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PRプロセス装置に連続で薬液を供給
本装置はプロセス装置に予め決められた濃度の薬液を供給するための装置である 【仕様】 ○外形寸法:W1720*D810*H2010 ○重量:約800kg 本装置はプロセス装置に予め決められた濃度の薬液を供給するための装置である。最大、2種類2系統の薬液を供給することが出来ます。希釈濃度や供給量など動作に関する詳細はご希望内容に対応させていただきます。...●その他機能や詳細については、カタログダウ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社テクノメイト
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PR〈国内製〉基板の供給・分割・排出を自動化(最大400×300mmに対応…
当社のルーター式基板分割機に、高速・高精度で切断でき、 自動化(マニュアルでの操作も可能)にも対応した『SAM-CT34XJ』が新製品としてラインアップに加わります。 基板の供給・切断・排出を自動で行えるのはもちろん、 カメラで基板を表示しながら簡単にティーチングが可能。 画像処理機能による、切断位置の自動補正にも対応しています。 【特長】 ■ルータービットの高さを自動で切り替...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社サヤカ
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ダメージレス、ハイレート、大面積対応、イオンダメージを完全除去、完全ラ…
表面波プラズマ(surface Wave excited plasma)による高密度プラズマをイオン遮蔽トラップにてイオンを完全にシールド。基板にラジカルのみを供給。 高密度ラジカルによるウェット同等のダメージレスアッシングを実現。 ハイレートとダメージレスアッシングを両立。コンパクトなバッチタイプで小型基板・化合物半導体・MEMSデバイスに対応 MEM...
メーカー・取り扱い企業: 神港精機株式会社 東京支店
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瞬時電圧低下による製品不良の発生と装置故障の損害からラインを守る『TS…
「UPS」とは商用電力をバッテリーに充電し、そのエネルギーをインバーターで 交流に変換して負荷側に供給する設備で、瞬時電圧低下発生時は商用電源が 消失してもバッテリーに充電されたエネルギーで通常15~30分程交流出力を 負荷側へ供給します。 【UPSとTSPの違い】 ■電力をバッテリーに...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社シナジー
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瞬時電圧低下による製品不良の発生と装置故障の損害からラインを守る『TS…
通常は商用電力をSCRを介し負荷側へ供給する時に電気二重層キャパシター (EDLC)に充電しましが、瞬時電圧低下発生時は検出回路により2msec以内に 切替を行い、電気二重層キャパシター(EDLC)に充電されたエネルギーを インバー...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社シナジー
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