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フォトプロセス解析用露光装置シリーズ
フォトレジストの研究開発用露光ツール！ フォトプロセス解析用露光装置シリーズ ■□■ラインナップ■□■ ■UVES-2000（g/h/i/248nmおよびブロード光対応解析露光装置） ■UVES-2500 （g/h/i/248nmおよびブロード光対応レジスト感度評価露光装置） ■ArFES-3500LP（193nm対応解析露光装置） ■VUVES-4500mini（248・193n...
メーカー・取り扱い企業： リソテックジャパン株式会社
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最大25箇所、露光条件を変えてオープン・フレーム露光が可能。
フォトプロセス解析露光装置 UVESシリーズはフォトレジストの研究開発用露光ツールです。ステップ露光することで最大25箇所、露光条件を変えてオープン・フレーム露光が可能です。露光されたサンプルをレジスト現像アナライザを用いて現像解析することにより、フォ...
メーカー・取り扱い企業： リソテックジャパン株式会社
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Virtual Lithography Simulator
リソグラフィ・シミュレータは、数値計算により、露光光学系による結像およびフォトレジストの感光・現像の過程をコンピュータ上に表現し、現像後のフォトレジストの形状を算出します。リソグラフィの研究、開発、そして製造に欠かすことのできないツールとなっています。...
メーカー・取り扱い企業： リソテックジャパン株式会社
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パーティクルカウンター液中 レジスト0.15μm KS-41A
0.15μｍの粒子を、フォトレジスト溶液やSOG などから測定可能
液中パーティクルカウンター KS-41A フォトレジスト溶液やSOG中の粒子を0.15μmから測定 国内製造・国内メンテナンスの充実したサポート体制...
メーカー・取り扱い企業： リオン株式会社
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パーティクルカウンター 液中 レジスト・SOG KS-41B
フォトレジスト溶液やSOG中の粒子を0.1 μmから測定可能
高計数効率0 0.1μm フォトレジスト溶液やSOG中の粒子数測定に 国内製造・国内メンテナンスの充実したサポート体制!...
メーカー・取り扱い企業： リオン株式会社
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薄膜の密着性・傷つき易さの定量化・ナノスクラッチ試験
コーティングや、軟質及び硬質のコーティングの分析に使用できます。 光学用途から、マイクロエレクトロニクス用途、保護膜、装飾膜など様々な用途向けの、薄膜・多層膜のPVD・CVD・PECVD膜、フォトレジスト、塗装、ラッカーなどの膜の評価に利用できます。 金属合金、半導体、ガラス、反射材や有機材料を含む硬質あるいは軟質の基材も評価できます。 鉛筆硬度試験・サイカス・ウール試験・消しゴム試験では...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社アントンパール・ジャパン
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ON-WAFER処理のためのインテリジェントプロセスコントロール
『R*evolution V』は、実績のある低磁場トロイダルプラズマ技術、 高度な通信機能、高精度パワー制御機能を一体化した製品です。 当シリーズのリモートプラズマソースは、フォトレジストストリップや 様々な表面処理など、酸素ラジカルベースのアプリケーションに適しています。 またEtherCAT通信プロトコルにより、クリティカルなプラズマソース動作 パラメータをプロ...
メーカー・取り扱い企業： 日本エム・ケー・エス株式会社
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【プロセス分析計 技術資料】現像液中のTMAHをオンライン分析
半導体産業向け！プロセス分析計 / オンライン分析計で現像液中の水酸化…
）、プリント基板（PCB）、フラットパネルディスプレイ（LCD）の製造に用いられる第4級アモニウム塩で、これらのデバイス製造時のフォトリソグラフィ工程で最もよく使用されます。 この工程では、フォトレジスト現像液を使用して、基板上にパターンを転写します。半導体産業で使用される薬品は、極めて純粋でなければなりません。なぜなら、微量の汚染物質でさえ、電気的特性に悪影響を及ぼすからです。 現像工程は...
メーカー・取り扱い企業： メトロームジャパン株式会社
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昨今の製造ニーズにお応え！低コストで高精度なウェットバス監視分析計
『TALYS ADP300シリーズ』は、ウェットエッチング、クリーニング、 またはフォトレジスト(PR)除去プロセスのリアルタイム、バッチ式、または シングルウエハツールの監視に適したデュアルチャンネル分析システムです。 リアルタイムでの薬液濃度監視によって、オペレータおよび技術...
メーカー・取り扱い企業： ABBジャパン
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フォトレジスト現像速度解析評価装置
レジスト現像アナライザRDAシリーズは、フォトレジストの現像速度測定、コントラストカーブ、感度の算出などの現像特性解析が迅速に行えます。また、リソグラフィシミュレータに必要なレジストモデリングパラメータを正確に決定することができます。...
メーカー・取り扱い企業： リソテックジャパン株式会社
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半導体・高純度化学品・純水用低価格継手（ジョイント・コネクタ）
簡単確実に接続
た継手です。100%金属フリーでありながら、継ぎ手の両側に自動閉塞弁を有しています。またロータリー機構を有し、確実な接続をクリック音で知らせます。 高純度化学品・高腐食性化学品・純水・一部のフォトレジストのハンドリングに適しております。Oリングにオイルは使用しておりません。内部バネはPEEK製、OリングはChemraz(パーフロ）を使用。 従来のフッ素系樹脂・PVDF製品に比べ割安です。（当...
メーカー・取り扱い企業： CPC（コールダー・プロダクツ・カンパニー） スウェップジャパン株式会社CPC製品事業藤沢事務所
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半導体製造用フォトレジストの光量測定やUVケア製品（医療・医薬・食品分…
度計は、医療、医薬、食品分野などの紫外線殺菌ランプや光化学反応、高分子関係劣化試験などに幅広く利用される測定器で、近年は市場が拡大しているUVケア製品の特性評価や半導体製造におけるG線・I線用フォトレジストなどの光量測定にも用いられています。 UVR-300は、高感度で、ワイドダイナミックレンジ（0.1 - 80,000μW/cm2）を有し、測定用途に応じて異なる測定波長域に対応できる３タイプ...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社メジャー
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価格は低廉であり、搭載されたシーケンサにより各エッチング条件の管理を行…
に対応する為、ＲＦパワーを下部電極に印加（ＲＩＥ方式）又は、上部電極に印加（ＤＰ方式）を実現しております。 ６～８インチのＳｉ、Ｐｏｌｙ-Ｓｉなどのエッチングやポリミド系樹脂のエッチング及びフォトレジストのアッシングなど多種多様なプロセスに御利用頂けます。 ...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社エスクラフト
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フォトレジストの高度な評価を行う、さまざまな装置を提供します。
脱保護反応解析装置 PAGAシリーズはPEB及び248mm露光によるin-situ反応解析、脱保護反応パラメータ算出機能。FT-IR室内にベークプレートを配置し、加熱し ながら官能基の変化を観察で来ます。また、紫外線(248nm)照射装置も搭載されており、露光中における酸発生のメカニズムなどの解析にも利用できます。 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。...【主な特徴】 ○P...
メーカー・取り扱い企業： リソテックジャパン株式会社
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フィルムや板状の膜厚を非破壊的にライン測定
各酸化膜、シリコン、フォトレジスト、各種フィルム、油膜、コーティング材、接着剤、金属酸化膜、誘電体膜などを光の干渉を用いて、非接触にそれら厚みを高精度に測定します。主にハロゲン光を使いますので、人体への影響も無く、場所も選びま...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社スペクトラ・コープ
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優れた操作性と拡張性を備えたハンディタイプの紫外線強度計です。
紫外線殺菌ランプの測定、光化学反応光量測定、フォトレジスト光量測定、高分子関係劣化試験測定等、幅広い分野で威力を発揮します。...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社シロ産業
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膜厚測定に関するアプリケーション情報を詳しく解説します
アプリケーション向けに光学的および非光学的膜厚特性を測定するための モジュラー式および完全統合型システムの両方を提供しています。 顧客は、シリコンウェーハの厚さを測定し、マスク用のフォトレジスト層を判断し、 コーティングの硬度および摩耗を試験するためのシステムを構成しています。 数量の多いOEMアプリケーション向けコンポーネントも利用できます。 これらのデバイスは、真空紫外...
メーカー・取り扱い企業： オーシャンフォトニクス株式会社
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精度密度計により、フォトリソグラフィー工程におけるフォトレジスト液セン…
L-Dens 7400/7500 は液体の密度値測定に使用するプロセス測定装置です。 溶液、混合液の密度は、多くの場合濃度に正比例します。したがって、測定した密度値を濃度の測定に利用することができます。様々なサンプルに対する検量線の立ち上げが可能であり、そのために、耐腐食性の接液材質が選択可能です。 小型でコンパクトなデザインのため、質量流量測定システムなどに簡単に組み込むことができ、製...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社アントンパール・ジャパン
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TMAHと炭酸塩を分別定量した例について紹介！測定条件例および測定結果…
TMAHは塩酸標準液による中和滴定によって定量することができます。 また、TMAHは空気中の炭酸ガスを吸収し炭酸塩を生成すると、塩酸標準液に より滴定したときpH4付近にもう一つの滴定終点を示す滴定曲線となります。 当アプリケーションデータでは、TMAHと炭酸塩を分別定量した例について 紹介します。 【掲載内容】 ■測定の概要 ■装置構成および試薬 ■測定手順 ■測定...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社HIRANUMA
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塩化バリウムを添加して炭酸塩を測定する方法について紹介！測定手順などを…
液晶表示器用基板などの現像終了後の基板に残ったフォトレジストの 剥離剤としては、強アルカリ溶液が用いられます。 TMAHは塩酸標準液による中和滴定によって定量することができ、 空気中の炭酸ガスを吸収し炭酸塩を生成すると、塩酸標準液により 滴...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社HIRANUMA
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