両面マスクアライナー

両面アライメントと、プロキシミティおよびソフトコンタクト露光が可能

ウェハ、ガラス基板などのフォトリソ工程において、ガラスマスクとワークをアライメントし、板上にコーティングされたフォトレジストに、微細なマスクパターンを転写するマスクアライナーです。...

メーカー・取り扱い企業： ウシオライティング株式会社

工業･電子部品用露光装置

ガラスマスクとワークをアライメントし､微細なマスクパターンを転写する露…

から、小・中ロット製造用に最適です。 【両面マスクアライナー】 ●ウェハー、ガラス基板などのフォトリソ工程において、ガラスマスクとワークを 　アライメントし、板上にコーティングされたフォトレジストにプロキシミティ 　及びソフトコンタクト露光にて、微細なマスクパターンを転写するマスクアライナー 　です。 ■□■詳細は、資料請求またはカタログをダウンロードして下さい■□■ ...

メーカー・取り扱い企業： ウシオライティング株式会社