フッ素膜【フッ素薄膜処理における真空蒸着法とスプレー法の違い】

PR各処理方法のメリット・デメリットを分かりやすく紹介した資料進呈。受託加…

本資料では、ガラスや金属に撥水性・撥油性・防汚性・離型性などを付与できる フッ素薄膜処理について、真空蒸着法とスプレー法の違いを説明しています。 フッ素薄膜処理は、基材の形状やコストなどの条件に応じた 処理方法の選定が求められます。 フッ素薄膜処理をご検討中の方は、ぜひ本資料をご覧ください。 【掲載内容】 ・フッ素薄膜処理とは ・真空蒸着法、スプレー法とは ・真空蒸着法...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社カツラヤマテクノロジー T&K事業部

機械部品の熱対策に！新規高耐久性断熱塗料

PR熱環境を革新する高性能断熱塗料。省エネ効果と持続性で未来へ。

当社の新型断熱塗料は、0.07W/mKという驚異的な断熱性能を誇ります。従来の断熱材と比較しても優れた断熱効果を発揮し、自動車や工業製品の熱環境を大幅に改善します。先進的な分散技術を駆使し、耐久性と耐熱性を格段に向上させました。これにより、被膜表面の脆弱性や耐久性の問題を解消し、長期間にわたる効果を確保する頑丈な特性を備えています。 この画期的な断熱塗料は、熱負荷の高い製品や輸送装置など、様々な...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社川邑研究所

《ソノシス》超音波スプレーノズル

レヒラー社のノズル技術とソノシス社の超音波技術のコラボ商品

超音波スプレーノズルで形成された粒子（液滴）はピエゾ部分の振動で砕かれます。 即ち、加圧式と異なり粒子にスピードがありません。 そのため、自然に落下してしまうか、風の影響で浮遊してしまいます。 そこで空気...

メーカー・取り扱い企業： ティックコーポレーション株式会社

【Sonaer】ソニア社製低流量型超音波スプレーノズル

2mmlit/min以下の流量噴霧が可能に！

【Sonaer】ソニア社製低流量型スプレーノズルノズル ミクロン・サブミクロンの粒子にして無駄なく小さな部品に焦点を当てることができます。 ノズルはフラットとワイドスプレーチップの2種類があります。 これらのノズルはピンポイントスプ...

メーカー・取り扱い企業： ティックコーポレーション株式会社

枚葉式スピンスプレー洗浄装置　SRC-15001

2流体ノズルより高圧純水をスプレー、メガソニックによる仕上げ洗浄！

SRC-15001は、枚葉式のスプレー洗浄装置です。被洗浄物を試料台に置き、スタートSWをONにより、試料台は回転を始めると同時にノズルアームが洗浄物の半径をスイングし、2流体ノズルより高圧純水をスプレーします。次にメガソニックによる...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社

薄膜形成装置 エレクトロスプレー SLEF-100

室温・大気圧下で高品質な薄膜を形成！電着による塗布とX-Yロボットで高…

圧』下であるにも関わらず、均一な薄膜を形成致します 『電着による塗布』＋『X-Yロボット』＝ムダのない効率的な塗布！ マスク板を汚しにくく『お手入れも簡単』！ 【特徴】 ・小型な装置でスプレーコーティング ・高温・高真空下ではなく、室温・大気圧下で塗布 ・電着による塗布により塗液を効率的に塗布！ ・X-Yロボットを使用した正確なコーティング ・マスク板を汚しにくいので簡単お手入...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社魁半導体

『薄膜スプレー技術資料』抜粋

霧化方法・薄膜形成方法など、当社の最新ノウハウを初心者の方にも分かりや…

実装基板への防湿コーティング（コンフォーマルコーティング）、高機能材の精密薄膜形成、バブルフリーの乾燥プロセスなど、スプレーコーティング技術の開発・提供を行っている当社では、ただいま『薄膜スプレーに関する技術資料』抜粋を進呈中です！ 10μ以下の薄膜塗布でのスプレー方法について、 今までスプレー技術にあまり携わ...

メーカー・取り扱い企業： Shimada Appli合同会社 コーティング開発部

基板制作装置　スプレー式小型エッチング装置

まだ手動ですか？卓上サイズで試験・実験に適した『スプレー式小型エッチン…

『スプレー型小型エッチング装置』は、プリント基板などのエッチング処理や、現像処理をする卓上サイズの基板制作装置です。 エッチング液（塩化第二鉄）の化学反応を使って、銅箔を回路パターン通りにエッチング（化学...

メーカー・取り扱い企業： サンハヤト株式会社

スピン洗浄装置　スプレー現像装置 SD-8004型

自動および手動運転により、現像、リンス、水洗、スピン乾燥を行います！

SD-8004型は、4"～8"ウエハーのスピン式スプレー現像装置です。自動および手動運転により、現像、リンス、水洗、スピン乾燥を行います。条件設定は操作パネル上のタッチパネルで行います。各処理モード中はタッチパネル上に各モードが表示されます。 詳しく...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社

スピン洗浄装置　スプレー現像装置

【デモ機貸し出し可能！】一度に数枚のワークを処理できます

本機はスピン式のスプレー現像装置で、自動および手動運転により、現像、リンス、水洗、乾燥を行います。 一度に数枚のワークを処理できます。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社

スプレー/パドル兼用 小型スピン現像装置（デベロッパー)

高品質・低価格・省スペースを追求 スイングスプレー式、パドル方式の両…

6インチウエハ対応の小型スピン現像装置。スイング式ノズルによるスプレー現像の他、パドル現像も行なえます。 プログラム入力により現像→リンス→振り切りの一連動作を連続して行なうセミオート方式デベロッパーです。...

メーカー・取り扱い企業： アクテス京三株式会社 技術センター

エッチング装置　スプレー式ウエハーエッチング装置

【デモ機貸し出し可能！】一連の洗浄・エッチング処理を行い、純水処理・乾…

スプレー式ウエハーエッチング装置は、一連の洗浄・エッチング処理を行い、その後、純水処理・乾燥までを処理する装置です。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社

スプレーレベルテスターの世界市場の調査レポート

『無料サンプル』を入手可能！ 関連リンクから詳細をご覧になり、直接お申…

2023年9月25日に、YHResearchは「グローバルスプレーレベルテスターのトップ会社の市場シェアおよびランキング 2023」の調査資料を発表しました。本レポートでは、スプレーレベルテスターの世界市場について、製品別、アプリケーション別、会社別、地域別、国...

メーカー・取り扱い企業： YH Research株式会社

エッチング実験装置『ミニミニエッチャー』

少量の薬液でのエッチングが可能！容易な薬液の交換で実験・開発に好適です

『ミニミニエッチャー』は、小型基板の製作および薬液の実験・開発に適した 装置です。 左右の薬液噴射ノズルが首振り動作する「縦型・左右スプレー」をはじめ、 「横型・上下スプレー」や「水平揺動型・上下スプレー」などをラインアップ。 少量の薬液でのエッチングが可能で、数枚単位の基板製作に対応出来、 また、薬液の交換も容易で、省スペ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社シマテック

ブラシ洗浄からの置き換え！枚葉式ウエハ洗浄装置（スクラバー）

実績多数の高圧ジェットを採用したスクラバー。ソフトスプレーと組み合わせ…

当社のスクラバー装置は、当社独自の特殊ノズルを使用した高圧ジェットにより、枚葉による高速処理・高洗浄力を実現し、薬液の使用量も削減できます。 ノズルは、高圧ジェット方式の他、2流体スプレー、1流体スプレー等の方式も選択可能ですし、組み合わせることも可能です。 ウエハ洗浄だけでなく、フォトマスクの洗浄でも実績があります。 また、DIP処理で問題となるパーティクルの再付着が...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

スプレーコーター　立体レジスト塗布装置 DC110/DC210

MEMSデバイス及び各種半導体研究用に開発されたスプレーコー夕ー！

スプレーコーター　立体レジスト塗布装置 DC110/DC210は、はMEMSデバイス、及び各種半導体研究用に開発されたスプレーコー夕ーです。微細粒子化が可能なスプレーノズルにより、サブストレート上の傾斜面、台形や直角頂点部といった従来のスピンナーで塗布が困難であった部分にも均一な膜を形成できます。スピンナーでは実現が難しいキャビティ、ビアホール、トレンチ構造へのレジスト埋め込み塗布も可能です。塗布膜厚は...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ナノテック

ウエハー自動洗浄装置　枚葉式自動洗浄装置　スプレータイプ

【デモ機貸し出し可能！】各種プロセスに合わせた洗浄方法で提供致します（…

枚葉式自動洗浄装置は、枚葉式でスプレータイプのクロスコンタミネーションに対応した洗浄装置です。 各種プロセスに合わせた洗浄方法で提供致します（フープ対応可）。 詳しくはお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社

マイコン制御式 プリント基板用エッチングマシーン　ES-800M

マイコン制御により、短時間で高品質のエッチングを実現

主な仕様 処理工程：投入→エッチング→絞り→水洗槽 処理最大幅：330mm 処理最小長さ：100mm 搬送部ローラーピッチ：45mm チャンバー長：400mm（スプレー有効長300mm） エッチング液最大液量：40リットル エッチング液：塩化第二鉄　40ボーメ（サンハヤト製　H-20L指定） エッチング液フィルター ハウジング：住友スリーエム　キュノ　1M...

メーカー・取り扱い企業： サンハヤト株式会社

化学研磨装置

首振りの角度を調整する機能付！スプレーバランスを均一に保つ事ができます…

『化学研磨装置』は、銅箔表面を粗化しラミネートの密着性を向上させる 製品です。 スプレーノズル管は縦配列と横配列の切替可能なため様々な製品条件に対応。 化学研磨部の首振りオシレーションは電気制御でのスピード調整以外に、 首振りの角度を調整する機能を付けていますので、スプレーバ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社トーア電子

逆テーパー角を一定に！PEB対応レジスト現像装置（デベロッパー）

逆テーパー角度を一定に！ネガレジストやイメージリバーサル用のレジストに…

また、薄いウエハでの実績も多数あります（ウエハ厚さ150umなど）のでご相談ください。 【特長】 ■PEBによる逆テーパー角の安定 ■自動ウエハサイズ認識機能 ■パドル、1流体スプレー、2流体スプレーの対応可 ■フットプリントの低減 ■生産量に合わせたラインアップ デモ設備も常設しておりますので、デモのご検討をお願いいたします！...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

MEMS・半導体パッケージ用塗布装置

最先端のMEMS・半導体パッケージプロセスをはじめ、各種実装プロセスに…

す。 【スピンレス塗布装置】 ウエハ・ディスクなどの円形基材に塗工液を無駄にせず非接触で一括塗工できるコータです。 高粘度液や厚膜などスピンコータでは難しい塗工が可能です。 【精密スプレー塗布装置】 多様な基板へのコーティングをスプレー方式で簡単に実現できます。 少ない材料で簡単にスプレーコーティングサンプルが製作できます。 凹凸基板、厚膜、有機材料など多彩なワーク、材料、プ...

メーカー・取り扱い企業： ブルーオーシャンテクノロジー株式会社

水平式連続両面スプレーコーター

基板を水平搬送するためのクランプハンドが任意の位置で反転可能！

当社では、液状フォトソルダーレジストインキを水平搬送されてくる 基板に対して、上部よりエアー霧化式スプレーガンにより、搬送方向と 直行する軸上をスキャニングしながらコーティングする装置 『水平式連続両面スプレーコーター』を取り扱っております。 表面塗布後は自動的に基板を反転させ、連続で裏面を...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社柳田技研

コンパクト！手動フォトレジスト現像装置（マニュアルデベロッパー）

少量多品種生産、開発用途向けのコンパクトレジスト現像装置です。枚葉式の…

発目的としてだけでなく少量多品種の製品を扱うお客様にご利用いただいております。 TMAH等多彩な薬液に実績があります。 【特長】 ■低価格を実現 ■コンパクト！ ■パドル、1流体スプレー、2流体スプレーも選択可能 ■多彩な薬液に実績あり ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

エアーノズル スリットエアーノズル エアーナイフ AK型

完全な水切りが可能！スプレー全幅における驚異的な均等性のあるエアーナイ…

ノズル幅方向の均一な衝突力分布を最大限に引き出す設計を施し、低圧損で強力なインパクトを得ることが可能なエアーナイフノズルです。 【特長】 ・スプレー全幅における驚異的な均等性。 ・完全な水切りが可能 ・極細スリット0.05〜0.3ｍｍまで対応。 ・2ｍ超までの長尺対応。 ★デモ機貸出サービス実施中★ スリットエアーノズルのデモ機...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社共立合金製作所　/　総代理店　エバーロイ商事株式会社

エミネントシリーズ第三世代エッチング装置『エミネント2』

高いメンテナンス性！エッチング均一性・パターン精度が向上した、エッチン…

東京化工機の『エミネント2』は、5カ国180装置納入実績を誇る エッチング装置「エミネント」の後継機です。 スプレー形状、流量改善等による基板上下両面の均一性が、 35％以上改善されました。 また、新型ホイールを採用し、コア材40μm基板の量産搬送対応を確立。 メンテナンス性も大幅に向上しました。 ...

メーカー・取り扱い企業： 東京化工機株式会社 本社・長野工場

薄膜電子部品工程『フォトリソグラフィープロセス装置』

生産設備・研究開発向け！薄膜電子部品工程における一連のプロセスを提供！

【プロセスフローと対応装置】 ■洗浄 ・スクラブ式 ・スプレー式 ・UV洗浄 ■レジスト塗布 ・スピンコータ ・ロールコータ ・DIPコータ ■プリベーク ・ホットプレート ・クリーンオーブン ・IR炉 ■露光 ■現像 ・スプレー式 ...

メーカー・取り扱い企業： 大村技研株式会社

【半導体製造装置関連】ミニマルスプレーコーター

レジストをスプレーノズルで塗布する装置。 つくば産総研・ミニマルファ…

パルスモータ軸数：3軸 ワーク（ノズル）移動用ＸＹステージ 塗布材料供給用シリンジ 塗布用ホットプレート：最大100℃ ベーク用ホットプレート：最大150℃ 気体制御：スプレーノズル用 ウェハ裏面回り込み用 ノズル乾燥防止：カップに液浸（PEGMA等） ウェハ供給：airPLAD hs5.0より セットパラメータ ・スプレー用空気圧（霧化圧） ・塗布材料供給...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ライズワン

燃料電池MEA用小型スプレーコーター

燃料電池・水分解触媒インクの塗布にコーティングの周辺技術と豊富なデータ…

スプレーコーターによる薄膜コーティングは、まず試作サンプリング塗布から実施させていただきます。 この事は、お客様が希望される膜形成の適合性をお客様と共に確認し、お客様の研究・開発・生産に最適化された条件から得られる結果を的確に把握していただくことにあります。 まずは、装置を購入することなく膜形成を評価・確認していただくことで、お客様のニーズにお応えする装置をご提供します。 そして、燃料電池の触媒コ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エーシングテクノロジーズ 湘南藤沢研究所　

シングルチャンバー型「ウェハ用多目的スピン・スクラブ洗浄装置」

1チャンバーで異物・金属汚染を取り除く省スペースな洗浄装置！洗浄方法の…

各種ウェハの界面活性剤・純水スクラブ洗浄、薬液スプレー、メガソニックスポットシャワー、スピン乾燥までの工程を１つのチャンバーで行う枚葉装置 ◇　シングルチャンバーで完結する省スペース型 ◇　Si（シリコン）、LT（リチウムタンタレート）やSi...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ゼビオス（XEVIOS CORP.,）

半導体関連装置 「レジスト液加温塗布装置」

純水1/4RC　圧縮空気1/4RC！薬液をスプレー塗布する装置

「レジスト液加温塗布装置」は、半導体関連で使用されるシリコンウェハー・ガラス基盤等のワークを、任意のスピードで回転させながら、常温または加温した薬液をスプレー塗布する装置です。 お客様のご要望に、技術ノウハウと創造力で、機能性、操作性、安全性を追及した、価値のある製品をご提案いたします。 【材質】 ○本体　：鋼板製 ○塗布部：塩ビ製 ...

メーカー・取り扱い企業： オーエヌ総合電機株式会社

超精密液体噴霧システム

最大100,000CPSの液体に対応！シリンジ、カテーテル等、様々な製…

液体の噴霧が可能です。 高精度＆高耐久性で、最大100,000CPSの液体に対応。高粘度液体には オプションで、ノズルへのヒーター取付けが可能です。 また、SUS316製標準ビームスプレー(円錐形パターン)ノズル又は ロングノズルをご用意しており、液体の液質や噴霧量に適した ノズル径をご提案します。 【特長】 ■細かく均一な液体噴霧(5～50ミクロンの液体粒子サイズ)が...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アキュレックス 本社、大阪営業所

ラウンドスプレコーター

ラウンドスプレコーター

微小小物部品のスプレーコーターで、回転バスケットの中で乾燥させながらコートしていきます。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エース設備

薄膜コーティング用特殊ガンバルブ（薄膜スプレーコータ装置用）

長年の試作技術とデータベースと、用途開発の様々なノウハウで、お客様のニ…

スプレーコータによるコーティングは、まずは試作サンプリングから実施させて頂きます。 お客様の研究開発のテーマがスプレーヘッドやスプレーコーターに適合するのかどうかご確認をさせて頂きます。 材料の選定や難しい条件設定など、お客様の研究開発の支援を試作を中心に実施させて頂きます。 開発が進み、生産・量産の為に装置が必要になった場合に、初めて弊社の装置をご提案します。 つまり、研究、開発の状態で装置を...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エーシングテクノロジーズ 湘南藤沢研究所　

スピン洗浄装置　自動フォトリゾ装置 JASC-1200AD型

対象ワークは200mm□基板又はφ300mm基板に適用します！

自動フォトリゾ装置はカセットからカセットでレジストスピンコート、真空ベーク、アライナー、スプレー現像を自動で行う装置です。勿論工程の選択も出来ます。ローダー、アンローダーも同一側でオペレーター1人で作業が出来ます。工程間の搬送は多関節ロボットを採用しています。本機の対象ワークは200mm□基...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社

処理装置の総合カタログ「枚葉式ウエハ処理装置総合カタログ」

【無料配布中】自動エッチング装置や自動基盤用現像装置の総合カタログ

クリーンロボットを設置しローダー、アンローダーはFOUP又はカセット式が有ります。 ◆自動基板用現像装置 枚葉式の基板自動現像装置です。現像液は電子冷熱器により常に一定温度に保たれウエハにスプレーし高精度の現像処理を行います。又現像方式はスプレー式とパドル式の選択ができます。基板搬送は装置のセンターに3軸多関節クリーンロボットを設置しローダー、アンローダーはFOUP又はカセット式が有ります...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社

FPCエッチング装置

当社独自の搬送ロール配列及びスプレー配置！回収部分は作業者がアクセスし…

連続エッチングする製品です。 レジスト種類に問わず剥離カスを連続回収。回収部分は作業者が アクセスしやすい構造にしていますので、メンテナンスが容易です。 当社独自の搬送ロール配列及びスプレー配置により、製品の配線パターンに 問わず好適なエッチングバランスを実現。薬液管理タンク内部のエッチング液の 状態（濃度、温度、比重等）を均一に保つ設計を施しており、各種補給液の コストダウン...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社トーア電子

剥離装置　剥離・アルカリエッチングライン

高精度なアルカリエッチングが可能な、高精度処理タイプです。

・アルカリエッチングラインは、高精度なアルカリエッチングが可能な、剥離装置です。ファイン用ノズル配列とオシレーションシステムにより均一な面精度が出せます。上エッチングは個別圧調でさらに高精度です。スプレー除去中に発生するレジストの微細片を処理するカス取り機構が付いています。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社二宮システム

高精度スプレーコーター API-300OGS

カバーガラス一体型タッチパネル（OGS）用レジストコーター

セル方式のOGS量産用スプレーコーター。　ガラスキャリアに化学強化済みのガラス基板（個片）を張り合わせ、複数個取りの状態でOC1などのレジストコーティングを自動で行う量産用装置。 レジスト膜厚２um前後で±5%(個片）のユニ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アピロス 本社

立体レジスト塗布装置「スプレーコーター　DC110/DC210」

スピンナークラスの薄膜から超厚膜まで対応。膜厚は１μｍ～６００μｍまで…

MEMSデバイス、及び各種半導体研究用に開発されたスプレーコーター ...

メーカー・取り扱い企業： 三明電子産業株式会社

小型エッチングマシン『YCE-85V』

スプレー上下にそれぞれ圧力計を搭載した小型エッチングマシン！

グや塩化第二銅液エッチングの研究開発等の 用途に適しています。 【85Vシリーズの特長】 ■水平揺動ノズルパイプ ■液の投入がしやすいサイドタンク ■タンクの液量が確認できる窓 ■スプレー上下にそれぞれ圧力計 ■85 IIIシリーズをさらに使いやすく改良 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社山縣機械 ＦＴＰ事業部

LT・SiC等2〜6インチ小径ウェハ両面同時薬液スクラブ洗浄装置

ワーク表裏面に触れない搬送・乾燥と異物、金属汚染の除去を可能にした薬液…

ポリッシュ後の研磨スラリーをディスクスクラブ洗浄で除去し、薬液スプレー、メガソニックスポットシャワー、スピン乾燥できる枚葉洗浄装置です。 強固着物の除去と薬液スプレーによる金属汚染除去が可能で、オプションで端面同時のスクラブ洗浄も対応できます。 ■表裏側面を...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクニカルフィット

フォトリソ用小型現像装置

フォトリソ用小型現像装置

スイングノズル式　スプレー現像・パドル現像対応装置 【特長】 ・高性能、低価格、コンパクト卓上タイプ ・ワークサイズ　Φ1"〜Φ6" ・液晶タッチパネルにてプログラム入力簡単操作 ・薬液圧送ポンプ2系統を内蔵...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社トービ

小型現像装置

スプレー及びパドル現像が行なえる、小型卓上タイプのスピンデベロッパー

現像→リンス→振り切り等を任意設定のプログラムにより連続処理が行なえるスピンデベロッパー。 プログラムは最大99ステップ×50パターン保存可能。 スプレーとパドルが1台で行なえる。...

メーカー・取り扱い企業： アクテス京三株式会社 技術センター

小型エッチング装置

基板を回転させながらエッチング液をスプレーするスピンエッチャー

対象基板を回転させながらエッチング液をスプレー塗布するスピンエッチャーです。...

メーカー・取り扱い企業： アクテス京三株式会社 技術センター

スピン洗浄装置　自動フォトリゾ装置

【デモ機貸し出し可能！】ローダー、アンローダーも同一側でオペレーター1…

自動フォトリゾ装置は、カセットからカセットでレジストスピンコート、真空ベーク、アライナー、スプレー現像を自動で行う装置です。 勿論工程の選択も出来ます。 ローダー、アンローダーも同一側でオペレーター1人で作業が出来ます。 工程間の搬送は多関節ロボットを採用しています。 本機の対象ワーク...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社

自動レジスト現像装置（枚葉式） デベロッパー Developer

枚葉式のためプロセスの再現性が高く、薬液使用量も少なく済みます。品質向…

枚葉式フォトレジスト現像装置です。 パドル現像、スプレー現像（1流体、2流体）など様々な現像プロセスに対応できます。 薄型ウェハや角基板など多数実績がございます！ また、厚膜レジスト現像～微細なパターンの現像まで幅広く対応できます。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

シングルチャンバー型「ウェハ用多目的スピン・スクラブ洗浄装置」

1チャンバーで異物・金属汚染を取り除く省スペースな洗浄装置！洗浄方法の…

各種ウェハの界面活性剤・純水スクラブ洗浄、薬液スプレー、メガソニックスポットシャワー、スピン乾燥までの工程を１つのチャンバーで行う枚葉装置 ◇　シングルチャンバーで完結する省スペース型 ◇　Si（シリコン）、LT（リチウムタンタレート）やSi...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクニカルフィット