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PR【SDGsに貢献】省電力ながらスラッジを効率的に除去!フィルタレスと液…
「液の入れ替えやタンクの清掃が面倒だ」 「フィルタのランニングコストを下げたい」 「産廃排出量を低減したい」 「液の温度管理がしたい」 「製品の不良率を低減したい」 現場ではこの様な声をよく聴くことがあります。 弊社では省電力ながらスラッジを効率的に除去するサイクロン式クーラント液浄化装置を提供することで、 SDGsに貢献できると考えております。 スラッジを除去することで液を循環して使用でき、...
メーカー・取り扱い企業: 日本スピンドル製造株式会社 環境事業部
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Class 1のクリーンな環境で複数枚のウェハを加熱処理 最大450…
常N2)はウェハに対して平行に流れます。 平行層流(ラミナーフロー)は加熱プロセスによってウェハ表面に発生したパーティクルを 除去するのに効果的です。 チャンバー内にパーティクル除去フィルタを搭載 加熱されたプロセスガスは100um径の穴が開いたフィルタを通ってワークに到達し、 ワークを通り過ぎた後に再びフィルタを通過し、チャンバー外部へ排出されます。 これによりプロセス...
メーカー・取り扱い企業: ハイソル株式会社
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