小型真空蒸着装置『HVE-100』【クリーンな成膜を実現！】

PRクリーンな成膜が可能な小型真空蒸着装置！シャッタを具備しているので安定…

『HVE-100』は省スペースな小型蒸着装置です。基板成膜面は下向きで 設置、抵抗加熱源からの蒸発で上向きに成膜する配置（デポアップ）です。 シャッタを具備しているので安定した状態で蒸着が可能です。 【特長】 ■高真空排気系：<10^-4Paの到達真空度でクリーンな成膜が可能 ■チャンバはメンテナンスしやすいようにSUS製で内部に防着板を配置 ■省スペース/小型化：W500×D39...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ハイブリッジ 東京営業所

真空ポンプに捕捉フィルターをつけてポンプトラブルを事前に防止！

PR捕捉フィルターがカギ！樹脂・化学業界にもドライポンプが使用可能に。ドラ…

当社がご提供する「HSコレクター」は、パーティクルを98%以上捕捉する高性能・コンパクトな捕捉フィルターシステムです。 ポンプトラブルを事前に防ぐ方法はないかと多々ご相談を頂くことが多くあったので、真空ライン中のオイルミスト・溶剤・モノマー・オリゴマー等を最も効率よく捕捉し、メンテナンス性・耐薬品性にも考慮して開発しました。 また、ドライ真空ポンプとセットでご提供も可能です。 省エネ・低...

メーカー・取り扱い企業： エイチアールディー株式会社 本社・大阪第一支店・大阪第二支店・名古屋支店・豊田支店・東京支店・HRD-THAI

ジェーイーエル　製品総合カタログ

半導体搬送ロボットやアライナ等製品を多数掲載した総合カタログです。

ジェーイーエルの製品総合カタログでは、円筒座標型クリーンロボットをはじめ、水平多関節型クリーンロボット、円筒座標型真空対応クリーンロボット等の各種搬送ロボット製品を多数掲載しております。 ３軸円筒座標型クリーンロボット「SCR3000CS」は、スーパ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

バッファーコンベアII型『TB-9819』

ワークに衝撃振動を与えることなく搬送可能！クリーンルーム仕様のコンベア

『TB-9819』は、ハードディスクアルミニウム製造ラインのサブストレート 収納カセット自動搬送、前後工程の受渡し用コンベアです。 クリーンルームクラス10,000対応。 移載部コンベア部はワークに衝撃振動を与えることなく搬送します。 【特長】 ■クリーンルームクラス10,000対応 ■ワークに衝撃振動を与えず搬送可能 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社トーテック 城岡工場

ウェーハ搬送装置『PWT2020』

5枚単位・25枚単位の搬送も対応可能！誤操作防止センサ、緊急停止ボタン…

『PWT2020』は、クリーンロボットを応用したウェーハ搬送装置です。 カセットからウェーハを持ち上げてロード/アンロードを行うため カセットとの接触を最小限に抑え、摩耗・発塵・ウェーハ端部の損傷を防止。 ウェー...

メーカー・取り扱い企業： PHT株式会社

FA設備　企画・設計・製作サービス

自動組立機、自動搬送装置等のFA設備の企画・設計・製作ならお任せくださ…

ートメーション)設備の企画・設計・ 製作サービスを行っています。 コンサルティングから搬入・設置まで一貫してサポートいたします。 お客様の仕様に合わせて各種ご対応させていただきます。 クリーンルーム対応も可能です。 ご要望の際はお気軽に、お問い合わせください。 【実施例】 ■リーク検査機 ■ラベル貼付機 ■異物除去装置 ■ウェイトチェッカー付き搬送装置 ■FFU付...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エムエムディー

液晶・ガラス関連設備のご紹介

大型総合ガラス基板搬送設備など液晶・ガラス関連設備の製品ラインアップを…

クの『液晶・ガラス関連設備』をご紹介します。 「大型総合ガラス基板搬送設備」は、エア浮上CV、光学位置決め装置、高速移載装置、 ロボットローダー、バッファ装置、基板旋回装置などで構成されるクリーンルームでの 大型ガラス基板搬送ラインです。 そのほか、「ガラスパッカー・アンパッカー」をはじめ、「エアー浮上搬送装置」や、 「ワイヤーカセットバッファ装置」などをラインアップしています。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社サンテック

プリント基板反り修正装置『Warp-Recovery』

プリント基板の反り修正により電子部品実装不良を撲滅！省エネ・省スペース…

で開催される第38回「インターネプコンジャパン エレクトロニクス製造・実装展」に出展いたします。 皆様のご来場を心よりお待ちしております。 【特長】 ■インライン方式反り修正 ■クリーンローラー搭載で埃塵を巻き込ませない ■省スペース設計・設置スペース全長3m ■加熱加圧ローラ＋加圧冷却ローラ採用 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： ダイナトロン株式会社

ショベルローダー『SD25-3』

優れた環境性能、抜群のパフォーマンス！タフな現場を力強くサポート

ョベルローダーです。 優れた環境性能、扱いやすい操作性と信頼の安全性を兼備。 当製品は、積み降ろしや運搬作業など、様々なシーンで お客様のご期待にお応えします。 【特長】 ■クリーン＆パワフルなエンジン ■ランニングコストを低減する低燃費を実現 ■低燃費・低騒音を実現するエコモードを標準装備 ■無駄なアイドリングを防ぐエンジンオートストップ機能 ※詳しくはPDF資...

メーカー・取り扱い企業： ロジスネクスト東京株式会社

EFEM・ソータ『TYK2102-2』

クリーン環境下で、ロボットを介してプロセスおよび検出モジュールにウェー…

高性能ACサーボモータを搭載、余裕の可搬重量で高速搬送を実現します。ロボット、ロードポート、ハンドの好適配置が可能です。過酷な環境で稼動している20年以上以上のロボット技術を継承します。 【特長】 ■アライナを1台・2台搭載可能、高スループットが可能 ■様々なバリエーション、カスタム対応 ■200mm/300mm兼用可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。......

メーカー・取り扱い企業： PHT株式会社

焼却灰の完全荷積装置『アント除塵ローダ』

クリーンな作業環境を目指す現場で必ずやお役に立ちます

『アント除じんローダ』は、「焼却灰の落下導線をつくる」という 発想をもとに開発された粉体荷積装置です。 ベンチュリー、スキャベンジャー、ボンネット、ダスト出口、 ジャバラ、吐出口で構成されており、ジャバラをトラックや タンクローリーの積み込み口に直接接続して焼却灰を投入します。 また、未使用時はコンパクトに収納できるので、 施設内で場所を取ることもありません。 【特長】 ...

メーカー・取り扱い企業： アント商事株式会社

搬送関係システム『ボートローダ』

基板サイズの選択が可能！マガジンの接触部にはSUS（ステンレス鋼）フレ…

【オプション】 ■カバー装着タイプ ■クリーンルーム用SUS（ステンレス鋼）装置（塗装ナシ） ■デュアルレーン ■CEタイプ ■RS-485（EIA規格） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ペントロンジャパン

搬送関係システム『ターンコンベア』

ダブルプレート板による耐久構造！スムーズで正確なローテーションができま…

ルプレート板による耐久構造で、基板ホールド衝撃を 吸収します。 【特長】 ■SSMEMA規格インターフェイス ■基板ホールド衝撃吸収 ■シリンダーによる安全ターンシステム ■安全でクリーンな作業のためのカバー ■LEDタワーライト ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ペントロンジャパン

搬送関係システム『ターンコンベア（マルチ）』

基板流量調節機能、ブザーアラーム機能を搭載！タッチパネル操作に対応

ステムも 付いています。 【特長】 ■SMEMA規格インターフェイス ■タッチパネル操作 ■ダブルプレート板による耐久構造 ■基板流量調節機能とブザーアラーム機能を搭載 ■安全でクリーンな操作のためのカバー ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ペントロンジャパン

搬送関係システム『ボートアンローダ』

ボート基板を傷つけない！サーボモータによる正確なコントロールが可能

【オプション】 ■カバー装着タイプ ■クリーンルーム用SUS（ステンレス鋼）装置（塗装ナシ） ■デュアルレーン ■CEタイプ ■RS-485（EIA規格） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ペントロンジャパン

搬送関係システム『表裏反転コンベア（インバータタイプ）』

スムーズで正確なインバータ駆動！安全でクリーンな作業のためのカバー搭載

『表裏反転コンベア（インバータタイプ）』は、基板ホールド衝撃吸収が 可能な搬送関係システムです。 ブザー LEDディスプレイや、LED タワーライトのほか、 二つのシリンダーによる安全ターンシステムも搭載。 自動幅調整システムや、タッチパネル操作などはオプションにて ご用意しております。 【特長】 ■SMEMA規格インターフェイス ■ダブルプレート板による耐久構造 ■...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ペントロンジャパン