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真空システムの性能を最大10倍まで高めるブースターポンプ!
真空ポンプの排気速度と到達真空度を向上させるメカニカルブースターポンプは、 最大10倍まで真空システムの性能を高めることができます。 サイズのバリエーションが豊富なため、 排気速度および到達真空度をプロセスの条件に合わせて的確にカスタマイズできます。 ...
メーカー・取り扱い企業: 日本ブッシュ株式会社
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マルチ電圧モータも選択できる汎用型のメカニカルブースターポンプです。【…
メカニカルブースターポンプはドライポンプ、油回転真空ポンプ、水封ポンプなどと組み合わせて使用することにより、粗引ポンプの排気速度が低下する10k ~ 0.1Pa の領域で排気速度をアップすることが可能です。 PMB シリーズVer.D はマルチ電圧モータも選択できる汎用型のメカニカルブースターポンプです。 オプションで空冷での運転が可能な他、表面処理や大気圧駆動型も選べます。 【ラインナップ】...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社アルバック/ULVAC, Inc.
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一般産業向けの多様なポンプソリューションを提供します
Edwardsでは様々な産業用途に対応できるよう、ロータリーポンプ、ピストン ポンプ、スクリューポンプ、メカニカルブースターポンプなど、すべてオイル シール型でご用意しています。 また、ポンプやアクセサリは、単独でも、工場検査済みの完成システムとしても 出荷することが可能です。 【取扱製品(抜粋)...
メーカー・取り扱い企業: エドワーズ株式会社
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メカニカルブースターポンプEHシリーズは、310~4915m3/hの排…
EHシリーズは、ルーツタイプの真空ポンプであり、メカニカルブースターとしてお使いになれます。 バッキングポンプと同時に使用する事により、ポンプのダウンタイムを短縮することができるため、差圧の大きい環境での使用に適しています。 排気速度310m3/hrから49...
メーカー・取り扱い企業: エドワーズ株式会社
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メカニカルブースターポンプと油回転真空ポンプを組み合わせる為の架台ユニ…
YMV シリーズは、メカニカルブースターポンプと油回転真空ポンプを組み合わせるための架台ユニットです。ポンプ排気量に合わせて4 種類の架台ユニットを用意しました。 ポンプのメンテナンス性を重視した独立架台設計となっており、生産設...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社アルバック/ULVAC, Inc.
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20000時間保守無運転!ルーツポンプ(メカニカルブースター)
堅牢なルーツポンプ。3つのモーター接続構造。摩耗部分を少なくし長寿命実…
エリコンライボルトのルーツポンプ(メカニカルブースターポンプ)には、次の4シリーズがあります。 ・ルーツ真空ポンプRUVAC WA/WAU:空冷、フランジ型モータ※タイプ ・ルーツ真空ポンプRUVAC WS/WSU:空冷、キャンドモータ※※...
メーカー・取り扱い企業: ライボルト株式会社
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原則成功報酬&見積もり無料で安心。機械・装置の更新コストを削減!復刻や…
ードライブ、UPS、ティーチングペンダント、CCDカメラ など 【真空ポンプ修理サービス『ヨミガエル』対応品】 クライオポンプ、ターボ分子ポンプ、ロータリーポンプ、ドライポンプ、 メカニカルブースターポンプ、水封式真空ポンプ、油拡散ポンプ など ※詳しくは資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。...
メーカー・取り扱い企業: 千代田交易株式会社
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水蒸気ベーパープレリンスと水蒸気ベーパーリンスは、1台の水蒸気発生器で…
『WATER CLOVA』は、洗浄後の純水リンス4工程と乾燥を1槽の中で 全自動で行うことができるワンバス式真空リンス乾燥機です。 真空乾燥は、信頼性の高い水封式真空ポンプ+メカニカルブースター ポンプを使用。 純水リンス1・2共、真空リンス槽から真空バッファタンク2へ送る時に 全量ろ過が可能で、水蒸気ベーパープレリンスにより、プレリンスの 廃水を最小限にできます。 ...
メーカー・取り扱い企業: 新和産業株式会社 環境・洗浄事業部
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こだわりの材質と設計!世界的な水需要増大に応える高圧ブースターポンプの…
『BMS』は、海水淡水化プラント用の高圧ブースターポンプです。 高圧対応のメカニカルシールで液漏れナシ。 ベアリングはSiCで、耐久性、耐熱性、化学的安定性に優れています。 また、海水淡水化システム構成例として、当製品1台で海水を真水に変える 「BMS hs システム」や、「BMSX エネルギー回収システム」がございます。 【特長】 ■海水淡水化プラント用 ■長寿命 ■...
メーカー・取り扱い企業: グルンドフォスポンプ株式会社
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メカニカルブースターポンプ
まゆ形ロータを回転する事により圧縮・排気を行う真空ポンプ 【特徴】 ○油回転真空ポンプなどの前段に取り付け排気速度を増大させる 機械式真空ポンプ、ということからメカニカルブースターとも呼ばれる ○ドライ真空ポンプ、油回転真空ポンプ、液封式真空ポンプなどの 大気圧まで圧縮できる真空ポンプと組合せて使用する ○コンパクト設計なので、システムとしてまとめる事が容易...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社大阪真空機器製作所
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【洗浄テスト可能】炭化水素系ワンバス式真空洗浄機 『CLOVA』
ワンバス式全自動洗浄機の決定版!従来機に比べて、仕様・性能はそのままに…
止まり穴の部品・貼り付き部品の洗浄にも有効 ◆粗・仕上の洗浄液は、1サイクル毎に全量ろ過することができるので、洗浄液の清浄度が上がり洗浄品質も向上 ◆真空ポンプは、「液封式真空ポンプ+メカニカルブースターポンプ」の2段 1.到達真空度が高く、乾燥性能に優れる。 2.溶剤回収率が高く、溶剤消費量を低減できる。 3.真空ポンプの故障が少なく、信頼性が高い。 ◆蒸留能力が、他社同等機...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社クリンビー
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【省エネ】最少の消費電力で排気能力を最大化するメカニカルブースタ
後段の真空ポンプ(ドライポンプ・油回転真空ポンプ・水封式真空ポンプ)と組合せることで、小さな動力で排気速度を大幅に増やし、到達圧力を1~2桁低くできます。 ●排気効率が非常に高く、省エネで排気速度と到達圧力の向上ができます。 ●水封式真空ポンプにも対応した設計で高背圧にも耐えられるため、非常に堅牢です。 ●排気口の向きを下側/横側から選択できます。 ●真空ポンプの能力が落...
メーカー・取り扱い企業: 神港精機株式会社 東京支店
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メカニカルブースタポンプ PRC-A/PMB-C(M)シリーズ
水蒸気、溶剤などの蒸気に対しても安定した性能が得られます。【アルバック…
ドライポンプ、油回転真空ポンプ、水封ポンプなどと組み合わせて使用することにより、粗引ポンプの排気速度が低下する10,000 ~ 0.1Pa の領域で排気速度をアップすることが可能です。 PRC-A シリーズは、PMB-C(M)同様、汎用型としての使用はもちろんのこと、特にポンプ外部および内部のクリーン度が要求される半導体・液晶製造プロセスで使用することを主用途に設計されたルーツ型ポンプです。 ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社アルバック/ULVAC, Inc.
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ドライポンプ GXSシリーズ 排気速度160~3450m3/hr
一般産業向けのハイエンドレンジの真空ポンプであり、信頼性の高いパフォー…
となります。 パージ機能を有しており、シャフトパージに対応、ポンプ内部を洗浄・フラッシングする機能(オプション)もあり、幅広い用途・プロセスに対応できるのが特長です。 排気速度に応じて、メカニカルブースター付属仕様(ケーシング内にポンプと一緒に収まる)も選択頂けます。 <特長> ・コントロールパネルを標準装備 リモート/ローカルON/OFFやアラーム・ワーニングを表示 ・ 高い信...
メーカー・取り扱い企業: エドワーズ株式会社
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マイクロ波プラズマ実験装置 MiPC-500
できるため 様々なプロセスに対応可能 ○プラズマ中に基板を挿入すれば、プラズマにより加熱されるため ダイヤモンド薄膜作製時には、ヒーターは不要 ○排気装置もロータリーポンプ・メカニカルブースター さらに超高真空まで対応可能 ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。...
メーカー・取り扱い企業: アリオス株式会社
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蒸留機兼水蒸気発生器により純水の再生が可能!止まり穴や隙間のリンス・乾…
後の純水リンス4工程と乾燥を、1槽の中で全自動で 行う水系ワンバス式真空リンス乾燥機です。 真空乾燥により、止まり穴・隙間の乾燥が可能。真空乾燥は、信頼性の高い 水封式真空ポンプ+メカニカルブースターポンプを使用しています。 また、純水リンス工程が4工程あるので、リンス性が高く、水蒸気ベーパー プレリンスにより、プレリンスの廃水を最小限にできます。 【特長】 ■純水リンス...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社クリンビー
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工業用真空ポンプシステムを多数掲載!お客様のニーズを満たすソリューショ…
】 ■オイルシール型真空ポンプ E2M ■オイルシール型真空ポンプ nES ■インテリジェンス水封式ポンプ ELRi ■オイルシール型真空ポンプ Stokes Microvac ■メカニカルブースター EH ■メカニカルブースター Stokes 6インチ ■真空システム MAXX ■真空オイル ULTRAGRADE ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下...
メーカー・取り扱い企業: エドワーズ株式会社
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油回転ポンプ Stokes 排気速度255~1020m3/hr
シンプルな構造とピストン機構、厳しい環境での運転に耐えられる堅牢性の高…
の真空ポンプです。 80年以上の実績からなる信頼性と、低騒音、優れたシール性、最小限のメンテナンス、低い運転コストを実現する、最も効率的なピストンポンプです。 ストークスポンプは、多様なメカニカルブースターとの組み合わせにより、お客様のニーズにもフレキシブルに対応致します。 < Stokes特長> ● 堅牢構造で低フットプリント設計 ● 低い回転速度による大幅な長寿命化 ● シンプ...
メーカー・取り扱い企業: エドワーズ株式会社
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高温の真空乾燥・ベーク処理を全自動で…DY-Pタイプ。 さらに大排気…
途に合った 機種をお選びください。 ■DY-Pタイプ 排気系が油回転真空ポンプ単独で構成され、到達圧力は×10Pa となります。 ■DY-MPタイプ 排気系が油回転真空ポンプとメカニカルブースターで構成され、到達圧力が×1Pa とDY-Pタイプより一桁良くなるとともに、メカニカルブースターにより大きな排気速度が得られます。ガスなどを多く含んだワークの大量処理に適しています。...
メーカー・取り扱い企業: 佐藤真空株式会社
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省スペースで利用可能なコンパクト設計!防爆を考慮した油圧ユニット
『コンパクト一体型 ブースターユニット』は、化学製品、薬品関係を取り扱われている プラントや設備内で、油圧ユニットのご使用を考慮した設計、製品となっております。 内部構造に油圧のブースト(増圧)を設け、低い圧力を大きな圧力へ変換が可能。 また、切換バルブ(メカニカルバルブ)を採用することにより、繰り返しの油圧の切換が 可能になり連続運転において、生産性の向上が計れます。 【特...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社日本油研 にほんゆけん
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真空ポンプ総合カタログ
ンプレッサー MINKファミリー ○ドライロータリーベーン真空ポンプ SECOファミリー 〇多段ルーツポンプTORRIファミリー ○ルーツ式真空ポンプ・ブロワー TYRファミリー ○メカニカルブースターPANDA/PUMAファミリー ※詳しくはお気軽にお問い合わせください。 またはPDF資料をダウンロードしてください。...
メーカー・取り扱い企業: 日本ブッシュ株式会社
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フッ素樹脂コーティング対応立形ドライ真空ポンプ「TRVシリーズ」
酸性・アルカリ性の高腐食性ガスの吸引に。厚膜フッ素樹脂コーティング(2…
も適しています。 【特長】 ■200μ m の厚膜フッ素樹脂コーティングに対応 ■大気圧から締切運転まで安定した運転が可能 ■120°Cまでの高温ガスの吸引が可能 ■メカニカルブースターとの組み合わせにより幅広い真空域に対応 ■電動機は防爆対応も可能...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社宇野澤組鐵工所
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止まり穴の部品・貼り付き部品の洗浄にも有効!ワンバス式全自動洗浄機の決…
為、溶剤を加温する事ができ、洗浄性が向上 ■粗・仕上の洗浄液は、1サイクル毎に全量ろ過することができるので、 洗浄液の清浄度が上がり洗浄品質も向上 ■真空ポンプは「液封式真空ポンプ+メカニカルブースターポンプ」の2段 ■熱媒油の寿命は6000時間 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...
メーカー・取り扱い企業: 新和産業株式会社 環境・洗浄事業部
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溶剤を加温することができ、洗浄性が向上!熱処理ラインの洗浄に適した真空…
全自動で行います。 上記4工程を真空中で行いますので、酸素濃度が低く、安全です。 【特長】 ■洗浄性が向上 ■熱媒油の寿命は6000時間 ■真空ポンプは「液封式真空ポンプ+メカニカルブースターポンプ」の2段 ■溶剤が一切大気に触れない為、溶剤を加温することができる ■仕上げの浸漬洗浄は、真空・復圧を繰り返すため、止まり穴の部品、 貼り付き部品の洗浄にも有効 ※詳しく...
メーカー・取り扱い企業: 新和産業株式会社 環境・洗浄事業部
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溶接等のリークを自動/手動で試験する装置。実験目的に合わせたカスタム製…
【仕様】 ○リークデテクタ:アネルバ製 M-212LD ○メカニカルブースター:排気速度 600L/分 ○ロータリーポンプ:排気速度 167L/分 ○ビラニー真空針:アナログ式 ○到達真空度:1E-10Torr以下...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社テクノメイト
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豊富な経験と高い技術力で産業界に貢献する、ポンプと配管のエキスパートで…
【メンテナンス・工事】 ■ポンプのメンテナンス 真空ポンプ(ドライ、水封式、油回転、メカニカルブースター等)、 ルーツブロワ、攪拌機、その他各種ポンプの修理・分解洗浄などの メンテナンス業務 ■配管工事 プロセス配管、ユーティリティー配管、二重管配管、ダクト配管、 塩ビ配管な...
メーカー・取り扱い企業: 有限会社カミック工業
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真空ポンプ
オイル密封式・回転式の真空ポンプです。メカニカルブースタポンプと合わせて使用いたします。 ...【ダイレクト・ドライブ ロータリー真空ポンプ】 油で密封されたロータリー・ポンプは、圧力が気圧から0.13~1.3×10-2Paまで変化するガスを圧縮して、 次に、空気中にそれらを放出させるのに経済的なポンプとして広く使用されます。 ダイレクトに、オイルによって密封されたロタリーバキュームポンプ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社三美テックス
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デザイン一新により、駆動音の低減、蒸気排気の耐性、排気パフォーマンスが…
事により、様々な環境下での運転に対応いたします。 ・温度安全スイッチ ・オイルレベルスイッチ ・ダストフィルタ ・キャッチポット ・ケミカルトラップ E2Sシリーズでは、メカニカルブースターEHシリーズとの接続が可能です。 組み合わせることでポンプの排気速度と到達圧力が向上します。 製品詳細は[PDFダウンロード]からカタログをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせくださ...
メーカー・取り扱い企業: エドワーズ株式会社
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リフトオフ・厚膜・低温成膜対応 昭和真空の技術を結集させた最上位モデ…
電子銃270°偏向、電源16kW ○基板加熱 MAX150℃ 常用100℃ ○膜厚分布 ±1%以内 (バッチ内、バッチ間) T/S=900mm ○排気系 クライオポンプ、ドライポンプ、メカニカルブースターポンプ ○真空槽 W800mm × D800mm × H1300mm、SUS304製 ○フットプリント W3700mm × D4300mm × H2400mm 【所要諸元】 ○所...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社昭和真空
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【洗浄テスト可能】熱処理ラインの洗浄に適した大型ワンバス式真空洗浄機を…
【その他特長】 ■真空ポンプは「液封式真空ポンプ+メカニカルブースターポンプ」の2段 ・到達真空度が高く、乾燥性能に優れる ・溶剤回収率が高く、溶剤消費量を低減できる ・真空ポンプがメンテフリーで、故障が少なく、信頼性が高い など 【仕様】 ■B...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社クリンビー
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こんな3D CADが欲しかった!
IRONCADのパワーブースター「IRONCAD Mechanical(アイアンキャド・メカニカル)」がついに日本上陸! 多くの方々から取り扱い希望の声が寄せられていたこの製品が、待望のリリースとなりました。 ユーザーインターフェースとユーザーガイドも日本語に対応し、万全のサポート体制で皆様にお届けいたします。 これにより、より使いやすく、効率的な機械設計が可能となります。ぜひ、IRONCA...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社クリエイティブマシン
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基礎工事などのポンプ設置に伴う負担を軽減することが可能です。【アルバッ…
【特徴】 ○大排気量の1段式ベーン型ポンプ →650m3/hと750m3/hの2機種を用意 →メカニカルブースターポンプと組み合わせることにより、 さらに大排気量の排気が可能になる ○低振動 →揺動ピストンポンプのような低周波領域の振動が低減でき、 工場建屋の基礎工事が不要になりました。上層...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社アルバック/ULVAC, Inc.
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メカニカルブースターポンプと油回転真空ポンプを組み合わせる為の架台ユニ…
UTM300Bは、セラミック玉軸受を採用した複合翼型のターボ分子ポンプです。 コントローラとポンプの一体化により省スペースを実現。 優れた高背圧特性により補助ポンプの小型化も可能になりました。 【ラインナップ】 ○UTM300B(ISOフランジ型) ○ISO100-K フランジタイプ ○VG100 フランジタイプ ○ICF152 フランジタイプ 詳しくはお問い合わせ、または...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社アルバック/ULVAC, Inc.
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コストシミュレーション受付中!冷却水不要の高性能熱水ジェットポンプ
『JVT型真空・給水ブースタポンプ』は、高効率のジェット式真空ポンプと 渦巻ポンプをタンクに取付けた手軽で安定した真空・給水ポンプです。 80℃以上の高温ドレンにも対応可能。 蒸気暖房、貯湯槽、熱交換器、吸収式冷凍機、空調機等から排出される 蒸気ドレンを吸引、タンクに回収し、再びボイラに給水したり、ボイラ給水 タンク、環水タンクに送水できます。 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社進栄技研
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対応可能膜種はDLC、アモルファスSiC等!基板加熱機構付き(最高設定…
【仕様(抜粋)】 ■チャンバー材質:ステンレス製 ■到達真空度:1Pa以下 ■真空ポンプ:ロータリーポンプ+メカニカルブースターポンプ ■排気圧力コントロール:手動(オプションで自動可) ■成膜対象物:最大Φ100mm×500mm ■高周波出力:最大1kW ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社DINOVAC
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信頼性のある堅牢なエドワーズ E2Mシリーズは、安定した到達圧力と長期…
)を選択頂く事により、様々な環境下での運転に対応いたします。 ・ダストフィルタ ・キャッチポット ・ケミカルトラップ ・ミストフィルタ ・防振ゴム等 E2Mシリーズでは、メカニカルブースターEHとの接続が可能です。 組み合わせることでポンプの排気速度と到達圧力を向上させます。 ※製品詳細は[PDFダウンロード]からカタログ資料をご覧いただくか、お気軽に[お問い合わせ]く...
メーカー・取り扱い企業: エドワーズ株式会社
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油回転ポンプ nESシリーズ 排気速度40~750m3/hr
コストパフォーマンスに優れた1段式のロータリベーンポンプです。
380-415V, 60Hz 200-230V/380-400V ・駆動方式:モータ直結(nES40~300)、ベルト(nES470~750) ・中国天津工場製 nESシリーズは、メカニカルブースターEHとの接続が可能です。 組み合わせることでポンプの排気速度と到達圧力を向上させます。 ※製品詳細は[PDFダウンロード]からカタログ資料をご覧いただくか、お気軽に[お問い合わせ]く...
メーカー・取り扱い企業: エドワーズ株式会社
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各種消耗部品を取り扱っております。
真空技術の専門商社として各種消耗部品を取り扱っております。...消耗部品 : シールド用大判アルミ箔ロール/拡散ポンプ用オイル/ロータリーポン プ用オイル/メカニカル・ブースターポンプ用オイル/Cu(無酸素銅) ハースライナー/EBフィラメント/パッキン各種(角ヒモ/Wシール/ Oリング 各種サイズ)/水晶振動子/ハロゲン・ランプ/フィリップス 球/モニター・ガラス、他 装置関係 : ...
メーカー・取り扱い企業: アールエムテック株式会社
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圧力10000kNクラス対応!抵抗加熱または誘導加熱方式のホットプレス…
℃ ■プレス圧カ:10~10000kN ■均熱範囲:±10℃ ■ダイス:カーボングラファイト ■炉内雰囲気:真空又は不活性ガス雰囲気又は大気雰囲気 ■真空排気装置:油回転ポンプ, メカニカルブースターポンプ、油拡散ポンプ ■到達真空度:5.0×10(-3) Pa以下(空炉、常温) ■制御盤:タッチパネル、シーケンサー制御(加熱、雰囲気、圧力) ※詳しくはPDF資料をご覧いただ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社第一機電
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材料形状に起因する改質不均一
二重構造 ○冷却方式:二重ジャケット水冷方式(炉内撹拌ファン敷設) ○炉内有効サイズ:直径1000mm×高さ1200mm ○使用ガス種:水素、アルゴン、窒素、メタン、酸素 ○排気系:メカニカルブースターポンプ及び油回転ポンプ ●より詳しい掲載内容につきましては、 カタログをご覧頂くか、直接お問い合わせください。 ...
メーカー・取り扱い企業: 中日本炉工業株式会社
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全機種オーバーホールして完全稼動した状態で納品しております
注入装置 ・RF/DC電源 ・電子銃/電子銃用電源等 ■高真空ポンプ ・ターボ分子ポンプ ・クライオポンプ ・油拡散ポンプ等 ■メカポンプ ・油回転ポンプ ・メカニカルブースターポンプ ・ドライポンプ ・スクロールポンプ等 ■真空バルブ ・L型バルブ ・ゲートバルブ ・バタフライバルブ ・リークバルブ等 ■関連機器 ・真空計各種 ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社グリーンテック 大阪本社
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真空ポンプの中古品は、株式会社ソナスリンクへ。 自社在庫に加え、…
中古の真空ポンプを販売しております。 中古真空ポンプの一例 ・ロータリーポンプ ・メカニカルブースターポンプ ・ドライポンプ ・ターボ分子ポンプ ※必要とするポンプのモデルをお知らせください。 ※適合する機種が見つからない場合もございます。 ※可能な限り動作確認を行ってからの販...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ソナスリンク
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2022年10月24日に、QYResearchは「グローバル半導体用メカニカルブースターポンプに関する調査レポート, 2017年-2028年の市場推移と予測、会社別、地域別、製品別、アプリケーション別の情報」の調査資料を発表しました。半導体用メカニカルブースターポンプの市場生産...
メーカー・取り扱い企業: QY Research株式会社 QY Research
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製薬医薬プラントにも多数納入実績有り。厚膜テフロンコーティング
酸性・アルカリ性の高腐食性ガスの吸引に。厚膜フッ素樹脂コーティング(2…
みにも適しています。 【特長】 ■200μ m の厚膜フッ素樹脂コーティングに対応 ■大気圧から締切運転まで安定した運転が可能 ■120°Cまでの高温ガスの吸引が可能 ■メカニカルブースターとの組み合わせにより幅広い真空域に対応 ■電動機は防爆対応も可能...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社宇野澤組鐵工所