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低省費電力化とイオン源の低温化により、ガス放出を大幅低減!一般的な四重…
劣化とガス放出 ■光刺激、電子刺激によって発生するガス分析(質量分析) ■微量ガス分析(TDS/Out Gas) ■封止デバイス/MEMSの質量分析および、10-17Pa・m3/sレベルのリーク試験 ■ガラスのHe透過試験および、微小気泡ガス分析 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...
メーカー・取り扱い企業: 東京電子株式会社
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