ICタグによるクリーンウェア管理サービス

PRICタグによりウェア管理業務を省力化！ 洗濯回数が把握できるようにな…

当社では、お客様のクリーンウェアにICタグを取り付け、当社工場への 入荷時と出荷時に専用のICタグリーダーで読み取りを行い、ウェアごとの 洗濯回数データを管理できる『ICタグによるクリーンウェア管理サービス』を行っております。 ICタグを取り付けたウェアごとに洗濯回数を個別管理できるため、 お客様が設定された洗濯回数を超えたウェアをタイムリーに交換可能。 ウェア劣化によるコンタミネー...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社菱進

【展示会出展】医療機器部品の受託加工（ISO13485取得）

PRクリーンルーム（クラス10,000）完備！医薬・ヘルスケア製品の開発試…

弊社では、バイオサイエンス分野などで活躍する『樹脂製マイクロチップの受託製造サービス』をはじめ、医薬部品の受託加工を行っています。 『樹脂製マイクロチップ』では、ポリプロピレン系樹脂とエラストマー系樹脂から成るオリジナル樹脂材料を使用し 0.3～100μmというマイクロオーダーの加工が可能。さらに、均一な深さの流路を実現。 射出成形による量産に対応しており、低コストでの生産が可能です。 また、開...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社リッチェル

特殊構造採用の電気ヒーター　気体加熱器『クリーンホット』

断熱材不要で高効率、クリーン加熱が可能なヒーター！気体加熱器「クリーン…

気体加熱器『クリーンホット』は、特殊ヒーターおよび特殊構造の採用に より加熱効率がよく、加熱対象ガスをすばやく昇温し、正確な温度制御が 可能な電気ヒーターです。 内部特殊構造により、断熱材を使用しなくても外...

メーカー・取り扱い企業： 新熱工業株式会社 本社

クリーンルーム/スーパークリーンルームで使える6軸ロボット

高いクリーン度が求められる環境下での実績が多いストーブリクリーンルーム…

クリーンルーム/スーパークリーンルームに対応したストーブリのSCRロボットシリーズは、クリーン度の高い環境下での作業ニーズに応えるために特別に開発された6軸ロボットです。 これらのロボットは、半導体、バイオテクノロジー、医薬、医療などの産業分野において認証が求められるクリーン度クラス2（ISO規格）に準拠しています。 【特長】 ■より高い安全性と生産性 ■作業環境の改善、事故リスクの減少...

メーカー・取り扱い企業： ストーブリ株式会社

クリーンローラー『RYシリーズ』薄板対応タイプ

薄板対応の除塵装置。 駆動部にマグネットギアを採用！この一台で幅広い…

『薄板対応タイプクリーンローラー』をご紹介いたします。 「RY-1106シリーズ」は、細径の新型クリーンロールを使用 することで、薄板やフイルムの除塵が可能になりました。 また、装置駆動部分にマグネットギア...

メーカー・取り扱い企業： 日精株式会社 本社

オープンクリーンベンチ KOACH C 900-F　興研

■局所クリーン化の決定版■クリーンベンチのように周りを囲う必要なし■囲…

オープンクリーンベンチ 「KOACH C 900-F」（FERENA搭載）　　　　 清浄度：ISOクラス1／全換気時間：105秒 局所クリーン化の決定版です。 テーブル上の作業エリアをクリーン化...

メーカー・取り扱い企業： 泉州機工株式会社

コンタミネーション対策,局所クリーン化,テーブルコーチ 興研製

■実験環境のコンタミネーション対策が、簡単かつ安定的に実施できます。

ョン対策、キャリーオーバーコンタミネーション対策)】 興研株式会社製 テーブルコーチ KOACH T 500-F(清浄度ISOクラス1) ■清浄度ISOクラス1のテーブルコーチを設置し局所クリーン化すると、コンタミネーション対策(クロスコンタミネーション※1対策、キャリーオーバーコンタミネーション※2対策)を確実に実施でき、信頼性の高い研究結果を安定的に得られます。 ※1：クロスコン...

メーカー・取り扱い企業： 泉州機工株式会社

既存空室のクリーンルーム転用に　フロアーコーチTz　興研代理店

■既存建屋の一般的な天井高さ2400mmの部屋をクリーンルームに転用可…

■一般建屋内の天井高さ2400mmの部屋に設置するだけで、人が立って作業できる2100mm高さのスーパークリーンルーム(清浄度ISOクラス１)に転用可能。 プッシュフードとガイドスクリーンだけの簡単な構成でISOクラス1を実現できます。 既存建屋に多い室内天井高2,400mmの一般的な建物を改築するこ...

メーカー・取り扱い企業： 泉州機工株式会社

オープンクリーンシステムKOACH　清浄度ISOクラス１　興研

興研株式会社代理店としてオープンクリーンシステムKOACHをご提案致し…

フィルタを通して清浄化したコヒーレントな気流を対向させた時、 今まで誰も想像できなかった清浄空間が生まれました。 周りを囲うことも仕切ることもないオープンクリーンゾーンの誕生です。 【驚きの気流技術】 オープンクリーンシステム「KOACH」のプッシュフードからは、清浄化されたコヒーレントな気流が吹き出します。しかし、コヒーレントな気流であっても、周...

メーカー・取り扱い企業： 泉州機工株式会社

【コンタミナント対策用換気装置ラミコーチ　局所クリーン化】興研

■クリーンルームのコンタミ対策に ■プッシュプルでコンタミを捕捉

[クリーンルーム内の使用] 「LAMIKOACH」をクリーンルーム内で使用することで換気エリア内の清浄度を高めることが可能です。 コンタミネーション対策の局所クリーン化に最適です。 室内循環式タイプ...

メーカー・取り扱い企業： 泉州機工株式会社

局所クリーン化・コンタミナント対策 ラミコーチ J 500-F

コンパクトタイプ・持ち運びが可能・プルフードにFERENAを搭載

コンパクトタイプ「LAMIKOACH J 500-F」 ■コンパクトで持ち運びが可能です ■より高度なクリーン対策として、プルフードにナノファイバーフィルタ「FERENA」を搭載しています 吹出・吸込開口面寸法：プッシュフード W423mm × H358mm 　　　　　　　　　　　プルフードW49...

メーカー・取り扱い企業： 泉州機工株式会社

クリーンルーム・真空用アルミホイル

クリーンルーム内や真空チャンバー内で使用できる完全オイルフリー・コンタ…

クリーンルーム内や真空チャンバー内で使用できる完全オイルフリー・コンタミフリーなアルミホイルです。 アルミ箔はプラスチック製の芯棒に巻かれており、ビニールでラップされております。 ケースもプラスチック製なので紙類は一切使用されておりません。クリーンルーム内でも安心してご使用いただけます。 完全クリーンなアルミ箔なので、真空装置内部例えば蒸着装置などの防着板の代わりとして使い捨てでご使用いただけます...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクノポート

【コンタミナント対策 ラミコーチ　局所クリーン化】興研　代理店

■気流がコンタミナントを捕捉する■HEPAフィルタ搭載■ファン内蔵、室…

【コンタミナント対策用換気装置】 オープン空間においてクリーン化された空気を吹き出すプッシュフードとその気流をバランスよく吸引するプルフードによって構成されるコンタミナント対策用換気装置です。オープン空間において同一ベクトル集合流をつくりだし、その中で発生し...

メーカー・取り扱い企業： 泉州機工株式会社

クリーンルーム内の重量物搬送に！【エアーキャスター】

エアーの力で重量物を浮上させ、ごくわずかな力で搬送できる装置です！国内…

かな力で移動搬送することができます。 【特徴】 ■摩擦抵抗が約１／１０００。１０００Ｋｇの重量物もわずか１Ｋｇの力で移動できます。 ■生産ラインの変更、機械の位置決めが思いのまま。 ■クリーンルーム内での重量物の運搬に好適。 ■振動が少なく露光装置、半導体装置等の精密機器の搬送に最適。 ■床を傷めず重量物の移動が可能。 ■プラントエアーで運転できる。 ■騒音や粉塵の心配がなく、...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社関西加工機商会

●CP72・64シリーズ●【クリーンペーパー】※サンプル提供可

クリーンルーム内で使用可能なクリーンペーパー(無塵紙)

CP72/64シリーズは発塵を抑えた、クリーンルーム内で使用可能なクリーンペーパー(無塵紙)です。...

メーカー・取り扱い企業： 大日貿易株式会社 本社

e-クリーン　2液1槽式脱脂洗浄機（HC溶剤+HFE溶剤）　

省スペース・低ランニングコスト・低価格の超音波洗浄機！安全・簡単乾燥を…

「eco洗＋easy洗」を実現するe-クリーン「2液1槽式洗浄装置」 HC溶剤で洗浄⇒HFE溶剤蒸気でHC溶剤をリンス。 HFE溶剤は速乾性がある為、簡単に乾燥し、回収可能。 【特徴】 ○加工油の汚れと加工時に発生した切粉をHC溶...

メーカー・取り扱い企業： 大川興産株式会社

気体加熱用特殊ヒーター「クリーンホットヒーター」

特殊な内部構造により断熱材不要！高効率、高速昇温！クリーン加熱 (特…

気体加熱ヒータークリーンホットは、外部への放熱を最小限に押さえ、 ヒーターハウジング外面の低温化を実現したことにより公害の原因となる断熱材が不要となりました。 同時に、熱効率が良くなった結果、気体加熱時間が短縮され短...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社インテリンク

フロアーコーチ Ezp　清浄度ISOクラス１　興研株式会社

フード前方のガイドスクリーン長は、20mまで可能 天井に重量物が無く…

■既存建屋をスーパークリーンルーム(清浄度：ISOクラス１)に転用できます。 従来型の「フロアーコーチEx」「フロアーコーチEz」は共に全換気時間（スイッチONから全域が目標クリーン度を達成するまでの時間）が極めて短いため...

メーカー・取り扱い企業： 泉州機工株式会社

テーブルコーチ KOACH T 500-F　興研株式会社

卓上設置のコンパクトなサイズです。研究・検査機関に多くの導入実績があり…

【局所クリーン化　清浄度ISOクラス1 テーブルコーチ KOACH T 500-F】 テーブル上を清浄化。 手軽に持ち運んで卓上に設置できるコンパクトなサイズです。 研究・検査機関に多くの導入実績があり...

メーカー・取り扱い企業： 泉州機工株式会社

【KOACHショールームのご紹介】興研株式会社代理店

■ISOクラス１のクリーンゾーンを体感できる■実機デモ可能■事前予約制

合流を可視化 ◆同一ベクトル集合流の気流復元性 ◆清浄空間形成の原理 ◆ゾーン内での作業や障害物の影響を受けない気流 （作業、製品・機器による清浄度の低下なし） ◆数分で形成する高清浄度のクリーンゾーン ◆抜群な清浄度の回復力※ （一旦汚れても数分で元の清浄度に戻る） ※パーティクルカウンター用意あり。リアルタイムで確認可能。 従来のクリーンルームは総合的な建設が必要であり、時...

メーカー・取り扱い企業： 泉州機工株式会社

連続コーチ KOACH R 1050-F　清浄度ISOクラス1

横に並べることで、いくらでもクリーン空間を横に広げられます。

フィルタを通して清浄化したコヒーレントな気流を対向させた時、 今まで誰も想像できなかった清浄空間が生まれました。 周りを囲うことも仕切ることもないオープンクリーンゾーンの誕生です。 【驚きの気流技術】 オープンクリーンシステム「KOACH」のプッシュフードからは、清浄化されたコヒーレントな気流が吹き出します。しかし、コヒーレントな気流であっても、周...

メーカー・取り扱い企業： 泉州機工株式会社

【フロアーコーチ 自社大型ショールームのご紹介】興研代理店

■大阪府堺市に新規開設■国内最大級の大型ショールーム■実際の作業時の清…

大阪府堺市堺区に、KOACHの大型ショールームを新規開設(関西国際空港から高速経由25分、阪神高速湾岸線 三宝ジャンクション直近) フロアーコーチTz(ガイドスクリーン長20m スリープモード付き)の実機あり ■デモンストレーションによって体験いただける内容 ◆同一ベクトル集合流を可視化 ◆同一ベクトル集合流の気流復元性 ◆清浄空間形成の原理 ◆ゾーン...

メーカー・取り扱い企業： 泉州機工株式会社

【フィルタ(FERENA)の特徴・仕様　興研KOACH】興研

◆HEPAフィルタなみの低圧損で、ULPAフィルタなみの捕集効率を誇る

率を誇る ◆ナノファイバーの存在比率が高い ◆フィルタとして有効なランダム構造 ◆耐水・耐油性に優れる ◆耐熱性に優れる ◆ボロンが出ない ※FERENA(フェリナ)とは、オープンクリーンシステムKOACHのプッシュフードに搭載されているフィルタです。FERENAにより、KOACHは清浄度ISOクラス１を達成しています。 【仕様】 「FERENA-ZE」 エレクトロスピニ...

メーカー・取り扱い企業： 泉州機工株式会社

パワーロック　ＴＦ−ＫＰシリーズ（無電解ニッケルメッキ仕様）

パワーロック　ＴＦ−ＫＰシリーズ（無電解ニッケルメッキ仕様）

内外径寸法比が小さく、小径ハブにも取り付け可能なパワーロックＴＦシリーズに、無電解ニッケルメッキ仕様が加わりました。比較的クリーン度の低いクリーンルームでの簡易防錆や、軽度の耐食性が求められる用途に最適です。適用軸径は１０mm〜９０mmまでの３０サイズの品揃え。 特長 ・潤滑効果付きコーティングボルトの採用により、組...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社椿本チエイン　パワートランスミッション事業部門

高田工業所社製IPA蒸気洗浄装置『TIDシリーズ』

IPA蒸気による洗浄乾燥装置！デバイス・ウエハー・ガラス・部品などのク…

高田工業所では、長年の経験に裏打ちされた、クリーン化技術、搬送／制御技術等を駆使し、トータルエンジニアリング力で、お客様に最適な装置を設計・製作されております。 3D CADをはじめ、各種エンジニアリングツールにより、省スペースで使い勝手の...

メーカー・取り扱い企業： JFE商事エレクトロニクス株式会社 プロセスソリューション営業部 実装プロセス営業室

基板・フィルム用クリーンマシーン

非接触駆動を実現！除塵力変動を失くしたフィルムクリーンマシーン

メイン駆動部に強力なマグネットを使用することで非接触駆動を実現したテープ転写式除塵装置です。　新品テープ〜テープ終了時の、自重変化による除塵力の変化を失くし、安定した除塵力を得られるようになりました。 ●非接触駆動で、ギヤの摩擦・ロールユニットの出し入れによる発塵を予防。 ●ゴムロールの直接加圧方式にすることでテープの始まりから終わりまで　 安定した除塵能力を発揮。 ●加圧調整バルブで、...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エム・エル・シー

飛来物防止板(興研テーブルコーチ KOACH T 500-F)

粗大粒子等重量飛来物の落下対策。コンタミネーションコントロールとして最…

700mmから1OOOmmまで拡張することができる。また飛来物防止板購入時、飛来物防止板内にイオナイザーをオプション設置されたものの選択も可能。 イオナイザー(除電器)を設置することにより、クリーン環境下における有効な静電気対策が行えます。KOACHの気流でイオンを搬送すると、除電効果の範囲を拡大できます。また、除電器を取り付けても清浄効果に影響はありません。 また、飛来物防止板前面の...

メーカー・取り扱い企業： 泉州機工株式会社

千住金属工業　クリーンリフロー炉 CX-430

半導体用クリーンルーム対応リフロー炉

ウェハーレベルのソルダバンプ形成とベアチップのフェースダウン実装を可能にした最新のマイクロソルダリング用リフロー炉です。...【特徴】 ○炉内清浄度クラス1000を実現 （ウォーキングビーム搬送方式と遠赤・輻射加熱方式） ○炉内酸素濃度100ppm以下 （気密性に優れたチャンパー構造） ○フラックスヒューム回収装置 炉内で発生したフラックスヒュームは回収装置によって回収・除去 ○自在...

メーカー・取り扱い企業： 千住金属工業株式会社

低価格セルクリーンブース

低価格な激安クリーンブースでクリーン品質とほこりを除去。目ずまり無し。

-悪環境に非常に強く、メンテナンス期間をグーーンと延ばすことが出来ます！ クリーンルーム内の紙資料閲覧ブースとしても使えます。 特に悪環境に強くフィルター目詰まりがありません。空気の流れをコントロールで、商品はいつもクリーンに保てます。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社実装応援団

多段式HP-CP装置

【高精度な温度精度を実現】同一フレーム内で複数の基板を同時に加熱/冷却…

【特徴】 ■ホットプレート、コールドプレートによる各種基板の均一加熱、冷却を行います。 ■ホットプレートは基板最高温度150±3.0℃、ゴールドプレートは23±1.0℃の制御が可能です。 ■プロキシミリティピン（近接ピン）は取り外しや、交換が可能です。 ■ホットプレート、コールドプレートは弊社独自の表面処理により、静電除去が可能です。...〇装置概寸：(L)4000×(W)3600mm ...

メーカー・取り扱い企業： クリーン・テクノロジー株式会社

連続コーチ R 1050-F　清浄度ISOクラス1　興研

横に並べることで、いくらでもクリーン空間を横に広げられます。

連続コーチ 「KOACH R 1050-F」（FERENA搭載）清浄度：ISOクラス1／全換気時間：130秒 「KOACH R 1050-F」は横に並べることで、いくらでもクリーン空間を横に広げられます。 フード間の繋ぎ目からのコンタミナントの混入を防ぐ直角合流※（Rectangular Confluence）技術が搭載。 ※直角合流とは、KOACHの気流技術を応用...

メーカー・取り扱い企業： 泉州機工株式会社

【安衛法ナノ粒子対策に適応　ラミコーチL645-H】興研代理店

■安衛法ナノ粒子対策適応■HEPAフィルタ搭載■ダクト室外排気(ファン…

■労働安全衛生法のナノ粒子対策に適応しています。 興研株式会社製　「ラミコーチ　LAMIKOACH L 645-H(ダクト排気タイプ)」 ◆同一ベクトル集合流でコンタミをしっかりと捕捉 ◆クリーン化された吹き出し気流をダクトで室外に排気※1 ◆HEPAフィルタ搭載(プッシュフード、プルフード共に) ※1：プルフードには別途、ファン及びダクト等が必要となります [クリーンルーム内の...

メーカー・取り扱い企業： 泉州機工株式会社

生産設備　設計・製作サービス

ラインすべての自動化を一貫体制でご提案します

テム)などの マテリアルハンドシステム(マテハン)による、工程管理の最適化により、 ムダの最小化、コストの削減に貢献。 また、液晶ガラス基盤(LCD)、半導体ウエハの製造工程における クリーンルーム内のハンドリング装置もご提案いたします。 【特長】 ■搬送物、搬送条件に応じた搬送・移載設備の設計・製造 ■生産工程から搬送工程の自動化、スピード化の実現 ■製造工程におけるクリ...

メーカー・取り扱い企業： レック株式会社

自動スピン洗浄装置

クリーンユニット搭載の自動スピン洗浄装置

オプション内容を選んで頂くクリーンユニット搭載のカセット式自動装置(写真はスクラブ洗浄+UV洗浄＋ホットプレート) =============================================== ＜仕　様＞ ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社トービ

【ピラースーパージョイント】クリーン＆長寿命な回転継手！

日本ピラー工業のロータリージョイント（回転継手）は、メカニカルシールで…

　・シール端面（摺動面）は、耐薬品性・耐スラリ性に優れるSiC（炭化ケイ素）を採用。 　・負圧から正圧まで、広範囲に使用可能です。 　・禁油処理は、もちろん「洗浄⇒組立⇒包装』を一貫して、クリーンルーム内で行っております。 ※本ページでは、 　シングルポートタイプを一例として紹介しております。 　多ポートタイプ・大流量タイプなど 　ご使用条件に沿ったカスタム設計も可能です。 ...

メーカー・取り扱い企業： 日本ピラー工業株式会社

次世代クリーン化技術！超音波 非接触 浮上・搬送装置

超音波でウェーハやガラス基板を非接触搬送！クリーンな搬送技術です！接触…

従来のソリューション、ベルヌーイチャックやエアー浮上テーブルに比べ、超音波による非接触搬送技術には数多くのメリットがあります。 ◆ 圧縮エア・コンプレッサーが不要 ◆ クリーンルームにエアーブローしません ◆ エアーブローからの汚染リスク無し ◆ 接触による異物転写リスク無し ◆ 超低エネルギー搬送技術 ◆ 超低ランニングコスト ◆ 基材へ余計な負荷をかけずに...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ケー・ブラッシュ商会 本社

【半導体対応】100％水切りできる『エアースクリューノズル』

エアーブローでの完全水切りがついに実現！瞬時な100％水切り・完全乾燥…

を掻き出す力に特に優れているため、残留した水を掻き出し切り、完全乾燥を実現します。 ■特長３：あらゆる業界に導入可能 当エアーノズルは、水切り乾燥を要する幅広い業界・業種で導入が可能です。 またクリーンルーム対応（クラス100対応）のため、半導体をはじめとした精密工場でもご使用いただけます。...

メーカー・取り扱い企業： ピュアトラスト株式会社

水なし、風だけでパーティクルを徹底除去『エアースクリューノズル』

【もはや革命】水洗浄不要！エアーブローだけでパーティクルを除去します

グって掻き出す力に特に優れているため、 溝や窪みの奥までリーチし、エアーブローだけで落としていきます。 ■特長３：あらゆる業界に導入可能 当エアーノズルはクラス100に対応。半導体をはじめとしたクリーンルーム内で使用できるだけでなく、洗浄工程を要する幅広い業界業種で導入可能。 これまで業界大手をはじめ、多くの企業や工場に納入実績がございます。...

メーカー・取り扱い企業： ピュアトラスト株式会社

精密溶接加工【気密溶接】

40年のノウハウと徹底した工程内品質管理が可能にした気密溶接技術【マイ…

気密溶接でリーク(漏れ)検査を行います！ 気密の検査はヘリウムリーク検査からＰＴ(浸透探傷試験)、水没、目視と製品に応じた検査を行い不良品を造らない出さない体制で品質向上！ 【ポイント2】クリーンな作業環境で徹底した工程内品質管理 材料の取扱い保管に始まり、前処理から溶接施工、仕上げ、検査等各工程で「後工程はお客様」を合言葉に工程内品質管理を徹底。 工場環境も防塵塗装を施し空気清浄装置...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ニッセイ機工

クリーンルームに適した耐震金具カタログ

アンカーレス耐震工法なので、床への穴あけ作業が無く粉塵や振動が発生しま…

今まで生産設備や研究機器の地震対策を考えた時、アンカーでの対策が一般的でした。しかしアンカー対策を行う場合は、床への穴あけ作業のため粉塵や振動が発生し、クリーンルームなどでは対策自体が行えない場合がありました。 アンカーレス耐震工法の場合は、プロセブン耐震マットと専用の耐震金具を使用するため床への穴かけは必要なく、施工時に粉塵に振動は一切発生しませ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社旭電通

半導体製造装置「デスクトップ・フリップチップボンダー」

クリーンルーム不要！工場小型化が実現可能なフリップチップボンダー

「デスクトップ・フリップチップボンダー」は、局所クリーン技術と組み合わせることにより、クリーンルーム不要でコンパクトな半導体の組立ラインを構築することができます。 特別な薬液は使用せず、騒音などもありませんので、どこにでも工場を作ることが可能。コンビ...

メーカー・取り扱い企業： コネクテックジャパン株式会社

半導体製造用ウルトラフローSC クイック・カップリング

半導体製造工程で使用される液冷システムに特化し開発されたステンレス・ス…

ッティング付きのウルトラフロー特別バージョンです。半導体製造工程で使用される液冷システム向けに特別設計されたステンレス・スチール製です。フラット・フェースデザインのため付け外しの際に液だれがなく、クリーン環境汚濁防止、高い地球温暖化係数を持つ液体冷媒の漏出防止に有効です。また、低圧力損失かつ高い流量特性により、システム全体のエネルギー効率向上にも貢献します。...

メーカー・取り扱い企業： セインジャパン株式会社

『フォトマスク・有機EL用　基板搬送ケースの製作サービス』

クラス100以下の清浄度を保持するタイプや、大型ガラス基板対応など品揃…

ケースを製作する 『フォトマスク・有機EL用　基板搬送ケースの製作サービス』を提供しています。 基板を効率良く収納できる「アルポリケース」をはじめ、 クラス100以下の清浄度を保持する「クリーンケース」、 ガラス基板を非接触で搬送できる「第6世代からの大型基板非接触搬送ケース」など、 用途に合わせて多数のラインアップから選べるほか、オーダーメイドにも対応。 さらにケースの製作か...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ディー・アール・エス（DRS)

スピンドライヤー　SPD型

【デモ機貸し出し可能！】上部にクリーンフィルターを設け、チャンバー内の…

SPD型は、2又は4キャリーヤーを同時乾燥するもので、上部にクリーンフィルターを設け、本体内を常にクリーンな風を通し、チャンバー内のクリーン化を計っています。 クレドールの交換により4～12インチ、ウエハーの乾燥が出来ます。 詳しくはお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社

【高周波】石英振動体型洗浄機　W-357-1MQG-SKC

石英振動体に超音波を重畳させてウェーハやマスクを洗浄する洗浄機。 低…

ハを洗浄 　薬液を半導体ウェーハに浸し、石英ガラスを通じて超音波振動を伝播させることで、接触部の薬液が振動して、その加速度によって表面の汚れを除去します。 ■半導体ウェーハにダメージが少ない、クリーンな洗浄 　薬液との接液部に石英を用いることで、パッキン等ゴム材を使用した装置と比べてゴムの溶出や摩耗がなくクリーンな洗浄を実現します。 ■振動子冷却機能付き 　振動子を気体(窒素等)で冷却す...

メーカー・取り扱い企業： 本多電子株式会社 産業機器事業部

マントルヒータ　Mantle heater

配管部品の均一加熱を実現！CVDエッチング・アッシング装置に適していま…

制御素子の取り付けなどオプションで承ります。 【特長】 ■最高使用温度400℃（高温用は別途ご相談） ■被加熱物との良好な密着性を確保 ■発熱線を高密度に実装し、温度均一性を向上 ■クリーンルームでの使用にも対応 ■立体形状のヒータが製作可能 ■断熱材と一体型のヒータで省エネに貢献 ■メンテナンス性を考慮した脱着可能な構造 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお...

メーカー・取り扱い企業： ワッティー株式会社

HDテクスチャ加工用　半導体製造装置　

HDテクスチャ加工用　半導体製造装置　

超精密フィルムラッピングマシン 【特徴】 ○クリーンルーム内でのHD（ハードディスク）製造工程における、ラッピング（研磨）マシン ○クリーニングテープと洗浄装置も搭載し、多くの素材に対応 ○高精度の超精密研磨が要求される場面でも安定した作業が行...

メーカー・取り扱い企業： 泉谷機械工業株式会社 大仙工場