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24件 - メーカー・取り扱い企業
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特殊ウレタン ※AGVやAMR、半導体製造装置でも採用実績あり!
PR転がり始めの抵抗が40%削減し、省力化にも貢献!重量物の搬送時にも耐荷…
特殊ウレタン『SL-1195P』は、屈指の転がり性能で省力化できる特殊ウレタンゴムです。 ひずみにくさや耐荷重性能に優れ、モーターの小型化、押す人数の削減、 過酷な重量がかかるAGVやAMRなどの車輪への採用実績もございます。 硬すぎず、柔らかすぎず機能性も優れているため、半導体製造装置の部品として採用されております。 一般的なウレタン硬度90度を100とすると、転がり始め...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ソマールゴム
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【コンタミ低減】アウトガスが発生しにくい高真空・耐熱用グリース
PR歩留まりに貢献、真空環境下の潤滑に特化!半導体製造装置内のコンタミを低…
『LOGENEST LAMBDA TKM-03』は、 半導体製造装置などの高真空と耐熱性を有する環境下でも低アウトガスに寄与する特殊グリースです。 高真空(high vacuum)10-1Pa~10-5Pa~超高真空(ultra high vacuum)10-5Pa~10-8Pa向けのグリースとして開発いたしました。 【特長】 ■歩留まりに貢献、真空環境下の潤滑に特化したグリース ■アウトガ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ニッペコ 本社
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半導体をはじめ様々な産業で活躍 高密度/高純度な特殊炭素材料 Si…
高純度黒鉛材料は、半導体製造工程で幅広く使用されています。 さらに、厳選された黒鉛基材の表面にSiCコーティングを施したクリアーカーボンは、エピタキシャル用サセプターや各種治具で使用されており、その優れた特性は国内外で...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社渡辺商行
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石英ガラス製品、石英ガラス加工品「半導体製造プロセスで活躍」
弊社グループ会社にて石英ガラス製品を製造、国内・海外の半導体デバイスメ…
石英ガラス製品は、半導体製造プロセスで幅広く使われている石英ガラスで作られている製品です。 【特徴】 ■お客様のニーズに答えます ・弊社グループ会社で生産することにより、お客様のニーズに則したサービスの提供が...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社渡辺商行
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ウェーハ搬送ロボット(FIロボット)OH修理、コントローラ修理
交換部品は純正部品を使用し、純正手順で検査致します。また、短納期でOH…
半導体製造装置で使用されているウェーハ搬送ロボット(FIロボット)のOH修理、コントローラの修理を対応しております。 ■交換部品は純正部品を使用し、純正手順で検査致します。 ■短納期でOH修理を対応致します。 ■現場(現地)での点検サービスも行っており、ご要望に応じて現場(現地)でのトレーニングも行っております。 ■新品の規格よりも、より厳しい規格でOH修理・検査対応致します。 ※国内...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社渡辺商行
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シリコーンゴム成型品「半導体製造装置」「医療機器用部品」等に好適
シリコーンは耐熱性、耐候性、電気絶縁性に優れており、半導体製造・医療・…
シリコーンゴム中心の成形品は、グループ会社ワコム製作所で製作しております。 異物対策に配慮しクリーンな環境下で製作されており、さらには寸法精度が高いため、 半導体製造装置および医療機器用部品に適しております。 【特徴】 ■半導体製造工程装置および医療機器部品に好適 ・異物対策に配慮し材料練り~梱包に至るまでクリーンな環境下で物作りをしています。 ■製品...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社渡辺商行
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半導体製造装置制御装置 仮想化システム「レガシー製品延命に寄与」
サポート終了の半導体製造装置の長期使用・保守改善・メンテナンスの救世主…
レガシーデバイス、旧 DEC社製PDP,VAX, Alpha,DMCCのミニコン/ワークステーションを搭載している半導体製造装置の制御装置を仮想化するシステムです。 既存のアプリケーション・OSを現代の安価で高性能な標準PC上で長期にわたり安定運用出来るように、そのまま置き換える事が可能です。 【特徴】 ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社渡辺商行
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炭化けい素セラミックス(TPSS)「高純度、高強度、高耐食性」
高純度、高強度、高耐食性を兼ね備えた半導体製造プロセスに欠かせない半導…
高純度炭化けい素を主成分とするTPSSは、クアーズテック社独自の技術により開発された半導体関連材料です。 半導体熱処理炉用炉芯管をはじめ均熱管、ボート、フォークなどに応用されています。 【材料】 高純度反応焼結炭化ケイ素 TPSS 【特徴】 ・高温から低温プロセ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社渡辺商行
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ガラス状カーボンは炭素材料の一種であり、半導体製造装置用部品に使用実績…
ス状カーボンは、一般的な炭素材料の特性である、耐薬品性、耐腐食性、耐熱性、導電性に加え、気体、液体の不透過性、等方性、耐酸性、発塵が無いといった特性を有しています。 これらの優れた特徴から、主に半導体製造装置に使用される部品として用いられています。 【ガラス状カーボン共通の特徴】 ・耐薬品性、耐腐食性、耐熱性、導電性、無発塵 ・気体・液体の不透過性 ・高純度 (製造過程におい...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社渡辺商行
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半導体熱処理や工業用熱処理まで、各種形状、各種発熱体に対応、高温炉に対…
加熱に適した電気炉でゾーン制御(※)を行うことにより、 精密な温度制御や温度勾配が可能な電気炉となります。 ■御要望の電気炉を一台から製作可能 ・小型精密管状炉に使用している小口径から半導体製造装置(拡散炉)や工業用に使用される大口径 のものまで様々な管状炉を製作しています。 ■カンタル(高温使用できる合金)を耐熱材料や耐熱金具としても加工致します。 (※)ゾーン制御 炉内...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社渡辺商行
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インライン・ガスフィルター CEPURE「より高いガス置換特性」
圧力損失を低減するデザインと共に、ろ過特性、ガス置換特性等ガスフィルタ…
、理想的なフィルターメディアです。 【特徴】 ・優れたガス置換特性 ・高耐食性 【仕様】 材料:アルミナ多孔体(エレメント部)/SUS/ニッケル/PTFE 【用途】 各種半導体プロセス用インラインガスフィルター ※詳しくはお問い合わせ下さい。...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社渡辺商行
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石英管洗浄装置(HTC/VTCシリーズ)「薬液、純水削減に貢献」
縦型洗浄装置(VTCシリーズ)は省スペースで「薬液・純水削減」に貢献。…
スペースで「薬液・純水削減」に貢献 ・縦型式(VTCシリーズ)は、省スペースで「薬液・純水削減」に貢献 ■カスタマイズ対応可能 ■世界トップクラスの納入実績(400台以上) ・国内外 半導体デバイスメーカー/シリコンウエハメーカーへ世界トップクラスの 納入実績(400台以上)あり ■豊富な関連装置の取り扱い経験 ・石英ボート洗浄装置、石英パーツ洗浄装置、石英保管庫、石英搬...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社渡辺商行
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修理箇所の特定・部品交換対応で製品購入より大幅なコストメリットあり。 …
古い設備や装置に使用されている電子・産業用機器は現在入手困難な物が多く、入手できたとしても価格が非常に高騰しております。 弊社ではご使用されている機器をお預かりし故障個所の特定・対象箇所の部品交換、修理対応を行う事で、安価で安定的な供給を実現しております。 【特徴】 ■故障個所の特定・部品交換により低価格を実現 修理前に事前に故障診断を実施し、故障個所の及び交換部品を特定し、修理費用を...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社渡辺商行
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高温炉用熱電対(半導体製造装置向け)「高精度な温度測定機能」
高精度な温度測定機能により、熱処理工程の温度制御に好適!
高温炉での熱処理工程の温度制御・温度測定用センサとしてご使用頂いております。 【特徴】 ・新品の製作はもちろん、お使いの各種熱電対の改鋳も承っております ・専用のクリーンルームにて生産しています ・高精度を実現します 厳選された素線(高純度材料)を用い、全数温度試験を行い、専用の梱包箱にて出荷いたします ・高温炉内温度を正確に測定いたします ・最先端装置に搭載されて...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社渡辺商行
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スピンタイプ洗浄装置WULFシリーズ「高精細フォトマスク対応」
機能水を使用したスピン洗浄ユニットを装備!RCA洗浄液に変わる洗浄液・…
・機能水を使用したスピン洗浄ユニットを装備 ・洗浄面への洗浄液高速拡散 ・ウォーターマークレス乾燥 【用途】 ・フォトマスク/レチクル/マスクブランクスメーカーでの製品洗浄 ・半導体デバイスメーカーの露光前レチクル洗浄 ・半導体デバイスメーカー内製マスクライン(マスクショップ)での製品洗浄 【納入実績】 ・国内外マスクブランクス/フォトマスク/レチクルメーカー ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社渡辺商行
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高純度アルミナセラミックスADS「電気絶縁性、高強度、耐摩耗性」
ADSアルミナセラミックスは、吸水率が0.01%以下と非常に緻密な焼結…
01%以下と非常に緻密な焼結体です。 【特徴】 ・各種産業用構造部品として幅広く利用 ・吸水率が0.01%以下と非常に緻密な焼結体 ・優れた電気絶縁性、高強度、耐摩耗性などの特性 ・半導体やFPD製造用部材としての用途が拡がっている ・酸・アルカリやハロゲンプラズマに対して高い耐食性を有する 【ADSの用途】 ・エッチング、アッシング装置用部品 ・CVD装置用部品 ・...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社渡辺商行
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ガラス状カーボンコートは、黒鉛材料に独自の樹脂をコーティングし、これを…
ガラス状カーボンコートは、黒鉛材料に独自の樹脂をコーティングし、これを焼成することでガラス状カーボンの被覆層を形成する技術です。 この技術により、半導体製造装置用部品にコーティングすることで、部品からのパーティクル発生を抑えることができます。 【特徴】 ・黒鉛材料のダスト発生を抑えます。 ・黒鉛材料表面だけでなく内部まで浸透しています。...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社渡辺商行
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優れた耐食性と物理特性がラインの信頼性を築きます!
CERASIC常圧焼結SiCセラミックスは耐磨耗・耐食性が要求される機械部品に最適な材料です。 半導体及びFPD製造用部材としても様々な用途開発が進められており、高純度品としてCVD被膜を施した製品の供給も可能です。 【特徴】 ・高強度 ・高耐摩耗性 ・高耐食性 ※詳しくは...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社渡辺商行
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レチクルケース(フォトマスクケース)「クリーンな環境での使用可」
露光装置及び、周辺装置用のレチクルケース。主要露光装置メーカーの露光装…
レチクルケース(フォトマスクケース)は、半導体の製造工程で使用されるレチクルを保管するケース。主要露光装置メーカーでの露光装置に使用可能。 【特徴】 ■高帯電防止性能 高帯電防止性能により、静電気等も安心 ■低アウトガス・低汚染...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社渡辺商行
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高生産性連続式常圧CVD(APCVD)装置 (AMAX800V)
量産向け NSG(SiO2)/PSG/BPSG膜成膜用 高生産性 連続…
メタルコンタミネーション)対策 ・シンプルメンテナンス ・低CoO(低ランニングコスト) 【用途】 ・エピタキシャル(Epitaxial)ウェハ用バックシール(NSG) ・パワー半導体用層間絶縁膜(NGS/PSG/BPSG) ・拡散/インプラ用ハードマスク, 犠牲膜(NSG) ・パッシベーション膜(保護膜・絶縁膜)(NSG) ※詳しくはお問い合わせいただくか、カタ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社渡辺商行
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少量・多品種向け NSG(SiO2)/PSG/BPSG膜成膜用 枚葉式…
取得済)によるSiCウェハ対応 ・低負荷・長周期メンテナンス ・コンパクト筐体とミラータイプとの隣接設置による省スペース対応 ・低CoO(低ランニングコスト) 【用途】 ・パワー半導体用層間絶縁膜(NSG/PSG/BPSG) ・拡散/インプラ用ハードマスク, 犠牲膜(NSG) ・パッシベーション膜(保護膜・絶縁膜)(NSG) ・光導波路(NSG/BPSG) ※...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社渡辺商行
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小規模生産・開発用常圧CVD(APCVD)装置 (D501)
試作・開発・小ロット生産向け NSG(SiO2)/BSG/PSG/BP…
数枚ウェハをマニュアル装填し、トレーがディスパージョンヘッド(ガスノズル)下を往復させ成膜を行います。 常圧CVD(APCVD)の特色はそのまま、手軽に成膜が可能す。 ●納入実績 ・国内外半導体デバイス/オプトデバイスメーカー ・大学/研究機関 ●装置サイズ(mm): 1200mm(W) x 2480mm(D) x 1940mm(H) ●ガス種: SiH4/O2系 (SiH4/P...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社渡辺商行
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FPDなどリジット/フレキシブルデバイスに対応した4.5世代ガラス基板…
2膜の形成: 低ストレス、プラズマダメージレス、小パーティクル ・導入・維持コストの削減: 小フットプリント、真空・プラズマ処理不要 【用途】 ・FPD向け絶縁膜(NSG) ・酸化物半導体TFT パッシベーション膜(NSG) ※詳しくはお問い合わせいただくか、カタログをダウンロードしてご覧下さい。...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社渡辺商行
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二珪化モリブデン(MoSi2)ヒーター 最高1800℃使用可能!
二珪化モリブデンヒーター: 繰り返し使用が可能で高寿命、お客様に合わせ…
使用が可能です。 ・取付取り外しが容易です。 ・温度制御がし易く、反応が早い為、炉内の特定の箇所を均等に加熱することが出来ます。 ・お客様の炉の仕様に合わせた設計が可能です。 ※半導体メーカー、光学メーカーに実績あり ※詳しくはお問い合わせ下さい。...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社渡辺商行
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SMIF POD(マルチ/シングルタイプ)「SEMI規格準拠」
徹底した静電対策によるレチクル保護と、独自機構によりレチクルの磨耗と取…
SMIF ポッド(SMIF POD) (マルチ/シングルタイプ)は半導体前工程のリソグラフィー工程でレチクルを保護するために使用されます。 【特徴】 ■剛性、耐久性が強化 ・金属製の為、従来の樹脂製に比べて、剛性、耐久性が強化されています。 ■低発塵、洗...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社渡辺商行
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高純度アルミナセラミックス(SAPPHAL) 過酷な条件に耐える
F系プラズマ雰囲気下、過酷な条件に耐える強者!
光線のほとんどを拡散透過するためナトリウムランプなどの照明用部材として使用されてきました。クアーズテック社では透光性アルミナセラミックスのもつ純度の高さ、フッ素系ガスに対する優れた耐食性に注目し、半導体装置用部材としての新しい用途を開発しました。SAPPHALは高純度であると同時に、気孔の無い真密度に極めて近い緻密性と結晶粒径の揃った均一な組織構造をもつため、プラズマ雰囲気の過酷な環境に耐えるこ...
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