パーティクルカウンター液中 レジスト0.15μm KS-41A

0.15μｍの粒子を、フォトレジスト溶液やSOG などから測定可能

液中パーティクルカウンター KS-41A フォトレジスト溶液やSOG中の粒子を0.15μmから測定 国内製造・国内メンテナンスの充実したサポート体制...

メーカー・取り扱い企業： リオン株式会社

パーティクルカウンター 液中 レジスト・SOG KS-41B

フォトレジスト溶液やSOG中の粒子を0.1 μmから測定可能

高計数効率0 0.1μm フォトレジスト溶液やSOG中の粒子数測定に 国内製造・国内メンテナンスの充実したサポート体制!...

メーカー・取り扱い企業： リオン株式会社

『R*evolution V』

ON-WAFER処理のためのインテリジェントプロセスコントロール

『R*evolution V』は、実績のある低磁場トロイダルプラズマ技術、 高度な通信機能、高精度パワー制御機能を一体化した製品です。 当シリーズのリモートプラズマソースは、フォトレジストストリップや 様々な表面処理など、酸素ラジカルベースのアプリケーションに適しています。 またEtherCAT通信プロトコルにより、クリティカルなプラズマソース動作 パラメータをプロ...

メーカー・取り扱い企業： 日本エム・ケー・エス株式会社

紫外線強度計UVR-300　レンタル

半導体製造用フォトレジストの光量測定やUVケア製品（医療・医薬・食品分…

度計は、医療、医薬、食品分野などの紫外線殺菌ランプや光化学反応、高分子関係劣化試験などに幅広く利用される測定器で、近年は市場が拡大しているUVケア製品の特性評価や半導体製造におけるG線・I線用フォトレジストなどの光量測定にも用いられています。 UVR-300は、高感度で、ワイドダイナミックレンジ（0.1　- 80,000μW/cm2）を有し、測定用途に応じて異なる測定波長域に対応できる３タイプ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社メジャー

オンライン密度計　フォトレジスト液

精度密度計により、フォトリソグラフィー工程におけるフォトレジスト液セン…

　L-Dens 7400/7500 は液体の密度値測定に使用するプロセス測定装置です。 　溶液、混合液の密度は、多くの場合濃度に正比例します。したがって、測定した密度値を濃度の測定に利用することができます。様々なサンプルに対する検量線の立ち上げが可能であり、そのために、耐腐食性の接液材質が選択可能です。 　小型でコンパクトなデザインのため、質量流量測定システムなどに簡単に組み込むことができ、製...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アントンパール・ジャパン