半導体 | イプロスものづくり

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エアベアリングステージ

PRエアステージLBTシリーズ

エアステージLBTシリーズ Class1クリーンルーム対応ストロークは50ｍｍ～500ｍｍエンコーダは用途により1um～0.05umまで選択可能真直度、平面度は0.5um/300mm ピッチング、ヨーイングは±2arc sec コイル、マグネット、エンコーダ無しの状態から全て組込み済み状態での納入も可能半導体検査装置用途として海外での納入実績は豊富にあり国内では初めての紹...

メーカー・取り扱い企業： TOYO ROBOTICS株式会社
Micro Point Pro（マイクロポイントプロ）株式会社

PRウェッジボンディングツールをはじめ、世界で9000台以上の実績を持つ卓…

Micro Point Pro（マイクロポイントプロ）株式会社は、設立から40年の経験と専門知識を保有し、半導体およびマイクロ電子デバイスアセンブリ業界向けの商材を幅広く取り扱っています。イスラエルに拠点を構え、150名の従業員とグループ企業600名の従業員がサポート。 MPPでは原材料から完成品まで全ての製造プロセスがあり、多くのグローバル企業との実績も多数ございます。【取扱製品】 ■...
メーカー・取り扱い企業： Micro Point Pro ltd株式会社本社
パワー半導体の解析サービス

故障箇所→拡散層評価を含めた物理解析/化学分析までスルー対応いたします…

株式会社アイテスでは、パワー半導体の解析サービスを承っております。当社は日本IBM野洲事業所の品質保証部門から1993年に分離独立して以来、独自の分析・解析技術を培ってきました。 Si半導体だけでなく、話題のワイ...
メーカー・取り扱い企業：株式会社アイテス
【分析事例】半導体基板中軽元素の高感度分析

SIMS分析によりH, C, N, O, Fなどを1ppm以下まで評価…

他手法では評価が難しい半導体基板中のH,C,N,Oを1ppm(約5E16atoms/cm3)以下まで、Fを1ppb(約5E13atoms/cm3)以下の濃度まで検出可能です。実際のFZ-Si中における測定例（図1）とIII-...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
樹脂材料（半導体 LED用途）の分析

樹脂材料を分析し、製品性能に与える特性を評価することが可能！

株式会社アイテスでは、樹脂材料（半導体 LED用途）の分析を行っております。 MOSFET、ICといった半導体製品、LEDパッケージには、エポキシ樹脂やシリコーン樹脂といった樹脂材料が多く使用されています。これらの...

メーカー・取り扱い企業：株式会社アイテス
株式会社アウトソーシングテクノロジー　事業紹介

様々な産業のイノベーションを支援し、働きがいの持てる社会を実現する

当社は、「機械・輸送機器・ロボティクス」「電気・電子、半導体」「IT・ソフトウェア」「化学・医療・バイオ」といった幅広い技術分野において、当社のエンジニアリソースを活用したサービスを展開しております。お客様のニーズ対し、機電系・IT系と複合...
メーカー・取り扱い企業：株式会社アウトソーシングテクノロジー
【DL可STEM/EDS】STEM/EDSによる半導体絶縁膜評価

STEM-EDS観察は半導体のPoly-Si(ポリシリコン)間の絶縁膜…

電子線の入射角度を変えることで、回折コントラストの変化を観察・観察対象が結晶質であるかの判断・結晶内にある結晶欠陥（転位、双晶等）の情報の獲得本事例では「STEM-EDSによる半導体絶縁膜評価」を紹介しています。本事例は問題なしの結果でしたが、異常検出も可能です。ぜひPDF資料をご一読ください。また、弊社では本STEMに加えFIBとの併用で、試料のある...

メーカー・取り扱い企業：セイコーフューチャークリエーション株式会社
ドイツ diondo工業CT測定サービス-半導体部品

低価格・高精度・正確な非破壊検査 5万円～/1 検体

5万円(税別）～/ 1 検体 ※検体輸送費(基本的に検体運搬費用はお客さま) 【測定内容】寸法測定 ※他測定内容はお問合せください。【納品データ】測定レポート + オリジナルレポート画像 + 欠陥統計表【CTスキャナ仕様】機種名：汎用マイクロ・ナノCTシステム diondo d2 反射ターゲットX線管： 190-300kV 送信ターゲット X線管： 1...

メーカー・取り扱い企業： ND GROUP 日本支社
FIB-SEMによる半導体の拡散層観察

他手法より短納期！FIB-SEMによる形状観察と、拡散層観察の両方を実…

当社では、『FIB-SEMによる半導体の拡散層観察』を行っております。 FIB法による断面作製とSEM観察によって半導体の拡散層を可視化、形状評価を行いました。 SEMのInlens 検出器によって内蔵電位の違いを可視...
メーカー・取り扱い企業：株式会社アイテス
半導体分析

各種半導体の様々な目的に合わせて、各種手法で分析が可能！

半導体の微細な形状の観察、結晶性評価、不純物濃度測定、硬度測定、故障解析など　各種手法により研究開発のサポートを致します。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社イオンテクノセンター
技術情報誌 202102-03 XAFSによる半導体中の状態評価

技術情報誌The TRC Newsは、研究開発、生産トラブルの解決、品…

【要旨】 半導体へのドーパント添加は、電気特性を制御する上で非常に重要な技術であり、添加によるキャリア発生のメカニズムは固体物理の理論に基づいて理解されているが、ドーパント元素における直接的な化学状態や配位環境の...

メーカー・取り扱い企業：株式会社東レリサーチセンター
【半導体向け】解析シミュレーションソフト　※カタログ進呈

工数・コスト削減に！薄膜生成、スパッタリング、プラズマエッチングなどの…

当社では、半導体関連装置向けに特化した解析ソフトを取扱っています。希薄流体解析ソフト、プラズマ解析ソフトをラインアップし、有機ELやマグネトロンスパッタのシミュレーションで活躍中です。「新商品開発...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ウェーブフロント本社
第一原理計算によるワイドギャップ半導体GaNにおける欠陥準位解析

点欠陥の形成エネルギー、電荷、光学遷移など様々な物性情報が得られます

ワイドギャップ半導体である窒化ガリウム（GaN）は主にパワーデバイスの分野で用いられ、近年では急速充電器や5G通信基地局用途としての需要が高まっています。高信頼性を有するGaNの開発にあたっては、結晶中の欠陥量の低減...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
【分析事例】半導体パッケージのはんだ濡れ性試験_C0699

劣化加速試験後の電極のはんだ濡れ性試験が可能です。

半導体を多く使う電子機器では各部品をはんだ付けにより実装しています。このはんだ接合部に不良が生じると電子機器に不具合が生じます。その為はんだに関して濡れ性を評価することは部品の信頼性を評価するうえで重要です。今回は疑似的に試料を劣化させ、はんだの濡れ性がどうなるかを検証しました。恒温恒湿試験後、電極表面の濡れ性が変化することが分かりました。測定法：恒温恒湿試験,はんだ濡れ性試験製品分野：パワーデ...
メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
【分析事例】ワイドギャップ半導体β-Ga2O3のドーパント存在

ミクロな原子構造を計算シミュレーションによって評価可能

β-Ga2O3は広いバンドギャップを有し、優れた送電効率や低コスト化の面で次世代パワーデバイスや酸化物半導体の材料として期待されています。近年、β-Ga2O3はSiまたはSnのドーピングでn型化することが報告されています。本資料では、β-Ga2O3にSiもしくはSnをドープしたモデルに対して構造最適化計...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
【分析事例】SIMSによる化合物半導体の組成分析

化合物半導体の主成分元素の組成を深さ方向に評価可能

一般的にSIMSでは含有量が％を超える主成分レベルの元素の定量性は低いとされていますが、一次イオンにCs+を用いたMCs+(M:着目元素）検出モードを用いることで、主成分元素の深さ方向の組成分布を求めることが可能です。 AlGaAs中のAl,Gaについて、深さ方向の組成評価を行った例を示します。...詳しいデータはカタログをご覧ください...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
［SCM］［SNDM］

キャリア分布を二次元的に可視化

SCM/SNDMは、導電性の探針を用いて半導体表面を走査し、キャリア分布を二次元的に可視化する手法です。・SCM：1015～1020cm-3, SNDM：1014～1020cm-3程度のキャリア濃度に感度がある・半導体の極性（...
メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
SIM像　3D再構築解析受託サービス

SIM像3D再構築解析の受託スタート！※材料開発や半導体、基板のトラブ…

ＦＩＢ加工観察装置によるＳＩＭ像の３Ｄ再構築解析の受託を始めました！材料開発や半導体、基板のトラブル原因解明など、様々な分野で、お役にたちます！【半導体デバイスの故障解析やワーク断面・積層構造を高精度高分解能で観察】集束イオンビーム(FIB)加工装置には微小で等間隔ピ...

メーカー・取り扱い企業：東レ・プレシジョン株式会社
熱解析の受託サービス

業界初の熱解析手法で、費用を抑えた製品設計＆放熱対策をご提案！

費用をかけていませんか？ Q）製品に実施している放熱対策は、妥当でしょうか？（過剰対策になっていませんか）「熱解析の受託サービス」は放熱対策にかかる費用の削減を実現します。熱源である半導体デバイスの熱特性の真値を求め、極限まで温度マージンを抑えた放熱対策を提案させて頂きます。 半導体エンジニアと熱設計エンジニアの知見を合わせ、独自技術（特許出願中）を用い、正しい解を導き出します。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社Wave Technology
【分析事例】半導体のイオン化ポテンシャル評価

UPS：紫外光電子分光法

半導体では、価電子帯立ち上がり位置(VBM)と高束縛エネルギー側の立上り位置(Ek(min))より、イオン化ポテンシャルを求めることが可能です。表面有機汚染除去程度のArイオンスパッタクリーニング後に測定を行っています。 ■価電子帯立ち上がり位置(VBM)の決定価電子帯頂点近傍のスペクトルを直線で外挿し、バックグラウンドとの交点を求めます。 ■イオン化ポテンシャルの算出イオン化ポテンシ...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
技術情報誌 202001-02 酸化ガリウムの結晶構造解析

技術情報誌The TRC Newsは、研究開発、生産トラブルの解決、品…

【要旨】酸化ガリウム（Ga2O3）は次世代パワー半導体材料として注目を集めており、近年研究が盛んになってきている。半導体デバイスの信頼性、特性改善にはプロセス技術の最適化が必要であり、その評価方法が重要となる。本稿ではエピタキシャル膜の品質評価に必要...

メーカー・取り扱い企業：株式会社東レリサーチセンター
SiCデバイスの裏面発光解析

SiCデバイスの前加工→リーク箇所特定→物理解析/成分分析までスルー対…

当社では、『SiCデバイスの裏⾯発光解析』を行っております。 SiCは従来のSi半導体と比べ、エネルギーロスの少ないパワーデバイスであり注目を集めていますが、Si半導体とは物性が異なるため、故障解析も新たな手法が必要となります。 SiC MOSFET裏面発光解析事例で...
メーカー・取り扱い企業：株式会社アイテス
【分析事例】GaN基板の表面形状分析

AFMによるステップ-テラス構造の可視化

ワイドギャップ半導体である窒化ガリウム(GaN)は、パワーデバイスや通信・光デバイスなどの幅広い分野で用いられています。デバイスを作製するうえで、ウエハ表面の形状と粗さはデバイス性能に大きく影響します。GaNウエハを...
メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
［SSRM］走査型広がり抵抗顕微鏡法

ナノメートルレベルでの局所抵抗測定が可能

SSRMは、バイアスが印加された試料の表面を導電性探針で走査し、抵抗値の分布を二次元的に計測することで探針直下の広がり抵抗を可視化する手法です。シリコン半導体素子を計測した場合、空間分解能に依存しますが、キャリア濃度1016個/cm3以上に感度があります。・ナノメートルレベルでの局所抵抗測定が可能・半導体のドーパント濃度分布計測に有効・...
メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
3D希薄流体解析ソフトウェア『DSMC-Neutrals』

低圧条件のガス流れの解析ができる希薄気体(希薄流体)にも対応した解…

■充実した技術サポートにより、シミュレーションが始めての方や実験で忙しい方々も確実に結果を出すことが可能 ◆さまざまな事例に対応◆ ・真空チャンバー内の希薄なガス流れシミュレーション・半導体製造における薄膜生成のシミュレーション・化学蒸着 (CVD)、有機EL (OLED)、分子線エピタキシー (MBE ) ・CVD のような化学反応を含む成膜シミュレーションなどの半...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ウェーブフロント本社
SIMS分析データの再現性

再現性の高い不純物量評価が可能です

半導体デバイスの製造において、ドーパント等の不純物の制御は重要な工程となります。イオン注入に着目した場合、僅かな差が品質や性能に影響を及ぼすため、正確な制御が必要となります。SIMS分析の高い再現性は、それらの開発・維持管理に最適です。...
メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
［EBIC］電子線誘起電流

試料内部の電界構造（半導体の接合構造）に関する情報を得ることができる手…

■概要 EBIC信号を測定することにより試料内部の電界構造（半導体の接合構造）に関する情報を得ることができます。結晶中に少数キャリアのライフタイムが短くなるような箇所に敏感で、転位や積層欠陥の位置も特定できます。 ■測定原理試料に電子線を照射すると価電...
メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
MIを用いた新規有機半導体材料の構造探索

データ駆動型アプローチから高効率に新材料の候補を提案可能です

有機材料に限っても、存在し得る化合物構造の組み合わせは膨大であり、従来の特性を超える新材料の多くは未知の状態にあるといえます。このような膨大な組み合わせから有効な特性を持つ新材料の探索には、機械学習を用いたアプローチが適しています。本資料では、実際に課題の設定から達成まで、インフォマティクスを活用した事例を紹介します。化合物データセット、目的の特性をお客様の課題に合わせて設定することにより、同様の...
メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
Φ8インチIC・MEMSファウンドリーサービス開始

最大8インチＭＥＭＳラインを有するオムロン野洲事業所にてウェハ工程の試…

実績：  MEMSセンサ（圧力センサ、加速度センサ、流量センサ、赤外線センサ、音響センサなど）  MEMSアクチュエータ（マイクロミラー、RF MEMS など）  各種半導体（IC、パワーデバイスなど）  光学素子（アパーチャ、レンズなど）  機能構造（poly-Si TSV など）加工場所：オムロン株式会社　野洲事業所（滋賀県野洲市）～　...

メーカー・取り扱い企業：株式会社アイテス
クロスビームFIBによる断面観察

FIB加工をリアルタイムで観察しながら断面観察が可能です。

半導体デバイス、MEMS、TFTなどナノスケールの精度で製造されるエレクトロニクス製品の構造解析を行うための新たな手法：クロスビームFIBにより断面観察をご提案いたします。 ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社アイテス
【事例】『DSMC-Neutrals』真空排気シミュレーション

真空排気シミュレーションなど低圧条件のガス流れの解析ができる希…

■充実した技術サポートにより、シミュレーションが始めての方や実験で忙しい方々も確実に結果を出すことが可能 ◆さまざまな事例に対応◆ ・真空チャンバー内の希薄なガス流れシミュレーション・半導体製造における薄膜生成のシミュレーション・化学蒸着 (CVD)、有機EL (OLED)、分子線エピタキシー (MBE ) ・CVD のような化学反応を含む成膜シミュレーションなどの半...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ウェーブフロント本社
【分析事例】IGZO薄膜のXAFSによる局所構造解析

酸化物半導体中、金属元素の価数・配位数・構造秩序性の評価

透明酸化物半導体のIGZO薄膜はディスプレイ用TFT材料として研究開発が進められていますが、TFT特性の安定性の面で実用に課題が残されております。この課題を解決するためにはIGZO成膜メカニズムの解明が重要です。...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
【分析事例】IGZO 薄膜の結晶性・膜密度評価

酸化物半導体のXRD・XRR分析事例

透明酸化物半導体であるIGZO薄膜はディスプレイ用TFT材料として研究開発が進んでいます。 IGZOは膜の組成・酸素欠損の有無・結晶性で大きく特性が変化する材料でもあり、膜質との相関を考慮することが重要です。加...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
【分析事例】白色LEDのフォトルミネッセンス分析

白色LED中のチップ、蛍光体の発光特性の確認

白色LEDは長寿命・省エネルギーであるため、近年需要が照明用途を中心に急激に増加しています。白色LEDは青色の半導体チップを電気によって発光させ、その発光によって周囲の蛍光体（主に黄色）を光らせることにより白色を演出しています。そのため、発光特性の向上や劣化原因の調査においては半導体チップ・蛍光体それぞれの発光...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
会社案内　株式会社アストロン　半導体業界向けプログラム開発実績

論理設計・レイアウト設計・テスト・解析

株式会社アストロンの半導体業界向けプログラムの開発実績をご紹介します。 ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社アストロン
技術情報誌 202304-03 分離膜のナノ貫通孔径の選択的測定

水銀透過法の概要及び既存手法との比較事例を通じて、水銀透過法が機能層の…

生産トラブルの解決、品質管理等のお役に立つ分析技術の最新情報です。【要旨】サステナブルな社会の実現において、優れた透過性能を持つ膜による省エネで低コストな分離・精製技術の開発がエネルギー、半導体、医療など様々な分野で期待されている。膜の透過性能は細孔構造に支配されるため、高度化した細孔構造を評価するための技術が重要となる。ここでは、東レリサーチセンターが独自に開発した水銀透過法の概要、及...

メーカー・取り扱い企業：株式会社東レリサーチセンター
技術情報誌 201903-01 最先端SIMS分析装置

技術情報誌The TRC Newsは、研究開発、生産トラブルの解決、品…

メージング測定を行うことが可能である。本稿では、NanoSIMS 50Lの装置の特徴と分析事例を紹介する。【目次】１．はじめに２．分析装置の概要３．毛髪断面の分析事例４．SiC半導体デバイスの分析事例５．まとめ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社東レリサーチセンター
走査型マイクロ波顕微鏡法_SMM

Scanning Microwave Microscopy

SMM は、導電性プローブを用いて計測試料を走査し、その凹凸形状を観察します。同時に、マイクロ波を探針から試料に照射して、その反射応答を計測することで、特に半導体の場合にはキャリア濃度に相関した信号を得ることができる手法です。SMM 信号の強度はキャリア濃度に線形に相関するため、定量性が高いことが特徴です。・Si デバイスの場合、1015～1020...
メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
熱抵抗検査装置

半導体及び熱解析技術に裏づけされた、熱抵抗検査装置のご提案

お客様ここの製品ジャンル及びニーズに合ったオリジナル装置をご提案致します。単なる装置の販売ではなく、半導体技術及び熱解析技術の裏づけを基に、最適な仕様提案から測定条件のご提案まで、ソリューションとしてご提案致します。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社Wave Technology
【分析事例】α-アルミナ（α-Al2O3）のTDS分析

セラミックスの昇温脱離ガス分析

熱的に安定なα-アルミナは耐熱材料、半導体パッケージ、半導体製造装置の部品など、幅広い用途で利用されており、中でも緻密質のα-アルミナは真空装置の部材としても用いられます。しかしこのような部材が昇温された際に発生するガスは製品や装...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
応力解析事例　温度サイクル・振動・落下衝撃シミュレーション

問題が発生した製品の一時的な対策だけでなく、次開発品の開発ロスコストの…

因を分析して対策案の提案をさせて頂きます。「落下・衝撃シミュレーション」では、パッケージ構造を考慮したシミュレーション技術で応力分布をふまえた要因分析を行い、対策案の提案をさせて頂きます。 半導体ベンダと協力関係にある実績より、パッケージ構造を熟知しており、シミュレーションと実測との整合性に活かしています。シミュレーション、実装、評価、筐体設計の専門エンジニアによる豊富な知見から信頼性...

メーカー・取り扱い企業：株式会社Wave Technology
装置設計支援の事例

300を超える装置設計支援と多業界・多分野での実績有！装置設計支援の事…

【特長】 ■高電流・電圧ケーブル巻取装置・インフラ・設備関連（評価機） ■細菌検査装置・バイオテクノロジー（検査・評価機） ■RFIDファイバ実装装置・半導体（生産設備） ■クローラロボット・ロボット開発（評価機） ■マイクロ流路チップ・セルソータ・バイオ・光学・医療（ODM装置） ■撹拌・洗浄装置・半導体（生産設備） ※詳しく...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ＡＵＣ
【TEM/SEM/EBSD】断面観察及び構造解析に関する事例集1

金属組織観察や相解析などTEM、FE-SEM、EBSD等による断面観察…

当事例集では『断面観察及び構造解析』にかかる事例についてご紹介します。「線材（ばね材）の金属組織観察」、「2相ステンレスの相解析」、「STEM-EDSによる半導体絶縁膜評価」の目的や手法、結果などを含めた分析事例を多数掲載。他にも、観察や相解析、絶縁膜分析や測定などご紹介しています。ぜひ、ご一読ください。【掲載内容】 ■線材（ばね材）...

メーカー・取り扱い企業：セイコーフューチャークリエーション株式会社
研究開発を強力サポート　「受託分析サービス」

お客様からお預かりした材料・製品の受託分析を行います。前処理から測定ま…

MSTでは各種材料や研究の受託分析、受託解析、受託評価サービスを行なっています。知識豊富な営業担当が、最適な分析プランをご提案！確かな品質と安心のサポートで、お客様に疑問を残しません。 半導体・金属・電池などのエレクトロニクス分野、医薬品・化粧品・食品などのライフサイエンス分野の受託分析・受託解析に幅広く対応します。・分析手法のご相談から承っております。・分析費用のお見...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
SEM前方散乱電子によるGaN欠陥観察

GaNなどのパワー半導体の転位やステップ(微小な段差)、微小方位差が観…

GaNなどのパワー半導体において、原子レベルの欠陥は性能の劣化に影響を及ぼします。EBSD検出器を用いた前方散乱電子の評価により、転位に加えてステップ(微小な段差)や微小方位差の観察が可能となります。 ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社大同分析リサーチ
ソリューション　評価・解析

プロジェクトを成功へ導く　半導体評価集団です。

私たちは、今まで様々な分野の半導体製品を評価・解析してきました。その経験とノウハウをぜひお客様の会社でお役立てください。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社日出ハイテック
パワーサイクル試験（パワーモジュールの信頼性評価）

パワーサイクル試験前後や試験途中における各種測定、観察、解析も一括で実…

【その他の特長】 ■破壊の初期状態を検知し、後工程となる故障解析が容易なサンプルの作製が可能 ■MOSFET、IGBT、SBD、FWDなど、全てのパワー半導体に対応可能 ■同時に16素子までの試験が可能（ただし、試験サンプル・試験条件による） ■試験機を50台保有してるため試験のスケジュール調整が容易 ■ON時間：0.01sec～300sec（0...
メーカー・取り扱い企業：株式会社クオルテック