加熱・冷却機能付きポーラスチャック

吸着しながら、加熱・冷却実験が可能！！

ブ実験、加熱耐久実験等）を行えるユニットとなります。その他、ウェーハマウンターなどにも応用が期待されています。加熱温度としては、最大で２５０℃の加熱ができ、冷却機能を持たせているため、大気冷却より急勾配での冷却を行うことも可能であります。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社吉岡精工