フォトレジストとは？　基礎知識集

半導体製造には欠かせないフォトレジストに関して、基礎から知りたい方は是…

弊社では、電着レジストを製造・販売しておりますが、お客様の中にはそもそもフォトレジスト自体をご存知ではない方も多くおられました。 そこで今回、基礎知識ページのニーズがあると考え、フォトレジストの基礎知識ページを作成させて頂きました。 皆様の中には、下記のようなことをお考...

メーカー・取り扱い企業： ハニー化成株式会社

書籍【フォトレジスト材料の評価】

好評につき改訂版完成! 感光性樹脂・原材料の研究開発、配合、使用、製…

第1章 リソグラフィーの概要 第2章　フォトレジストの塗布 第3章　露光技術 第4章　露光後ベーク(PEB)と現像 第5章　g線,i線レジスト(ノボラックレジスト)の評価技術 第6章　KrF・ArF用フォトレジストの評価技術 第7章　...

メーカー・取り扱い企業： S&T出版株式会社

リソグラフィとは？

フォトレジストの塗布、露光、現象の3つのステップで構成されます。

きな影響を与えるため、 常に技術革新が求められています。 現在主流となっているリソグラフィ技術は、「液浸式アーゴンフッ素(ArF) エキシマレーザー」です。 【基本原理】 ■フォトレジストの塗布 ■露光 ■現象 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 夏目光学株式会社

投影露光とは？

微細なパターンを半導体基板上に形成するために使用される技術。

投影露光は、半導体製造プロセスにおいて、微細なパターンを半導体基板上に 形成するために使用される技術の一つです。 半導体基板上にUV(紫外線)光を照射することで、フォトレジストと 呼ばれる光に敏感な材料にパターンを形成します。 フォトレジストは、UV光を当てると化学反応が起こり、露光した箇所が 溶解したり、硬化したりします。その後、露光された箇所をエッチン...

メーカー・取り扱い企業： 夏目光学株式会社

高分子架橋・分解反応の基礎と高機能化のための応用展開

★架橋による高分子の力学物性、耐摩耗性、耐熱性、耐溶剤性が向上のポイン…

であった。 しかし、最近では光(UV)を利用する表面加工が注目されている。この技術は環境保全、省エネルギーおよび高速加工の観点から興味をもたれる技術である。さらに、この技術は微細加工におけるフォトレジストへの応用も始まっている。 しかしながら、架橋したポリマーは再利用の観点からは不都合であり、最近ではリサイクル(再可溶化)の観点からで架橋したポリマーの分解反応も検討され始めた。本講では表面加...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社AndTech

高分子架橋・分解反応の基礎と高機能化のための応用展開

★架橋による高分子の物性、耐摩耗性、耐熱性、耐溶剤性の向上 ポイント…

であった。 しかし、最近では光(UV)を利用する表面加工が注目されている。この技術は環境保全、省エネルギーおよび高速加工の観点から興味をもたれる技術である。さらに、この技術は微細加工におけるフォトレジストへの応用も始まっている。 しかしながら、架橋したポリマーは再利用の観点からは不都合であり、最近ではリサイクル(再可溶化)の観点からで架橋したポリマーの分解反応も検討され始めた。本講では表面加...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社AndTech