資料『次世代半導体の今を説く～SiC・GaN解説～』【進呈中！】

PR次世代半導体SiC・GaNの新情報がここに！

エネルギーの効率的な利用と環境への配慮が今後ますます重要となる中で 従来のシリコン半導体よりも優れた特性を持つ次世代半導体が大きな注目を浴びています。 その中でSiC(シリコンカーバイト)・GaN(窒化ガリウム)の特徴や課題を解説しております。 次世代半導体に触れ、未来の製品開発のヒントとなれば幸いです。ぜひご活用ください。 技術革命の先駆けとなる情報が今すぐあなたの手に。お見逃しなく！ ...

メーカー・取り扱い企業： ジェルグループ【株式会社ジェルシステム／株式会社ナカ アンド カンパニー】

エアベアリング ステージ

PRエアステージLBTシリーズ

エアステージLBTシリーズ Class1クリーンルーム対応 ストロークは50ｍｍ～500ｍｍ エンコーダは用途により1um～0.05umまで選択可能 真直度、平面度は0.5um/300mm ピッチング、ヨーイングは±2arc sec コイル、マグネット、エンコーダ無しの状態から全て組込み済み状態での納入も可能 半導体検査装置用途として海外での納入実績は豊富にあり国内では初めての紹...

メーカー・取り扱い企業： TOYO ROBOTICS株式会社

【半導体ガス】 WU-2x 圧力トランスデューサ

【半導体ガス　高純度ガス】 【超クリーン性能　高精度】 【納期…

半導体ガス・高純度ガス 圧力トランスデューサ 圧力センサ 圧力トランスミッタ 高精度モデル...

メーカー・取り扱い企業： ビカ・ジャパン株式会社

超高純度ガス用圧力調整器『S-TORRV50/50SHシリーズ』

一次室の流路にフィルターを内蔵！特に純度の高いガスでも安心してお使いい…

『S-TORRV50/50SHシリーズ』は、半導体プロセスガスラインで絶大な信頼を 頂いているTORR調整器をベースに開発した超高純度ガス用圧力調整器です。 腐食性ガス用として接ガス主要金属部に高耐食性のNi-Cr-Mo合金を使用した ...

メーカー・取り扱い企業： 日酸TANAKA株式会社 産業機器事業部

ローコストデジタルマノメータ　１０／２０シリーズ

空圧機器の測定や制御用の圧力計でレンジは０～０．５ｋＰａから８００ｋＰ…

シリーズ１０／２０は受圧部に半導体圧力センサを使用したローコストの空圧機器の測定制御用デジタルマノメータです。卓上型とパネル取付型が用意されており使用場所に応じて選択できます。豊富な圧力レンジと測定モードが用意されているので各種製...

メーカー・取り扱い企業： エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社　ST事業部

腐食性ガス対応デジタルマノメーター　ＳＳ１０／ＳＳ２０

腐食性ガス対応デジタルマノメーター　ＳＳ１０／ＳＳ２０

ＳＳ１０／ＳＳ２０シリーズは、ステンレスのダイアフラフをもつ半導体圧力センサを使用した液体や腐食性ガス圧の測定、制御用のデジタルマノメータです。卓上型とパネル取付型やセンサ内蔵、外付け型が用意されており使用場所、使用用途に応じて選択できます。豊富な圧力レンジが用...

メーカー・取り扱い企業： エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社　ST事業部

選定ガイド『圧力調整器選定の手引き』

用途に合う圧力調整器が見つけやすい！単位換算や用語解説など基礎知識も掲…

当社が取り扱う様々な圧力調整器(減圧弁)の情報をまとめた 選定ガイド『圧力調整器選定の手引き』を進呈中です。 ガス溶断・溶接、アーク溶接、分析装置、半導体製造など 用途別の分類により気になる製品の情報をスムーズにご覧いただけます。 複雑化が進む圧力調整器選定の効率化に、ぜひお役立てください。 【お役立ちポイント】 ◎豊富なラインアッ...

メーカー・取り扱い企業： 日酸TANAKA株式会社 産業機器事業部

セトラ社　ゲージ圧　絶対圧　気圧　高精度圧力センサ　２７０

モデル２７０圧力センサは０～７００ｋＰａの絶対圧、ゲージ圧を±０．０５…

２７０の安定した高い性能は厳しい精度と高い信頼性を要する半導体露光装置を始め、多くの環境計測、工業用途、研究所、航空宇宙、自動車産業で豊富な実績を重ねています。気圧レンジは気象庁形式認定品です。...

メーカー・取り扱い企業： エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社　ST事業部

超小型デジタル圧力コントローラ　AP160M/CV150シリーズ

AP160Mは、低真空から高真空まで真空プロセス装置に最適です

AP160Mは、比例式ソレノイドバルブの開度をアナログ的に制御することによって、目的配管内の圧力を制御するものです。本装置は、特に半導体に使われるようなクリーンガスに対応できるよう、圧力センサや、接ガス部はオールメタルでできております。CV150シリーズは、比例式ソレノイドバルブの開度をアナログ的に制御することによって、目的配管内...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エー・シー・イー

サニタリー背圧減圧弁。BPRV、MK95シリーズ

サニタリープロセス専用の背圧レギュレーター。材質と構造はサニタリープロ…

ず、また高価なコントロール弁の使用をためらわれる場合に、自力式背圧レギュレーターは良好な制御性と共に経費の削減の両面を達成致します。 <実績・用途> 医薬品、食品、飲料品、化学品、バイオ、半導体プロセスに使用されるポンプ若しくはコンプレッサー出口のバイパス系に使用し、一次圧制御を行います。 設定は手動設定の他に空気圧信号設定型もあり、遠隔操作が可能。 詳しくはカタログをダウンロー...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンコントロールス 「Japan Controls Co. Ltd.」株式会社 東京本社

サニタリー総合製品、　ステリフロー

サニタリー配管系に使用する圧力レギュレーターを初め、背圧弁、スチームト…

ます： ★圧力レギュレーター ★背圧レギュレーター ★コントロール弁 ★ボール弁 ★スチームトラップ ★チェック弁　など <実績・用途> 医薬品、食品、飲料品、化学品、バイオ、半導体プロセスに使用されるポンプ若しくはコンプレッサー出口のバイパス系に使用し、一次圧制御を行います。 設定は手動設定の他に空気圧信号設定型もあり、遠隔操作が可能。 詳しくはお問合せ頂くか、カタ...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンコントロールス 「Japan Controls Co. Ltd.」株式会社 東京本社

室圧制御ダンパ（PCD）

蓄積されたノウハウをシンプルに結実。

｢省エネ｣｢高品質｣昨今、重要なキーワードとなっています。 空調用ダンパ類も同様ですが、 使われる環境にも同様な事が求められています。 特に、医療施設、生産ライン（半導体や医薬品）、 実験室等の環境における相互汚染、清浄度の維持や 危険雰囲気への曝露。 これらを防止、さらに省エネを両立させる為の 制御技術。まずは室圧制御ダンパから・・・。 室圧を直接フィ...

メーカー・取り扱い企業： クリフ株式会社

ジボラン専用圧力調整器『S-TORRV1900シリーズ』

接ガス部のネジ構造を排除！パーティクル低減を実現したジボラン専用圧力調…

本体と継手の接続は溶接、ダイヤフラム部の外部シールにはメタルシール 構造を採用。高い外部シール性により、特に純度の高いガスでも安心して お使いいただけます。 S-TORR調整器は、半導体プロセスガスラインで絶大な信頼を頂いている TORR調整器をベースに開発した超高純度ガス用圧力調整器です。 【特長】 ■ジボラン専用二段減圧式機種 ■接ガス部のネジ構造を排除し、標準で...

メーカー・取り扱い企業： 日酸TANAKA株式会社 産業機器事業部

高純度ガス用圧力調整器『TORR-150シリーズ』

一次側低圧用中流量機種！組立は全数0.3μmクラス1000のクリーンル…

『TORR-150シリーズ』は、接ガス金属部表面粗さがRa0.25μmで、 電解研磨仕様品の製作も可能な高純度ガス用圧力調整器です。 TORRシリーズは長い実績により高い信頼を頂いている"半導体ガス用 圧力調整器の代名詞"とも言える圧力調整器で、Heリークテストを含め、 出荷検査を全数に実施。 一次低圧用の大流量機種として液化ガスの一次減圧や、流量を必要とする 配管で使用する...

メーカー・取り扱い企業： 日酸TANAKA株式会社 産業機器事業部

圧力調整器『TORR-2800/2800SHシリーズ』

一次室の流路にフィルターを内蔵している液化ガス、腐食性ガス用大流量機種

め、出荷検査を全数に実施。 組立は全数0.3μmクラス1000のクリーンルームで行っています。 一次室の流路にフィルターを内蔵し、内部リーク発生を低減しております。 【特長】 ■“半導体ガス用圧力調整器の代名詞”とも言える圧力調整器 ■組立は全数0.3μmクラス1000のクリーンルームで行っている ■一次室の流路にフィルターを内蔵し、内部リーク発生を低減 ■Heリークテスト...

メーカー・取り扱い企業： 日酸TANAKA株式会社 産業機器事業部

高純度ガス用圧力調整器『TORR-50／80シリーズ』

電解研磨仕様品の製作も可能！"半導体ガス用圧力調整器の代名詞"とも言え…

『TORR-50／80シリーズ』は、Heリークテストを含め、出荷検査を全数に 実施している高純度ガス用圧力調整器です。 組立は全数0.3μmクラス1000のクリーンルームで実施。一次室の流路に フィルターを内蔵し、内部リーク発生を低減しております。 一次低圧用の中流量機種として液化ガスの一次減圧や、流量を必要とする 配管で使用する調整器などの用途でお使いいただけます。 【特...

メーカー・取り扱い企業： 日酸TANAKA株式会社 産業機器事業部

圧力調整器・ガス「自動切換化」のご提案※省人化やコスト削減に寄与

ガス代の節約や製品の長寿命化にも寄与する製品を紹介！「ガスの切替を自動…

アップもご紹介！ 【ラインアップ（一部）】 ■溶接用ガス節約器エコプラス ■ネジレンナット連結管 ■小型ガス混合器ミックボーイ ■ガスシャッター ■高純度ガス用SRQシリーズ ■半導体用ERシリーズ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： ヤマト産業株式会社

コネクタ型　圧力センサ　CLシリーズ

コネクタ方式の溶接構造のゲージ圧タイプ

・取扱便利なコネクタタイプ ・半導体方式の圧力センサのため、高精度で耐久性に優れる ・アンプ回路内蔵の４?２０ｍＡまたは１?５Ｖの出力信号 詳細はカタログダウンロードからお問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社センシズ

圧力調整器・流量計・ガス供給装置　総合カタログ（抜粋版）

流量計付一段式圧力調整器 FR‐Iシリーズなど多数掲載！

調整器取付型流量計「NFシリーズ」など、 用途に合わせた幅広いラインアップを掲載しております。 【掲載内容】 ○圧力調整器の選択の指針 ○用途別圧力調整器選定表 ○流量計選定表 ○半導体製造プロセス用圧力調整器　他 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。 ※こちらのカタログは抜粋版になります。 全編必要な方は、お問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ユタカ

超高温（300℃）対応圧力センサー

測定媒体温度が-10℃から最高300℃まで対応

半導体製造ガスラインなどに用いられる(株)ピュアロンジャパン製圧力センサーです。特徴として、測定媒体温度が-10℃から最高300℃（環境温度：-10〜250℃）まで対応しております。ボディへはSUS316L材を採用し接ガス（液）部へは電解研磨処理を施しております。また、ダイヤフラムにハステロイ材を採用しており、非常に優れた耐食性を有します。精度が±1%F.S.と高精度です。さらに真空引きにも対応しており...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ピー・ジェイ

瞬時電圧低下保護装置『UNICap(R)SRT/PFUシリーズ』

大容量電気二重層コンデンサーを採用した瞬低保護装置

二重層コンデンサーに置き換えた瞬時電圧低下保護装置です。 従来の鉛バッテリーに替わって、より環境に配慮したキャパシタを 使用する事により、設備維持のトータル費用の削減が可能。 特に、半導体製造工場等のFAB環境での使用を考慮して この電源はSEMI 2-F47規格に適合するように設計されています。 【特長】 ■グリーンテクノロジー ■フルラインアップ(1kVA～550k...

メーカー・取り扱い企業： ユニロムジャパン株式会社 本社

圧力スイッチセレクションガイド

旭計器工業「圧力スイッチセレクションガイド」

圧防爆形差圧スイッチ 　○微差圧スイッチ 　○差圧スイッチ 　○電子式絶対圧スイッチ 　○指針接点付圧力計 　○マイクロ接点付圧力計 　○圧力スイッチ 　○耐薬品圧力スイッチ 　○半導体用圧力スイッチ 　○ＣＯ２ガス用残圧スイッチ 　○油圧用圧力スイッチ ●詳細は資料請求からお問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業： 旭計器工業株式会社

株式会社ユタカ　水素ステーション向け製品のご紹介

水素エネルギー社会の実現に貢献！水素ステーション向け超高圧機器をライン…

当社は、ガス制御機器の総合エンジニアリング会社として、半導体製造 プロセス分野において培ってきた高い信頼背、技術力、独自のノウハウを 活用し、水素ステーション向け超高圧機器をご提供しております。 ピストン式減圧機構を採用し超高圧に対応した「HPR...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ユタカ

【半導体ガス】 WUD-2x 圧力トランスデューサ

【半導体ガス　高純度ガス】 【超クリーン性能　高精度】 【納期…

半導体ガス・高純度ガス 圧力トランスデューサ 圧力センサ 圧力トランスミッタ 圧力スイッチ 高精度モデル ディスプレイ付き...

メーカー・取り扱い企業： ビカ・ジャパン株式会社

【半導体ガス】 WUD-2x 圧力センサ

【半導体ガス　高純度ガス】 【超クリーン性能　高精度】 【納期…

半導体ガス・高純度ガス 圧力トランスデューサ 圧力トランスミッタ 圧力センサ 圧力スイッチ 高精度モデル ディスプレイ付き...

メーカー・取り扱い企業： ビカ・ジャパン株式会社

【半導体ガス】 WU-2x 圧力トランスミッタ

【半導体ガス　高純度ガス】 【超クリーン性能　高精度】 【納期…

半導体ガス・高純度ガス 圧力トランスデューサ 圧力トランスミッタ 圧力センサ 高精度モデル...

メーカー・取り扱い企業： ビカ・ジャパン株式会社

【半導体ガス】 WU-2x 圧力センサ

【半導体ガス　高純度ガス】 【超クリーン性能　高精度】 【納期…

半導体ガス・高純度ガス 圧力トランスデューサ 圧力センサ 圧力トランスミッタ 高精度モデル...

メーカー・取り扱い企業： ビカ・ジャパン株式会社

【半導体ガス】 WUC-1x 圧力センサ

【半導体ガス　高純度ガス】 【超クリーン性能　高精度】 【納期…

半導体ガス・高純度ガス 圧力センサ 圧力トランスデューサ 圧力トランスミッタ...

メーカー・取り扱い企業： ビカ・ジャパン株式会社

【半導体ガス】 WUC-1x 圧力トランスミッタ

【半導体ガス　高純度ガス　圧力センサ】 【超クリーン性能　高精度…

半導体ガス・高純度ガス 圧力センサ 圧力トランスミッタ 圧力トランスデューサ...

メーカー・取り扱い企業： ビカ・ジャパン株式会社

【半導体ガス】 WUD-2x 圧力トランスミッタ

【半導体ガス　高純度ガス】 【超クリーン性能　高精度】 【納期…

半導体ガス・高純度ガス 圧力トランスデューサ 圧力センサ 圧力トランスミッタ 圧力センサ 高精度モデル ディスプレイ付き...

メーカー・取り扱い企業： ビカ・ジャパン株式会社

【半導体ガス】 WUC-1x 圧力トランスデューサ

【半導体ガス　高純度ガス　圧力センサ】 【超クリーン性能　高精度…

半導体ガス・高純度ガスの圧力センサ/圧力トランスデューサ...

メーカー・取り扱い企業： ビカ・ジャパン株式会社

超高純度ガス用圧力調整器『S-TORRV2300シリーズ』

一次側高圧用中流量機種！一次減圧設備に広くご使用いただいております

『S-TORRV2300シリーズ』は、半導体プロセスガスラインで絶大な信頼を 頂いているTORR調整器をベースに開発した超高純度ガス用圧力調整器です。 接ガス部のネジ構造を排除し、標準で電解研磨を施すことにより、 非常に高い水分置...

メーカー・取り扱い企業： 日酸TANAKA株式会社 産業機器事業部

高純度ガス用圧力調整器『TORR-2300シリーズ』

内部リーク発生を低減！一次減圧設備や蒸気圧の高い液化ガスの一次減圧設備…

『TORR-2300シリーズ』は、電解研磨仕様品の製作も可能な 高純度ガス用圧力調整器です。 TORRシリーズは長い実績により高い信頼を頂いている"半導体ガス用 圧力調整器の代名詞"とも言える圧力調整器で、Heリークテストを含め、 出荷検査を全数に実施。 一次高圧用の中流量機種として「TORR-1300」よりも流量の求められる 一次減圧...

メーカー・取り扱い企業： 日酸TANAKA株式会社 産業機器事業部

高純度ガス用圧力調整器『TORR-30シリーズ』

一次室の流路にフィルターを内蔵！減圧後の設備に幅広く使用可能な圧力調整…

高純度ガス用圧力調整器です。 電解研磨仕様品の製作も可能。組立は全数0.3μmクラス1000の クリーンルームで行っています。 TORRシリーズは長い実績により高い信頼を頂いている"半導体ガス用 圧力調整器の代名詞"とも言える圧力調整器です。 【特長】 ■一次側低圧用標準機種 ■組立は全数0.3μmクラス1000のクリーンルームで実施 ■一次室の流路にフィルターを内蔵...

メーカー・取り扱い企業： 日酸TANAKA株式会社 産業機器事業部

高純度ガス用圧力調整器『TORR-1300シリーズ』

一次側高圧用標準機種！電解研磨仕様品の製作も可能な高純度ガス用圧力調整…

『TORR-1300シリーズ』は、長い実績により高い信頼を頂いている "半導体ガス用圧力調整器の代名詞"とも言える圧力調整器です。 一次室の流路にフィルターを内蔵し、内部リーク発生を低減。 組立は全数0.3μmクラス1000のクリーンルームで行っています。 一...

メーカー・取り扱い企業： 日酸TANAKA株式会社 産業機器事業部

高純度ガス用圧力調整器『TORR-800シリーズ』

半導体ガス用圧力調整器の代名詞！Heリークテストを含め、出荷検査を全数…

『TORR-800シリーズ』は、TORRシリーズで最大級のサイズの圧力調整器です。 通常の圧力調整器と同じ操作感で使用可能な調圧ハンドル式の 「TORR-800Gシリーズ」と、より大きな流量が供給可能なパイロット式の 「TORR-800Mシリーズ」が選択可能。 また、「TORR-800Mシリーズ」よりも更に大流量の供給が可能な 「TORR-800Fシリーズ」もあります。より流量を...

メーカー・取り扱い企業： 日酸TANAKA株式会社 産業機器事業部

超高純度ガス用圧力調整器『S-TORRV02シリーズ』

小型のアウトレットパネルを設計可能！装置への組み込みにも好適な圧力調整…

【その他の特長】 ■半導体プロセスガスラインで絶大な信頼を頂いているTORR調整器をベースに開発 ■接ガス部のネジ構造を排除し、標準で電解研磨を施している ■非常に高い水分置換特性、パーティクル低減を実現 ■Heリー...

メーカー・取り扱い企業： 日酸TANAKA株式会社 産業機器事業部

高純度ガス用圧力調整器『TORR-350シリーズ』

一次側低圧用大流量機種！"半導体ガス用圧力調整器の代名詞"とも言える圧…

『TORR-350シリーズ』は、一次低圧用の大流量機種として液化ガスの 大流量供給設備や大口径配管などでお使いいただける圧力調整器です。 電解研磨仕様品の製作も可能。Heリークテストを含め、出荷検査を 全数に実施しています。 組立は全数0.3μmクラス1000のクリーンルームで行っており、 フィルターを内蔵しておりませんので配管にフィルターを施工ください。 【特長】 ■一...

メーカー・取り扱い企業： 日酸TANAKA株式会社 産業機器事業部

高純度ガス用圧力調整器『TORR-2500シリーズ』

出荷検査を全数に実施！一次室の流路にフィルターを内蔵し、内部リーク発生…

『TORR-2500シリーズ』は、長い実績により高い信頼を頂いている "半導体ガス用圧力調整器の代名詞"とも言える圧力調整器です。 一次高圧用の大流量機種として「TORR-2300」よりも流量の求められる ガス供給設備などで使用可能。Heリークテストを含め、出荷検査...

メーカー・取り扱い企業： 日酸TANAKA株式会社 産業機器事業部

圧力調整器『TORR-3300シリーズ』

ご希望の仕様に合わせて都度製作！Heリークテストを含め、出荷検査を全数…

実施。 フィルターを内蔵しておりませんので配管にフィルターを施工ください。 ご希望の仕様に合わせて都度製作しますので、ご用命の際はお気軽に お問い合わせください。 【特長】 ■“半導体ガス用圧力調整器の代名詞”とも言える圧力調整器 ■Heリークテストを含め、出荷検査を全数に実施 ■一次高圧用の大流量機種 ■最大220m3/h（nor）供給可能 ■フィルターを内蔵していな...

メーカー・取り扱い企業： 日酸TANAKA株式会社 産業機器事業部

レギュレーター『GACRシリーズ』

リーズナブル価格にてご提供可能！エアオペレート操作タイプの減圧制御弁

弁です。 小型ながら安定性を向上したエアオペレート操作タイプ。 流体温度180℃まで使用できる製品があります。 成型化によりリーズナブル価格にてご提供できます。 【特長】 ■半導体業界最小クラスの定圧制御弁 ■高温(180℃)対応製品あり ■エアオペレート操作タイプ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： サーパス工業株式会社 本社

高精度小型絶対圧センサ　CBシリーズ

コネクタ方式、溶接構造のゲージ絶対圧タイプ、高精度小型圧力センサ

・取扱い便利なコネクタタイプ ・半導体方式の圧力センサのため、高精度で耐久性に優れる ・アンプ回路内蔵の４?２０ｍＡまたは１?５Ｖの出力信号 詳細はカタログダウンロードからお問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社センシズ