半導体 | イプロスものづくり

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エアベアリングステージ

PRエアステージLBTシリーズ

エアステージLBTシリーズ Class1クリーンルーム対応ストロークは50ｍｍ～500ｍｍエンコーダは用途により1um～0.05umまで選択可能真直度、平面度は0.5um/300mm ピッチング、ヨーイングは±2arc sec コイル、マグネット、エンコーダ無しの状態から全て組込み済み状態での納入も可能半導体検査装置用途として海外での納入実績は豊富にあり国内では初めての紹...

メーカー・取り扱い企業： TOYO ROBOTICS株式会社
3分で分かる！マンガ「安全で効率的な液体用のサンプル採取方法」

PRサンプル採取の作業時間を大幅に短縮可能！安全性と利便性に追求したデザ…

「1時間程度かかる作業をもっと短縮して効率良くサンプル採取したい」、「作業者や環境への影響を考慮しつつ確実なサンプル採取を行いたい」など、既存設備における手作業でのサンプル採取にお困りの方必見です！スウェージロックの『流体サンプリング・システム』ならサンプル品質を維持しつつ、安全かつ効率的なサンプル採取を可能にします。主に石油化学、ファインケミカル、半導体向け電子材料・薬液のサンプル採取におけ...

メーカー・取り扱い企業：スウェージロック・ジャパン
GasPro PTFE　ガスフィルター　TEM-800シリーズ

あらゆるグレードの半導体プロセスガスとCDAに。ろ過精度0.003ミク…

GasProフィルターは、あらゆるグレードの半導体プロセスガスとCDA（クリーンドライエア）のフィルター用に特別に設計されています。全溶接構造になっており、大流量が必要でスペースが限られているところでも0.003ミクロンのろ過精度を実現しています...

メーカー・取り扱い企業：エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社　ST事業部
GasProオールフッ素樹脂ガスフィルター　TEM-1900

半導体ガスフィルター用、ろ過精度0.003ミクロンの高性能インラインガ…

GasProフィルターは、半導体ガスフィルター用として特別に設計されています。全溶接構造になっており、大流量が必要でスペースが限られているところでも0.003ミクロンのろ過精度を実現しています。メディア材質はPTFE、溶...

メーカー・取り扱い企業：エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社　ST事業部
ガス精製器『THE ELIMINATOR CAG』

室温での操作で優れた性能を発揮！液体源から不活性ガスを精製するのに効果…

【分野】 ■APIMSゼロ点校正 ■半導体産業 ■半導体プロセス装置 ■ガスシリンダーキャビネット ■ガス分析カート ■分析業界、研究開発など ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社エムアイティ
ガスエネルギー・水素製造用パルスジェット式逆洗高温フィルター

焼結されている金属フィルター濾材で主に500℃まで対応可能。素材によっ…

フィルターエレメントの特性を活かし、クリーンエネルギーの分野で活躍するフィルターシステムを提案しています。特に、パルスジェット用ガスフィルターのエレメントとして、 半導体ウェハ向け高純度ポリシリコン、2次電池負極材向け添加材（ナノマテリアル）、石炭ガス化複合発電、ブルー水素製造、ＳＡＦ、バイオマス燃料製造、ＧＴＬ・ＣＴＬ等で活躍しています。【特長】フジ...
メーカー・取り扱い企業：株式会社富士フィルター工業本社
ニューハイミニエアーフィルタ『NHMシリーズ』

中空糸膜フィルタを用いたガスろ過コンパクトフィルタ！ろ過精度なんと0.…

ク継手Φ4、Φ6、Φ8、ねじ接続3/8、Rc1/4をご用意。容易にご採用いただける製品仕様になっています。 ※デモ機貸し出し可能【用途】 ■ガス分析機器の供給エアーのろ過 ■半導体製造装置の供給エアーのろ過 ■医療機器の給気、排気用フィルタ ■食品ブロー用エアーの除菌目的 ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問合せください。...

メーカー・取り扱い企業：日星産業株式会社
インラインセラミックガスフィルター

常に安定した状態で0.003μmの高濾過精度を有するガスフィルターを開…

半導体製造ガスラインなどに用いられる（株）ピュアロンジャパン製インラインセラミックガスフィルターです。水や酸素などの不純物の除去を確実に行うための、200℃の高温ベーキングが可能です。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ピー・ジェイ
ケミカルフィルタ

外気処理、循環処理、排気系等様々な用途で！適切なフィルタをご提案

フィルタ」をご紹介します。活性炭(粒子状活性炭)を基材としたろ材とイオン交換樹脂を使用したろ材を保有しており、外気処理、循環処理、排気系等様々な用途で適切なフィルタを提案。 半導体・液晶工場で問題となっている硫黄酸化物等の酸性ガス、アンモニア等のアルカリガス、フタル酸エステル(例えばDOP)等の有機ガス等各種ガスの除去が可能です【特長】 ■品揃え豊富 ■...

メーカー・取り扱い企業：立石フィルター株式会社
大流量ガスフィルター『HF170シリーズ』

20"と40"の長さが選択可能！LCD及び半導体産業のバルクガスアプリ…

『HF170シリーズ』は、PTFEろ材を採用し、直径を大きく設計したフィルターです。高い捕捉効率が保証できると同時に、大流量を実現し、フィルター交換時間の短縮も可能。更に、PPコアセンターとポリエステルネットカバーと組み合わせた設計のため、フィルターの変形を避けられます。【特長】 ■PTFEろ材を採用 ■直径を大きく設計 ■高い捕捉効率を保証 ■大流量を...

メーカー・取り扱い企業：日本コベッタ株式会社
高純度ガスろ過用フィルター『Gasfenderシリーズ』

0.003μmまでの精密精度！高温高圧の条件でも高精度なガスろ過を実現

『Gasfenderシリーズ』は、電子分野用ステンレス材を採用した製品です。コンパクトな構造で、高温高圧の条件でも高精度なガスろ過を実現。 半導体プロセスのガスろ過に好適です。また、大流量、低圧損で優れた耐化学薬品性があります。【特長】 ■大流量、低圧損 ■電子分野用ステンレス材及び内面電解研磨処理 ■優れた耐化学薬品性 ...

メーカー・取り扱い企業：日本コベッタ株式会社
大気圧イオン化質量分析装置『API-MS』

高純度ガス精製技術、微量ガス不純物測定技術をサポート！

当社は、半導体製造分野、有機EL製造分野及び先端研究分野において、『API-MS』を用いた高純度ガス精製技術、微量ガス不純物測定技術をサポートしています。配管工事の施工実績としては、カミオカンデ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社日本エイピーアイ
集積化ガスシステム対応ガスフィルター

高濾過精度

半導体製造ガスラインなどに用いられる（株）ピュアロンジャパン製集積化ガスシステム対応ガスフィルターです。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ピー・ジェイ
低圧力損失インラインセラミックガスフィルター

濾過精度

半導体製造ガスラインなどに用いられる（株）ピュアロンジャパン製インラインセラミックガスフィルターです。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ピー・ジェイ
『NuPure Gas Purifier OMNIシリーズ』

Sub-ppbレベルまでガス不純物を低減！OMNIシリーズガス精製器（…

【分野】 ■分析器（ゼロ/校正ガス） ■ガス分析カート ■プロセス装置 ■研究開発 ■半導体産業など ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社エムアイティ
ベント用フィルター　ＦＢＡシリーズ

スループットが大幅に向上

半導体製造装置に使用される、(株)ピュアロンジャパン製ベント用フィルターです。ロードロック室(Load lock chamber) や搬送チャンバー(Transfer chamber)等において、真空破壊を行う際に発生してしまうパーティクルの巻上げや過渡的な乱流の発生は、ウェハーへのパーティクル付着やダメージを与える可能性があります。従来は窒素ガスをゆっくり導入するスローベントを行うことで同現象を防い...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ピー・ジェイ
腐蝕性特殊ガス対策用ハステロイC-22ハウジング製

ハロゲン系反応性腐蝕性特殊ガスに対し、耐蝕性が非常に高く極めて優れた性…

半導体製造ガスラインなどに用いられる（株）ピュアロンジャパン製セラミックガスフィルターです。フィルター構成部材には、フィルターハウジングにハステロイC-22を、そしてフィルターエレメントにはセラミックスを使用しております。これら全ての部材は、HBr、HClなどのハロゲン系反応性腐蝕性特殊ガスに対し、耐蝕性が非常に高く極めて優れた性能を発揮いたします。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ピー・ジェイ
大流量セラミックガスフィルター

流量500L/minから3,000L/minまでの一次側バルク・ガスラ…

半導体製造ガスラインなどに用いられる（株）ピュアロンジャパン製セラミックガスフィルターです。 ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ピー・ジェイ
GasPro PTFE　ガスフィルター　TEM-200シリーズ

あらゆるグレードの半導体プロセスガスとCDAに。ろ過精度0.003ミク…

GasProフィルターは、あらゆるグレードの半導体プロセスガスとCDA（クリーンドライエア）のフィルター用に特別に設計されています。全溶接構造になっており、大流量が必要でスペースが限られているところでも0.003ミクロンのろ過精度を実現しています...

メーカー・取り扱い企業：エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社　ST事業部
GasPro PTFE　ガスフィルター　TEM-400シリーズ

あらゆるグレードの半導体プロセスガスとCDAに。ろ過精度0.003ミク…

GasProフィルターは、あらゆるグレードの半導体プロセスガスとCDA（クリーンドライエア）のフィルター用に特別に設計されています。全溶接構造になっており、大流量が必要でスペースが限られているところでも0.003ミクロンのろ過精度を実現しています...

メーカー・取り扱い企業：エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社　ST事業部
GasPro PTFE　ガスフィルター　TEM-300シリーズ

あらゆるグレードの半導体プロセスガスとCDAに。ろ過精度0.003ミク…

GasProフィルターは、あらゆるグレードの半導体プロセスガスとCDA（クリーンドライエア）のフィルター用に特別に設計されています。全溶接構造になっており、大流量が必要でスペースが限られているところでも0.003ミクロンのろ過精度を実現しています...

メーカー・取り扱い企業：エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社　ST事業部
GasPro PTFE　ガスフィルター　TEM-100シリーズ

あらゆるグレードの半導体プロセスガスとCDAに。ろ過精度0.003ミク…

GasProフィルターは、あらゆるグレードの半導体プロセスガスとCDA（クリーンドライエア）のフィルター用に特別に設計されています。全溶接構造になっており、大流量が必要でスペースが限られているところでも0.003ミクロンのろ過精度を実現しています...

メーカー・取り扱い企業：エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社　ST事業部
GasPro PTFE　ガスフィルター　TEM-500シリーズ

あらゆるグレードの半導体プロセスガスとCDAに。ろ過精度0.003ミク…

GasProフィルターは、あらゆるグレードの半導体プロセスガスとCDA（クリーンドライエア）のフィルター用に特別に設計されています。全溶接構造になっており、大流量が必要でスペースが限られているところでも0.003ミクロンのろ過精度を実現しています...

メーカー・取り扱い企業：エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社　ST事業部
GasProオールフッ素樹脂ガスフィルター　TEM-1400

半導体ガスフィルター用、ろ過精度0.003ミクロンの高性能インラインガ…

GasProフィルターは、半導体ガスフィルター用として特別に設計されています。全溶接構造になっており、大流量が必要でスペースが限られているところでも0.003ミクロンのろ過精度を実現しています。メディア材質はPTFE、溶...

メーカー・取り扱い企業：エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社　ST事業部
GasProオールフッ素樹脂ガスフィルター　TEM-1300

半導体ガスフィルター用、ろ過精度0.003ミクロンの高性能インラインガ…

GasProフィルターは、半導体ガスフィルター用として特別に設計されています。全溶接構造になっており、大流量が必要でスペースが限られているところでも0.003ミクロンのろ過精度を実現しています。メディア材質はPTFE、溶...

メーカー・取り扱い企業：エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社　ST事業部
GasProオールフッ素樹脂ガスフィルター　TEM-1100

半導体ガスフィルター用、ろ過精度0.003ミクロンの高性能インラインガ…

GasProフィルターは、半導体ガスフィルター用として特別に設計されています。全溶接構造になっており、大流量が必要でスペースが限られているところでも0.003ミクロンのろ過精度を実現しています。メディア材質はPTFE、溶...

メーカー・取り扱い企業：エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社　ST事業部
GasProオールフッ素樹脂ガスフィルター　TEM-1800

半導体ガスフィルター用、ろ過精度0.003ミクロンの高性能インラインガ…

GasProフィルターは、半導体ガスフィルター用として特別に設計されています。全溶接構造になっており、大流量が必要でスペースが限られているところでも0.003ミクロンのろ過精度を実現しています。メディア材質はPTFE、溶...

メーカー・取り扱い企業：エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社　ST事業部
GasProオールフッ素樹脂ガスフィルター　TEM-1200

半導体ガスフィルター用、ろ過精度0.003ミクロンの高性能インラインガ…

GasProフィルターは、半導体ガスフィルター用として特別に設計されています。全溶接構造になっており、大流量が必要でスペースが限られているところでも0.003ミクロンのろ過精度を実現しています。メディア材質はPTFE、溶...

メーカー・取り扱い企業：エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社　ST事業部
GasProオールフッ素樹脂ガスフィルター　TEM-1500

半導体ガスフィルター用、ろ過精度0.003ミクロンの高性能インラインガ…

GasProフィルターは、半導体ガスフィルター用として特別に設計されています。全溶接構造になっており、大流量が必要でスペースが限られているところでも0.003ミクロンのろ過精度を実現しています。メディア材質はPTFE、溶...

メーカー・取り扱い企業：エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社　ST事業部
GasProオールフッ素樹脂ガスフィルターTEM-900シリーズ

半導体ガスフィルター用、ろ過精度0.003ミクロンの高性能インラインガ…

GasProフィルターは、半導体ガスフィルター用として特別に設計されています。全溶接構造になっており、大流量が必要でスペースが限られているところでも0.003ミクロンのろ過精度を実現しています。メディア材質はPTFE、溶...

メーカー・取り扱い企業：エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社　ST事業部
低圧力損失・高濾過精度セラミックガスフィルター

高濾過精度0.003μmの性能をそのままに、低圧力損失を実現！

半導体製造ガスラインなどに用いられる（株）ピュアロンジャパン製インラインセラミックガスフィルターです。従来のＰＧＦシリーズと全く同じ外形寸法で約2倍の流量を処理できます。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ピー・ジェイ