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真空ポンプに捕捉フィルターをつけてポンプトラブルを事前に防止!
PR捕捉フィルターがカギ!樹脂・化学業界にもドライポンプが使用可能に。ドラ…
当社がご提供する「HSコレクター」は、パーティクルを98%以上捕捉する高性能・コンパクトな捕捉フィルターシステムです。 ポンプトラブルを事前に防ぐ方法はないかと多々ご相談を頂くことが多くあったので、真空ライン中のオイルミスト・溶剤・モノマー・オリゴマー等を最も効率よく捕捉し、メンテナンス性・耐薬品性にも考慮して開発しました。 また、ドライ真空ポンプとセットでご提供も可能です。 省エネ・低...
メーカー・取り扱い企業: エイチアールディー株式会社 本社・大阪第一支店・大阪第二支店・名古屋支店・豊田支店・東京支店・HRD-THAI
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一般的なイオン交換型金属除去膜から半導体アプリケーションに特化した金属…
詳細は弊社まで問い合わせください。 各フィルタは各種カプセルやカートリッジで供給可能。 多くの既存品とは互換性あります。 各種アプリケーションに合わせてご提案できます。...
メーカー・取り扱い企業: 日本コベッタ株式会社
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用途に応じた幅広い孔径(1nm相当の微細孔径も)と清浄度を有するポリエ…
Cobetter Photopexシリーズは、最先端1nm相当から5μm相当まで幅広い孔径を有する高Retentionのフィルタであり、半導体製造プロセスのLithography工程を初めとする厳しい要求にMeetする清浄度を有します。 この高い清浄度のため、高いShedding性能を示し、フィルタからの抽出を低減してお...
メーカー・取り扱い企業: 日本コベッタ株式会社
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ウエーハ製造プロセスのあらゆる部門に適応可能。
ウエーハ製造プロセスのあらゆる部門に適応可能な簡易型のレジスト塗布、現像装置。 マニュアル装置でありながら、ケミカルフィルタ、レジスト温調、現像液温調、塗布室の雰囲気温調・湿度制御などの各種オプションの搭載も可能です。基板サイズは最大300mmΦまで対応し、不定形基板にも対応可能な自由度の高い、高性能装置です。レジスト...
メーカー・取り扱い企業: リソテックジャパン株式会社
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メンブレンタイプフィルター『アンドロメダシリーズ』
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