【事例集進呈】オートコネクタ/自動着脱装置

PR工場の自動化・省人化を実現！流体・粉体問わずご要望に応じた自動着脱装置…

当社では、スラリー・粉体などの配管を自動調芯により着脱可能な 「オートコネクタ(自動着脱装置)」を取り扱っております。 生産性の向上、多品種少量生産、省人化といったメリットがあり、 電池製造及び医薬等、スラリー・粉体を扱うユーザーに好適。 流体・粉体問わずご要望に応じた自動着脱装置の製作・納入いたします。 【特長】 ■スラリー・粉体配管を自動で着脱出来、粉体のブリッジ除去に...

メーカー・取り扱い企業： ナブテスコサービス株式会社 産業機械部　

耐圧防爆型液体充填機

PR18L缶/ポリ缶・ドラム缶・IBCコンテナ・キャニスタ缶など各種容器に…

危険場所で使用できる耐圧防爆型の液体充填機です。 防爆エリアでの充填作業の自動化に寄与します。 また、充填機機側に検量秤を設置することにより自動はかりのJIS化(自動はかりの検定対象化)にも対応できます。 設置場所にスペースの余裕のないお客様向けに省スペースの機種もご用意しております。 ハード設計・ソフト製作・組立調整を一貫して自社にて行っておりますので、お客様のご要望に応じたオーダーメイ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社宝計機製作所 本社・工場

導電性フッ素樹脂コーティング『KPEシリーズ』

フッ素樹脂に導電性を付与したコーティングです。帯電を防止し、静電気によ…

通常のフッ素樹脂コーティングは『絶縁性』となりますが、フッ素樹脂に『導電性』をプラスした『導電性フッ素樹脂コーティングKPEシリーズ』は 従来のフッ素樹脂と同様に非粘着性や耐薬品性が向上するほか、防爆仕様や帯電防止の機能がプラスされるため、半導体関係やプラントなどで幅広く採用されております。 当社の導電性コーティング「...

メーカー・取り扱い企業： 関西ポリマー株式会社

スパッタリング装置『MiniLab（ミニラボ）シリーズ』

モジュラー組込式の為必要な成膜方法に応じ都度フレキシブルに専用機の組立…

【フレキシブルシステム】 MiniLab薄膜実験装置シリーズは、豊富なオプションから必要な成膜方法・材料に応じて都度、ご要望に適したコンポーネント（成膜ソース、ステージなど）、制御モジュールを組み込み、カスタマイズ品でありながら無駄の無いコンパクトな装置構...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

真空センサ『730シリーズ』

コンパクトサイズでローコスト。半導体製造ラインなどで活躍。静電容量型

『730シリーズ』は、コンパクトサイズ・ローコスト・高精度を実現した セトラシステムズ社の真空センサです。静電容量の変化を検知して、 リニアな直流電圧信号に変換し出力します。 温度補償範囲が広く耐圧性能...

メーカー・取り扱い企業： エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社　ST事業部

回路形成材料　アデカエイフェススーパーシステム

自動管理装置「アデカエイフェススーパー装置」による液管理

回路形成材料「アデカエイフェススーパーシステム」は、専用エッチング液「アデカケルミカＴＦＥ－３０００シリーズ」により、サブトラクティブ法による微細配線を実現します。ピッチ２５μｍ以下ＣＯＦにおいて、高エッチファクターの回路形成を可能にします。自動管理装置「アデカエイフェススーパー装置」による液管理により...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ADEKA

ICP エッチング装置

ヨーロッパ 発の技術から生まれた汎用性の高い装置！

8"工程用Pishowシリーズ： ・Pishow： シリコン、金属、化合物半導体など、様々な材料に対応可能； 幅広く温度の工程に対応可能； エッチングの速度と均一性を精密制御； BOSOH工程に対応可能 ・Pi...

メーカー・取り扱い企業： 日星産業株式会社

Druck 半導体アプリケーション用圧力センサ

半導体製造装置の流量制御に必要な高精度の圧力センサ各種。モジュールのカ…

流量制御が不可欠です。厳しい条件下で高いパフォーマンスを発揮する各種圧力センサ、カスタマイズできるモジュール機能などをご提供しております。 【注目製品】 新製品：温度変化に強いADROITシリーズ！ 半導体製造装置、空調システム、自動車等に適したデジタル温度補正機能搭載の圧力センサです。 【圧力校正器・コントローラ】 半導体製造装置、サブシステムの圧力計測、検査ラインの圧力テスト...

メーカー・取り扱い企業： 日本ベーカーヒューズ株式会社＆ベーカーヒューズ・エナジージャパン株式会社　 （旧）GEセンシング＆インスペクション・テクノロジーズ株式会社　＆　GEエナジー・ジャパン株式会社

卓上タイプエッチング・成膜装置『Plasma POD シリーズ』

教育機関や小規模施設などに！タッチパネルで簡単操作が可能な卓上型システ…

『Plasma POD シリーズ』は、小型でコンパクトな 卓上タイプエッチング・成膜装置です。 設置スペースに限りがあり、低コストでエッチング・成膜装置の 導入をご検討されている方にお勧め。 ご要望の際はお気軽に...

メーカー・取り扱い企業： プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

回路形成材料　電子部品、ウェハーレベルパッケージ工程エッチング液

ウェハーレベルＣＳＰや精密電子部品をはじめとするあらゆる分野で

たエッチング剤、ソフトエッチング剤、ハーフエッチング剤なども取りそろえ ○銅再配線工程や素子電極形成等に各種金属膜のエッチング液を提供 【ラインナップ】 ○アデカスーパーケルミカ　ＷＡＤシリーズ →用途：銅スパッタ膜エッチング液 ○アデカテック　ＤＰシリーズ →用途：銅スパッタ膜エッチング液 ○アデカスーパーケルミカ　ＷＣＲシリーズ →用途：クロムバリア層エッチング液 ○アデ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ADEKA

枚葉式プラズマアッシング装置（ＳＷＰシリーズ）

ダメージレス・ハイスループット・多用途対応　ハイエンドデバイス・化合物…

チャージアップダメージを排除したダウンフロープラズマによるダメージレスアッシングを実現。表面波プラズマ（ＳＷＰ）によるハイレートアッシングと２室装備されたアッシング室によりハイスループットを実現。 アッシングだけでなくＲＩＥ室の装備により特殊レジスト・有機膜野除去にもまたイオン注入後の硬化レジスト除去に対応。表面部の硬化レジストの除去とレジスト下層のダメージレスアッシングの両立を実現。 コンパ...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

セトラ社　ウルトラクリーン圧力センサ　モデル２２５シリーズ

特殊ガス用途に開発された静電容量方式の圧力センサ

セトラ社のモデル２２５は特殊ガス用途に開発された静電容量方式の圧力センサです。配管時のトルクストレス、低温ガスのフローによる温度変化、外部からの高周波ノイズなどの影響が受けにくい構造になっています。...デッドスペースが１．８ｍＬと小さくパージが容易に行えます。 接ガス部はＳＵＳ３１６ＬのＶＡＲ材を０．１８Ｒａの電解研磨処理しており、全品ヘリウムリークテストを行っています。 スライド式カバーに...

メーカー・取り扱い企業： エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社　ST事業部

セトラ社　ウルトラクリーン圧力センサ　モデル２２４シリーズ

特殊ガスのモニターと制御用に開発されたウルトラクリーンセンサ

セトラ社のモデル２２４は特殊ガスのモニターと制御用に開発されたウルトラクリーンセンサです。 　モデル２２４はパージ効果の高い流線型のセンサチャンバを持ち、ガスの流れによる瞬時の温度変化の条件下でも優れた安定性を実現するように設計されています。...センサチャンバは３１６Ｌ（ＶＡＲ材）を０．１８Ｒａに電解研磨されおり独自の静電容量センシング技術で高精度で安定した出力信号を供給します。 オプション...

メーカー・取り扱い企業： エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社　ST事業部

静電気によるトラブル防止！導電性フッ素樹脂コーティング

フッ素樹脂に導電性を付与したコーティングです。帯電を防止し、静電気によ…

通常のフッ素樹脂コーティングは『絶縁性』となりますが、フッ素樹脂に『導電性』をプラスした『導電性フッ素樹脂コーティングKPEシリーズ』は 従来のフッ素樹脂と同様に非粘着性や耐薬品性が向上するほか、防爆仕様や帯電防止の機能がプラスされるため、半導体関係やプラントなどで幅広く採用されております。 当社の導電性コーティング「...

メーカー・取り扱い企業： 関西ポリマー株式会社

[チラー]モジュール式チラー　M-Pakシリーズ

-70℃～+200℃まで幅広い温度管理を実現可能なチラ―！

ATSジャパン株式会社より、マルチチャンネルチラー「ENシリーズ」のご案内です。 ■最大4種類のモジュールの組み合わせが可能（-70℃～+200℃） ■各種循環液に対応可能 ■各種インターフェースに対応 ATSジャパン(株）のチラーは半導体業界を...

メーカー・取り扱い企業： ATSジャパン株式会社

[チラ―]効率と省エネを追求した　ESL-60シリーズ

「効率」と「節約」を合わせて追求した新しい温度管理システム

ATSジャパン株式会社より、エネルギー効率と省エネを合わせて追求したマルチチャンネルチラー「ESLシリーズ」のご案内です。 ■ホットガスバイパスにより、エネルギー効率に優れたモデル ■デュアルチャンネルモデルは1チャンバーを1台で！ ■幅450mmのスリムボディ ATSジャパン(株）の...

メーカー・取り扱い企業： ATSジャパン株式会社

Aera FC-R7700シリーズ　マスフローコントローラ

経済性に優れた高精度ラバーシール

ン注入、スパッタリング、熱酸化膜、光学ガラスコーティング、光ファイバー、表面処理、その他のコーティングプロセスを含め、非腐食性ガスを使用したアプリケーションが展開されています。 FC-R7700シリーズは、高い信頼性と優れた性能でプロセスおよび装置エンジニアの業務の円滑化に対応いたします。...

メーカー・取り扱い企業： 日立Astemo＆ナガノ株式会社

「導電性フッ素樹脂コーティング」帯電防止・防爆仕様の環境に最適！

使用温度が高く、非粘着性や耐薬品性が必要な部材に『導電性フッ素樹脂コー…

通常のフッ素樹脂コーティングは『絶縁性』となりますが、フッ素樹脂に『導電性』をプラスした『導電性フッ素樹脂コーティングKPEシリーズ』は 従来のフッ素樹脂と同様に非粘着性や耐薬品性が向上するほか、防爆仕様や帯電防止の機能がプラスされるため、半導体関係やプラントなどで幅広く採用されております。 当社の導電性コーティング「...

メーカー・取り扱い企業： 関西ポリマー株式会社

低ロス・ハイパワーRFフレキシブルケーブル

通信用低ロス LMRシリーズ・RF大電力フレキシブルケーブルを国内在庫…

MRケーブル、RGケーブル、その他ハイパワー同軸ケーブルを国内在庫し、アッセンブリ、電気試験を実施し、短納期でお届けすることが可能です。 ■製品ラインナップ 超低損失発砲PE絶縁体 LMRシリーズ, Mil Spec品 RGケーブル, 各種LowPIMケーブル、各種ハイパワーケーブル ■コネクタ 各種同軸コネクタ、特注対応可能 ■製品試験 ・耐電圧試験　～10KV AC...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社コムクラフト

スパッタリング装置『MiniLab-026』

小型、省スペース! 研究開発に最適 蒸着・スパッタ・アニール等目的に合…

MiniLab-026は、シリーズ最小の26L容積チャンバを使用した小型薄膜実験装置です。 【スモールフットプリント・省スペース】 ・シングルラックタイプ（MiniLab-026）：590(W) x 590(D)mm ...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

Druck 半導体製品の圧力校正試験の自動化に

半導体製造装置やMEMS圧力センサの計測試験/ライン検査に圧力コントロ…

ン検査を効率化しませんか？試験を自動化することで生産コストが各段に削減できます。生産ラインの拡張の機会にぜひご相談ください。 ■複数チャンネルの圧力計測・校正に：圧力コントローラ PACE シリーズ ■圧力制御スピード：他社製品の最大5.5倍 ■ポータブルに使うなら：圧力計のDPI800、DPI705Eシリーズ ※イプロスにご登録されている個人情報は、弊社正規代理店にも共有させ...

メーカー・取り扱い企業： 日本ベーカーヒューズ株式会社＆ベーカーヒューズ・エナジージャパン株式会社　 （旧）GEセンシング＆インスペクション・テクノロジーズ株式会社　＆　GEエナジー・ジャパン株式会社

実験用ドライエッチング、成膜装置

ヨーロッパ発の技術から生まれた汎用性の高い装置！実験～量産に幅広く対応…

当社は汎用性の高いエッチング装置や、低温低圧条件でも緻密に成膜できる堆積式の成膜装置を取り揃えております。 【ドライエッチング機種（一例）】 Pishowシリーズ： ■シリコン、金属、化合物半導体など、様々な材料に対応可能 ■幅広い温度の工程に対応可能 ■エッチングの速度と均一性を精密制御 ■BOSOH工程に対応可能 【成膜機種（一例）】 ...

メーカー・取り扱い企業： 日星産業株式会社

回路形成材料　アデカベアックシステム

自動管理装置「アデカベアック装置」を用いて、エッチング液を常時分析

２００ →用途：ＰＷＢ、ＦＰＣ（ＴＡＢ／ＣＯＦ）、ＢＧＡ、リードフレーム他 ○アデカケルミカ　ＳＴ－４４８／５４８ →用途：工ンコーダー、ＨＤＤサスペンション他 ○アデカケルミカ　ＡＬシリーズ →用途：パワーＩＣ用モジュール基板他 ○アデカケルミカ　ＬＡＤ－１００ →用途：上記処方専用再生剤 ○アデカケルミカ　ＩＴＯシリーズ →用途：ＬＣＤ（ＴＮ、ＳＴＮ、ＴＦＴ）、ＰＤＰ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ADEKA

フォトリソ工程洗浄剤　NDシリーズ

フォトリソ工程装置内（ノズル、 搬送ローラー、 槽壁等）に固着したレジ…

ドライフィルムレジスト(DFR)現像槽、剥離装置、ソルダーレジスト(SR)現像装置に付着したスカムをスプレイ処理により擦らず、簡単に除去可能なフォトリソ工程洗浄剤です。消泡剤不要であり、溶解許容量まで繰り返し使用する事が可能です。...【特徴】 ・固着したレジストスカムを簡単に除去 ・溶解許容量まで繰り返し使用可能 ・消泡剤不要 【製品】 ND-431：DFR現像槽内洗浄、酸性洗浄剤...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ADEKA

難燃性/UL取得　同軸RFケーブル

UL,IECの難燃性規格認証済の同軸ケーブルをご提供致します。　

くのUL認証ケーブルの納入実績がございます。 弊社ではケーブルを国内在庫しているため、アッセンブリ、電気試験を実施し、短納期でお届けすることも可能です。 ＜ラインナップ＞ -LMR-FRシリーズ φ3mm-30mmまでのUL取得同軸ケーブル -LMR-LLPL/LLPXシリーズ UL910 Plenum Cable -TFTシリーズ　高温対応 同軸ケーブル ご要望に合わせたご...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社コムクラフト

[チラー]スループット追求モデル　SXシリーズ

高い冷却能力、高速加熱・冷却を追求した温度管理システム

ATSジャパン株式会社より、高い冷却能力と高速昇温・降温を追求したシングルチャンネルチラー「SXシリーズ」のご案内です。 ■高い冷却能力 ■高速加熱・冷却によりスループットの向上 ■ジャグの改良により効率化、省エネを実現！ ■高温冷却水にも対応（+30℃） ATSジャパン(株）のチラーは半...

メーカー・取り扱い企業： ATSジャパン株式会社

[チラー]省エネモデル　MXシリーズ

消費電力66%削減！幅わずか390mmの省エネを追求した温度管理システ…

ATSジャパン株式会社より、主力製品の一つである「MXシリーズ」のご案内です。 ■一般的な従来チラーと比較し、消費電力を1/3に削減 ■熱負荷を検知し、アイドリング運転からロード運転への自動切替によりヒーター出力を抑制 ■アイドリング運転により冷凍...

メーカー・取り扱い企業： ATSジャパン株式会社

[チラー]リークレス高温対応モデル　HTXシリーズ

最高180℃まで設定可能！リークレスの高温対応モデル

ATSジャパン株式会社より、高温対応モデル「HTXシリーズ」のご案内です。 ■安全装置の強化により、最高180℃まで安全に使用可能！ ■高い冷却能力でパワフル運転（22kW@180℃） ■高速昇温で省エネを実現 ■高速降温でメンテナンスにも便利...

メーカー・取り扱い企業： ATSジャパン株式会社

石英ナイトライドバス　　QNシリーズ

ご希望通りのプロセスコントロールをお約束でき、安全・確実・合理的で濃リ…

◆純水コントローラー、石英槽、コンデンサ、確実にシールされた蓋の組合せ等により手動／自動運転時に正確なフローコントロールと安定した定量作動。 ◆コンスタントなボイリングポイント(酸濃度)、次工程への安定性と円滑な供給。 ◆Si3N4エッチ(ナイトライドエッチ)の最も有効、信頼性と安定性に富んだシステム。 ...●ナイトライドエッチシステムは、ご希望通りのプロセスコントロールをお...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ヒロテック 東京営業所

エミネントシリーズ第三世代エッチング装置『エミネント2』

高いメンテナンス性！エッチング均一性・パターン精度が向上した、エッチン…

東京化工機の『エミネント2』は、5カ国180装置納入実績を誇る エッチング装置「エミネント」の後継機です。 スプレー形状、流量改善等による基板上下両面の均一性が、 35％以上改善されました。 また、新型ホイールを採用し、コア材40μm基板の量産搬送対応を確立。 メンテナンス性も大幅に向上しました。 【特長】 ■エッチング均一性向上 ■薄物搬送性向上 ■メンテナンス性の...

メーカー・取り扱い企業： 東京化工機株式会社 本社・長野工場

各種熱処理装置

半導体や太陽電池の生産・研究開発設備！独自の高温処理技術による高温熱処…

キシャル装置、CVD装置、 エッチング装置、半導体製造設置用コントローラーなどがあります。 また、小口径基板に適した縦型電気炉や、太陽電池製造用横型拡散炉、 横型CVD装置・LC6400シリーズなどもラインアップされています。 【特長】 ■生産設備・研究開発向けの高温処理炉 ■半導体製造や太陽電池製造などに好適 ■多様なラインアップ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか...

メーカー・取り扱い企業： 大村技研株式会社

小型エッチングマシン『YCE-85V』

スプレー上下にそれぞれ圧力計を搭載した小型エッチングマシン！

小型エッチングマシンです。 タンクには液量の確認ができる窓がついています。 主に、塩化第二鉄液エッチングや塩化第二銅液エッチングの研究開発等の 用途に適しています。 【85Vシリーズの特長】 ■水平揺動ノズルパイプ ■液の投入がしやすいサイドタンク ■タンクの液量が確認できる窓 ■スプレー上下にそれぞれ圧力計 ■85 IIIシリーズをさらに使いやすく改良 ※詳...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社山縣機械 ＦＴＰ事業部

Druck 半導体製造装置向け圧力計測ソリューション

半導体製造装置やサブシステムの圧力校正試験にPACEシリーズを導入しま…

【SEMICON JAPAN2022 Hall2 総合ゾーン＃2134に出展決定】 流体制御に欠かせないPACE圧力コントローラの校正デモが体験できます！高速圧力制御を実感しませんか？ 【生産ラインの圧力校正試験に圧力コントローラ PACE】 ■高精度、長期安定性、高速反応性と３拍子そろっています ■圧力制御スピード：他社製品の最大5.5倍 ■生産ライン上の圧力校正試験に最適（試験の...

メーカー・取り扱い企業： 日本ベーカーヒューズ株式会社＆ベーカーヒューズ・エナジージャパン株式会社　 （旧）GEセンシング＆インスペクション・テクノロジーズ株式会社　＆　GEエナジー・ジャパン株式会社

ＳＤＣクリーンボルトシリーズ【国際プロジェクトKAGRAに採用】

極低温から高温環境まで、不純物を嫌う現場に最適な今注目のボルトナットで…

「ＳＤＣクリーンボルト」は、半導体工場や医薬品工場など、潤滑油やめっき・コーティングなどの焼付き防止対策が使用できない現場で使用されている高品質なボルトナットです。 厳しい環境下でも最大限の効果を発揮するボルトとして、国際プロジェクトの大型低温重力波望遠鏡・KAGRAにも採用されています。 【ＳＤＣクリーンボルトの特長】 ■ＳＤＣプラズマ表面硬化処理を施し、締付け時の焼付き・カジリを防止...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ＳＤＣ田中

Aera PI-980　プレッシャーインセンシティブＭＦＣ

明日のプロセスニーズに応える次世代PI技術

性、計測精度を向上させるとともに、リアルタイムプロセス制御において優れた性能を発揮します。その優れた流量安定性により、チャンバ間のプロセス再現性が向上し、生産歩留まりを改善します。 PI-980シリーズは、従来型のサーマル式の構造に、圧力センサ、温度センサならびに当社独自のNeuralStep制御技術を一体化することによって、従来型の製品に使われていたハイコストなガスパネル部品の必要性を減少しま...

メーカー・取り扱い企業： 日立Astemo＆ナガノ株式会社

ナノインプリント装置「TEXシリーズ」＊デモ相談可能

従来のフォトリソグラフィーと比較して、研究開発から量産用途まで扱いやす…

〔特徴〕 ・マスターモールド、ソフトモールド、UVレジスト、転写装置全てをシステム化 ・解像度１００nm ・スループット１～２分以内 ・ハイアスペクト（１：５）可能 ・残膜１５nm以下 ...【特徴】 ○真空・加圧の無いシンプルな装置構成 ○耐久性に優れた独自素材のモールドを使用 ○フォトニックレベル(φ250nm)まで可能 ○120枚／時間の高速処理を実現 ○ドライエッチン...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社協同インターナショナル

高電力RF同軸フレキシブルケーブルアセンブリ

高電力（20KW@60MHz）タイプのフレキシブルケーブルアセンブリ

EP-610Sシリーズの特徴は、 ＊ケーブル：高電力(20KW＠60MHz時）、フレキシブルケーブル ＊コネクタ：EIA 1-5/8、EIA 7/8対応 従来、高電力ケーブルは非常に硬く、設置現場で非常に作業...

メーカー・取り扱い企業： アノイスンジャパン株式会社

小型エッチングマシン　SPseries　SPE40

高密度化が進むプリント基板のファイン化のニーズに対応

コンパクト設計の超高精度シリーズ　SPseries　SPE40は、高密度化が進むプリント基板のファイン化のニーズに対応した小型エッチングマシンです。ノズル、ノズル配置、オシレーションなど二宮システムのノウ・ハウを駆使し完成した小...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社二宮システム

バッチ式プラズマアッシング処理装置（バッチ式プラズマアッシャー）

ウエハ50枚一括のバッチ式プラズマアッシング装置

本装置は、同軸バレル構造をチャンバーに持つ、ウエハ50枚一括のバッチ式プラズマアッシング装置です。 ウエハサイズは、5インチ以下、6インチ、8インチに対応しています。 また、オプションにて4インチと6インチ、5インチと6インチウエハ兼用も可能です。 シリコンウエハ上に形成されたフォトレジスト薄膜を高周波プラズマ励起により、低ダメージアッシング（灰化除去）や表面改質等、多様なプロセス用途に利用...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社リバティー

Oリング AS568規格 (AS番／ARP568シリーズ)

Oリングの桜シールは、AS568規格（航空宇宙規格）ほか様々なサイズの…

米国SAEインターナショナルによって定められた航空機用などで世界的に使用されているサイズシリーズです。桜シール株式会社は、JIS規格などによる汎用材質は元より、パーフロ（FFKM）を頂点とした各種高機能材質「フロロパワーシリーズ」や、低粘着・低摩擦・低固着・低アウトガスを特色とする「フロロア...

メーカー・取り扱い企業： 桜シール株式会社 日本本社

Aera FC-R7800シリーズ　マスフローコントローラ

高精度・信頼性のメタルシールモデル

FC-R7800シリーズは、高精度の流量制御を行うだけでなく、 メタルシールによる優れた高い気密性を備え、主要なガス制御アプリケーションに適したシステムです。 業界標準またはAera独自の電気系接続部を選択できるため...

メーカー・取り扱い企業： 日立Astemo＆ナガノ株式会社

実験用ドライエッチング、成膜装置

ヨーロッパ 発の技術から生まれた汎用性の高い装置！実験～量産に幅広く対…

・ドライエッチング機種 Pishowシリーズ： シリコン、金属、化合物半導体など、様々な材料に対応可能； 幅広く温度の工程に対応可能； エッチングの速度と均一性を精密制御； BOSOH工程に対応可能 ・成膜機種 Shale ...

メーカー・取り扱い企業： 日星産業株式会社

ＳＤＣクリーンボルトシリーズ【国際プロジェクトKAGRAに採用】

極低温から高温環境まで、不純物を嫌う現場に最適な今注目のボルトナットで…

「ＳＤＣクリーンボルト」は、半導体工場や医薬品工場など、潤滑油やめっき・コーティングなどの焼付き防止対策が使用できない現場で使用されている高品質なボルトナットです。 最高品質の部品として認められ、国際プロジェクトの大型低温重力波望遠鏡・KAGRAにも採用されています。 【ＳＤＣクリーンボルトの特長】 ■ＳＤＣプラズマ表面硬化処理を施し、締付け時の焼付き・カジリを防止 ■拡散浸透処理のた...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ＳＤＣ田中

【潤滑剤・めっきを使用せずに焼付固着を防止】SDCクリーンボルト

独自の技術であるSDCプラズマ表面硬化処理により、潤滑剤・めっきを使用…

やすいという問題が発生します。そこで弊社は自社技術の「ＳＤＣプラズマ表面硬化処理」の適用により、潤滑剤やめっきなどを使用せずに焼付き固着を防止し、さらにアウトガスも発生しない「ＳＤＣクリーンボルトシリーズ」を開発しました。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ＳＤＣ田中

プラスチック加工品～ポリイミド樹脂製半導体製造装置部品～

半導体製造装置のウェハキャリアに耐熱性に優れたポリイミド樹脂MELDI…

材質 MELDINメルディン7001 ポリイミド樹脂、ナチュラルグレード MELDINメルディン7000シリーズは、優れた耐熱性と低温から高温にかけて 優れた機械的特性を維持する全芳香族ポリイミド樹脂であり、耐熱性は短時間で482℃での使用も可能です。 また、耐摩耗性、クリープ性、電気絶縁性等においても優...

メーカー・取り扱い企業： 八十島プロシード株式会社