中量機用二流体ノズル 　※2024年3月導入済！

PR300種類超の製造実績！1987(昭和62)年運転開始以来コンタミクレ…

ラボ機での反響を踏まえ、平均粒子径5～20μmの微粒子造粒粉をつくる 中量機用二流体ノズルを2024年3月に導入致しました。 2022年12月に、微粒子生産試験用として二流体ノズル噴霧機構を 導入してから約一年、お客様からのフィードバックが良好であること、 またその結果を踏まえスケールアップをご希望の声があることなどをかんがみ、 中量機(大川原・OC-16型)向けにも二流体ノズル噴霧...

メーカー・取り扱い企業： 日華化成有限会社

◆パイロット　ファインセミックス◆　＜展示会出展＞

PR高純度アルミナ、ジルコニアのセラミックスで微細孔・多孔貫通孔の押出成形…

パイロットはシャープ芯の押出成形技術を生かし、 微細な貫通孔のセラミックス製造を得意としています。 単孔のパイプ状から多孔のフィルター状の物まで製作いたします。 外径Φ0.2～Φ8、内径Φ0.005～、長さ120mm程度までの 高純度アルミナ、ジルコニア、窒化アルミを提供。 異なる孔径の組合せや異なる外形状と内形状の組合せなども可能ですので お気軽にご相談ください。 【セラミックの性質】 ■...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社パイロットコーポレーション

高速ハンドラー装置　部品移載機『BITA-1,2』

最大25,000UPHの高速移載 高精度/ ダメージレス収納 様々…

.02mmの収納！ （※保証精度は±0.05mm) ★ ダメージレス収納 ・・・微細部品に優しい吸着・収納 ★ 様々なオプション機能 ★ 多種の外観検査 （２面・６面）に対応 1．１６ノズルヘッドによる高速移載： 最大25,000UPH 移載ヘッドには高速自転・公転する16本のノズルを 備え、1往復のX軸動作で16個の部品を一気に移載 します。特に、移載機BITA-2では、部品...

メーカー・取り扱い企業： KNE株式会社

精密ノズル

安定した高精度な微量塗布を実現します。 シリーズにTM-08S(内径…

流動性を考慮した内部形状と面粗さで安定した微量塗布が出来ます。...流動性を考慮し内部の段差を無くしたテーパー形状のため、材料詰まりや塗布バラツキが少なく安定した塗布が可能です。先端部もテーパー形状のため材料の這い上がりや糸引きを軽減出来ます。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社タイショー 株式会社タイショー

ホットスロット「UWRPHSL型」

発熱部が常に一定のノズルヒーター・面状ヒーター

ホットスロットはホットランナーノズルの温度分布の再現性や均一性を求める時やシリコンウェハー等の加熱に使用されるヒーターです。薄い板厚で均一な温度分布が可能です。...

メーカー・取り扱い企業： 日本ヒーター株式会社

超細1.4ｍｍｘ長55ｍｍの極細・長尺ワーク用ベルヌーイチャック

幅1.4ｍｍｘ長さ55ｍｍの極細・長尺ワークを 非接触にて搬送するベ…

用。 ベルヌーイチャック「フロートチャックSA-CL型」シリーズは極細・長尺ワ－クを効率良く吸引するため新しく気体垂直噴流方式（VGFS)を採用しております。　　気体垂直噴流方式はクッション室にノズルより噴出する気体流を垂直気体噴流させることにより、クッション室内の気体流の摩擦損失を減少させ、負圧発生の効果を増し、従来型より大幅に懸垂能力を増加させることで、保持安定元力が増し、衝撃に強く、気体...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所

クリーンルーム対応「ベルヌーイチャックWAS型」

ごみをまき散らさないクリーンルーム対応ベルヌーイチャック

ーンルーム対応「ベルヌーイチャックWAS型」は、気体を噴出することにより効率よく、ワークを非接触（非接触）状態にて懸垂把持し、搬送します。 　クリーンルーム対応「ベルヌーイチャックWAS型」は、ノズルより噴出した排気を吸引捕捉する排気回収機構が設けられていますので排気のクリーンルームへの流出を防げます。 　そのためクリーンルーム内でのウエハ、ガラス基板他の非接触搬送に用いることが可能です。...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所

気体垂直気体噴流方式のベルヌーイチャック

空気噴流によりワークを非接触にて懸垂搬送! ベルヌーイチャック

新機構「気体垂直噴流方式」を採用しております。、気体垂直噴流方式はクッション室にノズルより噴出する気体流を垂直気体噴流させることり、クッション室内の気体流の摩擦損失を減少させ、負圧発生の効果を増し、従来型より大幅に懸垂能力を増加させることで、保持安定元が増し、衝撃に強く、気体消費量...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所

□2.0mmウエハチップ非接触チャック

微小□2.0mmＩＣウエハチップを非接触にて掴みます。

かみ搬送します。 　チップ吸引時、作動面とチップとの間隙が微小であるため作動面とチップとを平行に維持することは操作上難しいため、本機は、微小なクッション室にて効率よく負圧が発生するように気体噴出ノズルが形成されている。 ◎特徴 １．□2.0mmチップを非接触にてチャック可能 ２．ダイシングしたウエハチップを非接触にて搬送する。 ３．トレーのチップを非接触にて取り出し可能。 ４．非接触...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所

6in・8inウエハ両用非接触ピンセット

６ｉｎと８ｉｎウエハを同じ非接触ピンセットにて掴むことができる

「6in・8inウエハ両用非接触ピンセット」(特許） 新しく気体垂直噴流方式を採用しております。　　気体垂直噴流方式はクッション室にノズルより噴出する気体流を垂直気体噴流させることり、クッション室内の気体流の摩擦損失を減少させ、負圧発生の効果を増し、従来型より大幅に懸垂能力を増加させることで、保持安定元力が増し、衝撃に強く、気体消費...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所

非接触チャック

ソーラーリサーチ研究所の垂直気体噴流方式の非接触チャック

方式を採用しており、空気をガラス基板に向かって噴出することにより、ガラス基板を空中に浮遊した非接触の状態にて懸垂保持し、搬送することができます。 　作動面とワークとの間隙が大きい場合、気体噴出部ノズル、クッション室および作動面とワークとの間隙はそれぞれエゼクターのノズル、真空室およびデフューザの機能をはたします。そのためクッション室には負圧が生じワークを引き寄せることになります。ワークが引き寄...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所

重量物非接触搬送装置「フロートチャックSA-5C(SAN)型」

重たいワークでも効率よく非接触搬送可能なベルヌーイチャック

　重量物非接触搬送装置（フロートチャックSA-５C(SAN)型）は、新しく気体垂直噴流方式を採用しております。気体垂直噴流方式はクッション室にノズルより噴出する気体流を垂直気体噴流させることり、クッション室内の気体流の摩擦損失を減少させ、負圧発生の効果を増し、従来型より大幅に懸垂能力を増加させることで、保持安定力が増し、衝撃に強く、気体消費量...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所

有限会社ハヤシ精機　事業紹介

マシニング加工、５軸マシニングセンター加工によるアルミ、ステンレス等の…

業品目】 ■液晶、半導体製造装置部品及びAMHS（Automated Material Handling System）300mm半導体ウエハー無人搬送システム機器部品 ■産業用インクジェットノズルヘッド ■ハイテク産業機械装置部品 ■その他精密機器部品 ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ハヤシ精機 本社

自動式超音波洗浄装置

～洗浄から乾燥まで精密な洗浄を～

バーフローした洗浄液はフィルタで濾過します。 ●求められる精度では、すすぎにイオン交換樹脂による純水を採用致します。 電気伝導率測定器を装備する事で純水精度も管理出来ます。 ●乾燥は、エアーノズルは上下に動く為、水滴を満遍なく飛ばしつつ、ミストレーサーで室内をカラっとした状態に近づけます。...

メーカー・取り扱い企業： 日伸精機株式会社 事業本部

薄膜コーティング装置（スプレーコーター）IS型

長年の試作コーティング技術＆データベースで、お客様のニーズにお応えでき…

ーなどに応用されています。弊社では長年の塗布試作サービスや研究支援の実績と経験があり、そのノウハウを盛込んだスプレーコーター（薄膜コーティング装置）はご好評をいただいております。 弊社独自の特殊ノズルで長期安定な塗布をご提案しています。塗布に課題・ニーズなどお困りの事がございましたら、ご一報をお願い申し上げます。 立体形状コーティング（３Dコーティング）、薄膜コーティング、精密コーティング、...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エーシングテクノロジーズ 湘南藤沢研究所　

耐熱仕様：非接触搬送装置「フロートチャックSAH型」

高温ワークを非接触にて移載するベルヌーイチャック

非接触搬送装置「フロートチャックSAH型」は気体垂直噴流方式を採用しております。気体垂直噴流方式はクッション室にノズルより噴出する気体流を垂直気体噴流させることり、クッション室内の気体流の摩擦損失を減少させ、負圧発生の効果を増し、従来型より大幅に懸垂能力を増加せることで、保持安定元力が増し、衝撃に強く、気体消費量...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所