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試料断面における応力分布を確認することが可能です
スペクトルのピークは、試料に圧縮応力が働いている場合は高波数シフト、引張応力が働いている場合は低波数シフトします。これにより、Siの応力に関する知見を得ることができます。 IGBT(絶縁ゲートバイポーラトランジスタ)の断面について、ラマンマッピングで応力の分布を確認した例を示します。...
メーカー・取り扱い企業: 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
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