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真空ポンプに捕捉フィルターをつけてポンプトラブルを事前に防止!
PR捕捉フィルターがカギ!樹脂・化学業界にもドライポンプが使用可能に。ドラ…
当社がご提供する「HSコレクター」は、パーティクルを98%以上捕捉する高性能・コンパクトな捕捉フィルターシステムです。 ポンプトラブルを事前に防ぐ方法はないかと多々ご相談を頂くことが多くあったので、真空ライン中のオイルミスト・溶剤・モノマー・オリゴマー等を最も効率よく捕捉し、メンテナンス性・耐薬品性にも考慮して開発しました。 また、ドライ真空ポンプとセットでご提供も可能です。 省エネ・低...
メーカー・取り扱い企業: エイチアールディー株式会社 本社・大阪第一支店・大阪第二支店・名古屋支店・豊田支店・東京支店・HRD-THAI
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高性能・高圧 多用途ポンプ 【プラステコ】 L.TEXシリーズ
PR小流量から大流量、水状から高粘度まで、様々な流体の定量送液ならプラステ…
用途によって選べるタイプ!! ●ポンプ単体(装置組込式) ●制御部一体型 標準で最大40MPaまでの高圧送液に対応するプランジャ-ポンプです。 当社の主力製品である『超臨界不活性ガス定量供給装置』においても多数実績があります。 最大流量は 10mL/min ~ 1000mL/min と幅広く豊富な機種をご用意しておりますので、 研究・実験用途に適した小流量から量産向けの大流量まで、ご使用目的に...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社プラステコ 本社
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独自のスポットプラズマ技術で局所加工が可能な卓上プラズマエッチング装置
【仕様(抜粋)】 ■装置寸法:240mm(W)×390mm(D)×350mm(H) ■重量:20kg ■真空ポンプ:ドライポンプ(15L) ■加工範囲:28mm×28mm(オプションステージ使用時) 0.5~4mm ■対応可能ガス:CF4、N2、D.A、Ar、O2等 ※詳しくはPDFをダウンロードい...
メーカー・取り扱い企業: ナラサキ産業株式会社 メカトロソリューション部 機能材料課
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2枚同時処理で高スループット。ウエハ移載コストの削減にも貢献
【用途例】 ・各種ウエハ電子部品のレジスト除去 ・後工程メッキ前の表面改質 ・有機汚染除去 ・樹脂材料の表面改質 【主な仕様】 ◎処理方式: 自動搬送付きバッチ装置 ◎排気ポンプ: ドライポンプ ◎寸法: 1400(W)×3000(D)×1900(H)mm ◎重量:1000kg ◎電源容量: AC200V(3φ)/15kVA(44) ◎真空槽サイズ(処理室): φ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社昭和真空
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特許取得済!様々な形状の容器内壁面を集中改質できるプラズマ処理装置
:360(W)×400(L)×450(H)mm ○装置重量:約30kg ○ワークサイズ(試験管サイズ):φ12×100mm ○処理時間:4min ○処理本数(1バッチ):100本 ○真空ポンプ:ロータリーポンプ(300l/min) ○入力電圧:AC100V 50/60Hz ※お客様ごとに仕様変更可能 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。...
メーカー・取り扱い企業: 泉工業株式会社
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サンプル形状を選ばず、自由に処理!バレルタイプ プラズマ処理装置
微細なパターンやチューブ形状内面の洗浄、改質が可能!溶液を使用せずに洗…
:幅650×奥行800×高さ1260 ○処理室:φ300×L450石英チャンバー ○高周波発振器:13.56MHz/500W ○処理ガス:処理ガス2系統マスフロー制御 ○真空排気:ドライポンプ ○制御:オート/マニュアル操作マイコン制御 ○安全仕様:非常停止スイッチ、各インターロック ○ユーテイリテイー:電源、処理ガス、DryAir、N2、冷却水 ●詳しくはお問い合わせ、ま...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社電子技研
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親水処理・蒸着装置・イオンスパッタの機能を完全一体化。
ン一つで楽々。 【その他の特徴】 ○この装置は、2 つの試料処理チャンバーを持つ多目的簡易操作型カーボン蒸着、マグネトロンスパッタ成膜、親水処理機能を有する装置です。 ○床置きロータリーポンプ(1mホース付)による排気で、オートリーク機能搭載。 ○ 1 台で当社製VC-100S・MSP-1S・PIB-10 3 機種の機能を有します。 ○小形省スペース・多機能・簡易操作を製品コンセプ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社真空デバイス
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小型・低価格を実現。多目的簡易操作型RFプラズマクリーナー。
ズマ照射による高効率化で試料損傷を抑制したクリーニングが可能です。 ○TEM,SEM,FIB試料、試料ホルダー、及び絞りのアンチコンタミ処理が可能です。 チャンバー排気はTMP、スクロールポンプによるオイルフリーシステムです。 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社真空デバイス
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半導体、液晶の微細パターニング、DNAチップ製造など微細異方性加工に広…
ート、搬送機構、カセットステーションを増設した全自動システムまで貴社のご要望に適したバージョンが選択できます。プロセス再現性を重視し電極温調用チラー、APCを標準装備し、高真空プロセス対応のターボポンプを増設することができます。 【特長】 ○RIEプラズマエッチング装置 ○6インチまでのシリコンウエハ、小型角基板の異方性エッチングが可能 ○8,12インチ用装置も設計可能 その他...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社電子技研
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旧版より30年間の進展を凝縮し、基礎から応用・実用までを網羅。 現場…
■目次 第1部 真空工学の基礎 第1編 希薄気体の性質 第2編 真空ポンプ 第3編 真空計測器 第4編 真空部品 第5編 真空材料 第6編 真空装置の取扱い 第7編 環境・安全・衛生対策と保守 第2部 真空応用システム 第1編 低・中真空の...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社エヌ・ティー・エス
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高性能卓上システム!簡便な操作のタッチスクリーンと判りやすい指示表示
【装置概要】 ■チャンバ内上側からのマイクロ波導入 ■開き戸 ■電源切断時に自動的にポンプ配管系を復圧 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...
メーカー・取り扱い企業: ピンク・ジャパン株式会社
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小型・低コストな卓上型プラズマ処理装置Harrick Plasma社 …
ングはもちろん、ポリマー・生体材料などの材料改質、歯科・医学材料(器具)の滅菌、マイクロ流体工学などにも対応。あらゆる材料のクリーニングと表面処理に活用されており、各分野で多くの販売実績あり。真空ポンプ、クオーツチャンバー、サンプルトレー、プラズマフローなど、オプション品も幅広くラインナップ。...
メーカー・取り扱い企業: 三洋貿易株式会社 科学機器事業部
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等方性プラズマを利用 微細なパターンやチューブ形状内面の洗浄、改質に最…
:幅650×奥行800×高さ1260 ○処理室:φ300×L450石英チャンバー ○高周波発振器:13.56MHz/500W ○処理ガス:処理ガス2系統マスフロー制御 ○真空排気:ドライポンプ ○制御:オート/マニュアル操作マイコン制御 ○安全仕様:非常停止スイッチ、各インターロック ○ユーテイリテイー:電源、処理ガス、DryAir、N2、冷却水 ●詳しくはお問い合わせ、ま...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社電子技研
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業界最小サイズ!小型・低コスト卓上型プラズマ処理装置
ングはもちろん、ポリマー・生体材料などの材料改質、歯科・医学材料(器具)の滅菌、マイクロ流体工学などにも対応。あらゆる材料のクリーニングと表面処理に活用されており、各分野で多くの販売実績あり。真空ポンプ、クオーツチャンバー、サンプルトレー、プラズマフローなど、オプション品も幅広くラインナップ。 ...
メーカー・取り扱い企業: 三洋貿易株式会社 科学機器事業部
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