防湿庫『ドライ・キャビ』／恒湿保管庫『ウエット・キャビ』

PR“超低湿度保管”が可能な省エネ機能付き防湿庫＆給水なしで加湿できる恒湿…

当社では、湿度管理に役立つ製品をラインアップしています。 ＜防湿庫『ドライ・キャビ』超低湿度型ＨＹＰシリーズ＞ 超高速除湿型のHYPシリーズと高速除湿型のDUSシリーズを用意しています。 ■1％RH以下の超低湿度を保持可能 ■湿度設定と自動省エネの機能が付いて更に高性能化 ■使いやすい全面ワイドドアで横長のものも出し入れ簡単 ■庫内に100V電源用差し込み口付き ■ドライユニット...

メーカー・取り扱い企業： トーリ・ハン株式会社

歩きながら現場環境を3Dデータ化『WalkTHERE』

PR歩きながら周辺空間をその場で3Dデータ化！機器を装着して計測開始し、現…

『WalkTHERE』は歩きながら周辺空間をその場で3D点群化できる製品です。 セルフィー型をはじめ、タブレット一体型、ヘルメット装着型をご用意。 機器一式を装着して計測開始し、1フロアを数分で計測完了します。 現在、“平面直角座標値“連携機能を開発中です！ 【使用手順 】 ■機器一式を装着して計測開始 ■現場を歩きながらリアルタイム計測 ■1フロアを数分で計測完了 【用途...

メーカー・取り扱い企業： Haloworld株式会社／カンテック株式会社

【infiTOFアプリケーション事例】ガス分析

高分解能を有しリアルタイム測定が可能！窒化物半導体プロセスの研究開発に…

高分解能飛行時間型質量分析計『infiTOF-UHV』の アプリケーション事例をご紹介いたします。 名古屋大学 天野研究室の新田州吾准教授らの研究では、『infiTOF-UHV』を 使用して、MOVPE反応炉の排気ライン内のNH3、およびその関連する反応物質を モニターすることで、プロセスメカニズムの解明の研究を行っています。 【分析例】 ■MOVPE反応炉のNH3およびその関...

メーカー・取り扱い企業： カノマックスアナリティカル株式会社

【infiTOF】半導体プロセスガスモニタリングソリューション

飛行時間型高分解能質量分析計で、プロセスガスのin-situモニタリン…

半導体プロセスには結晶成長(エピタキシャル成長)、成膜(CVD,ALD)、 エッチング、クリーニングなど様々な工程があります。 また、これらのプロセスでは多種の原料ガスが使われております。 プロセスチャンバー内における反応生成物、分解物、残留成分を リアルタイムでモニタリングすることにより、歩留りの向上、生産性の向上、 さらには次世代に向けた半導体研光開発に貢献することができます。...

メーカー・取り扱い企業： カノマックスアナリティカル株式会社