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342mmサセプタ対応真空アライナ SVAL30D1シリーズ
真空環境下におけるサセプタをグリップ方式で高速、高精度に位置決めが可能
342mmサセプタ対応真空アライナ SVAL30D1シリーズは、真空環境下におけるサセプタ（化合物半導体、シリコンウエハ等）をグリップ方式で高速、高精度に位置決めを可能にしました。位置決め用センサを真空環境下に配置...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル
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“サセプタ不用"の高スループットSiCウェハアニール！4-8インチウェ…
『HEATPULSE』は、サセプタ不要のSiCウェハアニールが可能な 高速加熱処理(RTP/RTA)装置です。 独自技術により高温プロセスも効率化。 パワーデバイス関連、およびその他の半導体業界、または高温高速 加...
メーカー・取り扱い企業： プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社
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Premtek RTP-1200A（SEC）（SEF）
4～8インチに対応した、シングルチャンバ全自動RTP装置です。搬送方式はオープンカセット・SMIFどちらかの選択で、カセットステーションは2台になります。 ウェハをサセプタに格納してプロセス処理をするため、反り、厚さ、透過率等のウェハの特性に関わらず、抜群のRc・温度均一性を実現します。 熱源はハロゲンランプで、上下両面配列です。 温度測定範囲は20℃～1250℃と...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社インターテック販売 東京本社（拠点－関西営業所、熊本営業所）
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化学気相蒸着シリコンカーバイドの世界市場：低抵抗率、中抵抗率、高抵抗率…
pe）のセグメントは、低抵抗率、中抵抗率、高抵抗率を対象にしており、用途別（By Application）のセグメントは、ラピッドサーマルプロセスコンポーネント、プラズマエッチングコンポーネント、サセプタ・ダミーウェーハ、LEDウェーハキャリア・カバープレート、その他を対象にしています。地域別セグメントは、北米、アメリカ、ヨーロッパ、アジア太平洋、日本、中国、インド、韓国、東南アジア、南米、中東、...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社マーケットリサーチセンター
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化学気相蒸着SICの世界市場：高抵抗率、中抵抗率、低抵抗率、ラピッドサ…
pe）のセグメントは、高抵抗率、中抵抗率、低抵抗率を対象にしており、用途別（By Application）のセグメントは、ラピッドサーマルプロセスコンポーネント、プラズマエッチングコンポーネント、サセプタ・ダミーウェーハ、LEDウェーハキャリア・カバープレート、その他を対象にしています。地域別セグメントは、北米、アメリカ、ヨーロッパ、アジア太平洋、日本、中国、インド、韓国、東南アジア、南米、中東、...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社マーケットリサーチセンター
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CVD炭化ケイ素の世界市場：高抵抗率グレード、中抵抗率グレード、低抵抗…
抵抗率グレード、中抵抗率グレード、低抵抗率グレードを対象にしており、用途別（By Application）のセグメントは、ラピッドサーマルプロセスコンポーネント、プラズマエッチングコンポーネント、サセプタ及びダミーウエハ、LEDウエハキャリア及びカバープレート、その他を対象にしています。地域別セグメントは、北米、アメリカ、ヨーロッパ、アジア太平洋、日本、中国、インド、韓国、東南アジア、南米、中東、...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社マーケットリサーチセンター
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CVD SiCの世界市場：高抵抗率、中抵抗率、低抵抗率、ラピッドサーマ…
pe）のセグメントは、高抵抗率、中抵抗率、低抵抗率を対象にしており、用途別（By Application）のセグメントは、ラピッドサーマルプロセスコンポーネント、プラズマエッチングコンポーネント、サセプタおよびダミーウェーハ、LEDウェーハキャリア＆カバープレート、その他を対象にしています。地域別セグメントは、北米、アメリカ、ヨーロッパ、アジア太平洋、日本、中国、インド、韓国、東南アジア、南米、中...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社マーケットリサーチセンター
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Φ4対応真空・プロセスガス高速アニール加熱システムRTP-100
GaNの結晶成長をはじめ、急速・均一な熱処理を必要とする幅広いアプリケ…
『RTP-100』は、業界最小クラス、研究開発及び試作開発に好適な、 卓上型真空プロセス高速加熱炉です。 Φ4インチ対応、専用サセプタにより小片サンプルのプロセスも可能です。 最大到達温度1200℃で多彩なガスパージ環境に対応。 GaNやSiCなどの新材料の結晶成長やペースト材料の焼結など、 多目的にお使い頂けます...
メーカー・取り扱い企業： 日精株式会社 本社
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ローコスト 必要最小構成（手動制御）管状炉・拡散炉・熱CVDとして応用…
小片試料〜3inch waferまでの小基板用 サセプタ手動昇降式縦型実験炉 大学・企業研究室での基礎実験用に最適な基礎実験用ローコスト版縦型炉 【用途】 ◉ 半導体・太陽電池・燃料電池・電子基板等の熱処理 ◉ 基礎実験：縦型管状炉・酸化拡...
メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社
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ロード/アンロードシステム
LED用をはじめとする新しい搬送方式のウェーハ用搬送システムで、複数枚処理用のサセプタ・トレイへのウェーハの自動供給、自動回収が可能です。 ウェーハ用、サセプタ用にそれぞれアライナを搭載し、ウェーハのオリフラ位置やサセプタのセンタリング及びインデキシングを行います。...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル
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熱伝導率1500W/mKの熱伝導グラファイトTPGを使用した温度分布改…
イズ技術を使用して様々な部品の温度分布を改善します。 ヒートスポットによる問題を解決し、部品の寿命を延ばします。 【用途】 ■ヒータの温度分布と寿命の改善 ■ヒータの薄型、軽量化 ■サセプタの高性能化 ■ヒートスポットの解消 ※詳しくはカタログをご覧下さい。お問い合わせもお気軽にどうぞ。 ...
メーカー・取り扱い企業： モメンティブ・テクノロジーズ・ジャパン株式会社
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グラファイト用接着剤 | グラフィボンド551RN（アレムコ社）
グラファイト専用の耐高熱接着剤。グラファイト製品、特にグラファイト型の…
ラファイト専用の接着剤 ■□■特徴■□■ 黒色 １液性 ペースト 、フェノール樹脂系接着剤です。 多く のカーボン やグラファイト製部品の接着に使用されています。 例えば、 ブラシＲＦサセプタ、治具、電極るつぼ、炉パーツ、金属、鋳造型、連続鋳造などに適用されます。 型、連続鋳造などに適用されます。 型、連続鋳造などに適用されます。 熱膨張率の低い、ほとんどのカー ボンやグラファイトのレ...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社オーデック
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半導体搬送ロボットやアライナ等製品を多数掲載した総合カタログです。
クリーンロボット ○４軸円筒座標型リンク式真空対応クリーンロボット ○５軸水平多関節型真空対応クリーンロボット ○各種光学式アライナ ○300ｍｍ対応エッジグリップアライナ ○342ｍｍサセプタ対応真空アライナ ○ソーターシステム ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル
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【～300mmウエハ用】高可搬型シングルアーム真空ロボット！
■マスク、サセプタ、トレイ等の重量物を搬送可能な高可搬型シングルアーム真空ロボット ※詳しくはお気軽にお問い合わせ下さい。 ...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダイヘン
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優れた熱伝導性、高い電気絶縁性、およびシリコン（Si）に近い熱膨張率の…
窒化アルミニウムは、その高熱伝導性、高耐食性を活かして、半導体製造装置用のヒーターや静電チャック、サセプタ、クランプリング、カバープレートなどで使用されています。 また、MRI等の医療機器用の部品にも使用されています。 MARUWAでは長年培ってきた材料技術をベースに、研究開発・素材作製・機械加工まで...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社MARUWA 本社,東京支店,関西支店,東北営業所,北信越営業所,九州北営業所,R&Dセンター
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Φ12対応 高速アニール加熱システム VPO-1000-300
GaNの結晶成長をはじめ、急速・均一な熱処理を必要とする幅広いアプリケ…
『VPO-1000-300』は、業界最小クラス、研究開発及び試作開発に好適な、 卓上型真空プロセス高速加熱炉です。 Φ12インチ・Φ6インチ・4インチ対応、専用サセプタにより小片サンプルの プロセスも可能。 最大到達温度1000℃で多彩なガスパージ環境に対応。GaNやSiCなどの 新材料の結晶成長やペースト材料の焼結など、多目的にお使い頂けます。 ...
メーカー・取り扱い企業： 日精株式会社 本社
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