で往復することでスパッタ粒子(ターゲット材)を活性種化。それにより効率的に反応性スパッタ膜が形成されます。 ●テストスパッタはご相談ください。 ●その他機能や詳...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ヤシマ