プリント基板 設計・製造サービス

PRプリント基板1枚から製造対応可能！国内はもちろん海外基板メーカーからも…

当社で実施している『プリント基板 設計・製造サービス』をご紹介します。 データを頂ければ、最短日数で片面1日、両面2日、多層4日で製造が可能。（さらに短縮も可能） ご予算に応じて、ご希望の仕様に仕上げます。 他にも当社では実装部品調達・部品実装やシミュレーション対応などの取り扱いも ございます。不明点など何でもお気軽にお問い合わせください。 【主な基板の種類】 ■リジッド基板（2層極薄～高多...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社東海

マスクレス半田ボール搭載機「ソルダバウンサー」

PR振動技術を採用したはんだボール搭載装置！最小φ80μmのボール搭載可能…

マスクレス半田ボール搭載機「ソルダバウンサー」は振動技術を採用した はんだボール搭載装置です最小φ80μmのボール搭載が可能。研究開発、 少量サンプル作製に適した製品となっています。 【特長】 ■印刷機と比較し場所を取らない ■マスクレスなので定期的なマスクの交換も不要 ■定常波振動を利用したはんだボール打ち上げ ※詳細はお問い合わせいただくか、PDFデータをご覧ください。....

メーカー・取り扱い企業： マイクロ・テック株式会社

自動フォトレジスト塗布装置（スピンコーター）Coater

レジスト膜の面内均一性やウエハ間の平均膜厚の差が少ないコーターです。低…

ネガレジスト、ポリイミド、SOG、WAX、シリコーンなど、多彩な薬液に実績があります。 Si（シリコン）、GaAs、InP、GaN、SiC、サファイア、セラミック、SiO2（ガラス）など多数の基板搬送実績もあります。 GaAs（厚み150um）、InP（厚み150um）、LT（厚み120um）など薄い基板の搬送実績も多数あります！ 設計から製造・販売まで自社で行っているので、低価...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

ロール・スプレーコーターの置き換え！回転カップ式レジスト塗布装置

多彩な薬液に実績あり！低価格の理由は、設計から販売まで自社で行っている…

当社の装置はロールコーターやスプレーコーターなどで塗布するような基板でもスピンコーティングで処理をすることができます！ 細長い長方形の基板や正方形に近い角基板、段差のある基板や厚膜などでもスピンコーティングで塗布ができる回転カップ式塗布装置です（特許取得済み）...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

インナーカップ式スピンコーター

インナーカップ方式による面内分布の向上と塗布液の軽減 安価な価格設定…

【装置仕様】 ・ 基板サイズ ：MAX２００mm□基板（対角300mm以内） ・ 基板の受渡し方法 ：人手によるセット/リセット ・ 装置重量 ：約50Kg 【ユニット構成】 ...

メーカー・取り扱い企業： ブルーオーシャンテクノロジー株式会社

研究・開発実験用　RFスパッタ装置

実験目的にあわせたカスタマイズが可能。小型RFスパッタ装置

!!＞ 1．試料サイズに合わせ3種類のチャンバーをご用意 2．カソードサイズは2〜6インチに対応 3．2インチカソードタイプは3源式にも対応　＝　薄膜の積層を実現 4．多彩なオプションをご用意 　　基板加熱ユニット/基板冷却ユニット/MFCユニット etc....

メーカー・取り扱い企業： サンユー電子株式会社

スピン洗浄装置　自動フォトリゾ装置 JASC-1200AD型

対象ワークは200mm□基板又はφ300mm基板に適用します！

レー現像を自動で行う装置です。勿論工程の選択も出来ます。ローダー、アンローダーも同一側でオペレーター1人で作業が出来ます。工程間の搬送は多関節ロボットを採用しています。本機の対象ワークは200mm□基板又はφ300mm基板に適用します。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社

スピンコーター（有機EL用）

装置ラインナップ スリットコーター、スピンコーター、ディップコーター…

【装置ラインナップ】 　スリットコーター、スピンコーター、ディップコーター、卓上コーター 【コーターの特徴】　　 ・10mm□～G8基板サイズまで可能です。 ・薄膜から厚膜（1～500μm程度）まで均一性に優れた塗布精度の高いコーターです。 ・各種装置のテスト機にてご評価頂けます。 ・低粘度から高粘度（数cp～5,000cp...

メーカー・取り扱い企業： ブルーオーシャンテクノロジー株式会社

レンタル用小型スリットコーター

実験・開発用スリットコーター ・基板サイズ：200mm□ ・レンタ…

レンタル専用スリットコーター！ 受託加工（成膜・塗工）も対応可能 対応基板サイズ（MAX）：200mm□×0.4～1.1mmt 対象ワーク：ガラス基板・フィルム・シート 貸出期間：１ヶ月～6ヶ月間 【装置特徴】 ・基板サイズ：200×200×0.4～1.1mm...

メーカー・取り扱い企業： ブルーオーシャンテクノロジー株式会社

スピンコーター ACT-300A2 レンタル

株式会社リブテラステクノロジーズでは、アクティブ社製スピンコーターほか…

基板サイズ：～Φ150mm （Max.Φ6インチ、□110ｍｍ) ワーク（基板）の重量：300ｇ以下 カップ内径：Φ300mm 外形寸法：W350×D450×H扉閉325(扉開640)mm 電源：1Φ 100V-10A　50 / 60Hz 回転制御速度：0～6000rpm 回転精度：±1rpm以下 (負荷時) 基板吸着圧力：-70 ～ -80kPa 真空ポンプ排気量：12L/min以上...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社リブテラステクノロジーズ

水平式連続両面スプレーコーター

基板を水平搬送するためのクランプハンドが任意の位置で反転可能！

当社では、液状フォトソルダーレジストインキを水平搬送されてくる 基板に対して、上部よりエアー霧化式スプレーガンにより、搬送方向と 直行する軸上をスキャニングしながらコーティングする装置 『水平式連続両面スプレーコーター』を取り扱っております。 表面塗布後は...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社柳田技研

2サイズ兼用自動レジストコーター・デベロッパー（塗布・現像）

段取り替え不要、2サイズのウエハ兼用装置です。 低粘度～高粘度レジス…

ネガレジスト、ポリイミド、SOG、WAX、シリコーンなど、多彩な薬液に実績があります。 Si（シリコン）、GaAs、InP、GaN、SiC、サファイア、セラミック、SiO2（ガラス）など多数の基板搬送実績もあります。 GaAs（厚み150um）、IｎP（厚み150um）、LT（厚み120um）など薄い基板の搬送実績も多数あります！ 【特長】 ■段取り替え不要で、2サイズウエハ処...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

レンタル専用スピンコーター（卓上タイプ）

業界初！レンタル専用スピンコーター 簡易インナーカップ方式 小型・…

業界初！レンタル専用スピンコーター 受託加工（成膜・塗工）も対応可能 対応基板サイズ（MAX）：250mm□・300mmウエハ 対象ワーク：ガラス基板・シリコンウエハ・フィルム 貸出期間：15日間～1年間以上 テーブル制作、自動供給ラインなどのオプションあり 小型・卓...

メーカー・取り扱い企業： ブルーオーシャンテクノロジー株式会社

株式会社エイブルジャパン　取扱製品 総合カタログ

フォトマスクを洗浄する「マスク洗浄装置」などを紹介します。

株式会社エイブルジャパン　取扱製品 総合カタログでは、中央に搬送ロボットを設置し、各ユニットを放射線状に配置するタイプの「マスク洗浄装置（自動タイプ）」や、投入された基板に自動で塗布～乾燥まで行う装置「オートスピンコーター」、ウェハーの洗浄を行う装置「スピンクリーナー」、カセット内の基板受渡しを行う装置「LD／ULD」、塗布後の基板を乾燥する装置「UV照射装置」等、...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイブルジャパン

MAX400℃！高温ベーク対応レジスト塗布装置（スピンコーター）

BARCやその他薬液をスピン塗布後、MAX400℃でベーク可能！高温ベ…

リイミド（PI）、シリコーン、SOG、WAXなどなど多数の薬液に実績ございます！ シリコン（Si）、サファイア、セラミック、LT、GaAs、InP、GaN、SiC、SiO2（ガラス）など多数の基板搬送実績もあります。 GaAs（厚み150um）、IｎP（厚み150um）、LT（厚み120um）など薄い基板もご安心ください！ 【特長・強み】 ■お手頃価格を実現 ■ウェハサイズ自...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

フォトリソグラフィー装置　ME-2500

有機EL等の基板製造装置に最適！

基板を受取りスピンコートに手動で搬入され、レジストのスピンコート、EBR装置による洗浄、ベークユニット装置によるプリベーク・ポストベーク及びクリーニングを行い、現像装置により現像を行い、手動で基板の取り出しを行う装置です。...

メーカー・取り扱い企業： マック産業機器株式会社 テクノロジーセンター

フィルム塗布受託テスト

10mm□～G8基板の受託が可能 小ロットの特注対応 多彩なニーズ…

力でサポート致します。 コーティング・印刷・ラミネートの技術力・提案力・行動力を生かし お客様にとって安心・信頼できる ビジネスパートナーとなることを目指しております。 １．10mm□～G8基板の受託加工が可能です。 ２．お客様のニーズにお応えするために、共同開発や試作加工、小ロットの特注など柔軟に対応いたします。 ３．テスト装置の販売、レンタルも行えますのでお客様の用途、環境に合わせ...

メーカー・取り扱い企業： ブルーオーシャンテクノロジー株式会社

スリットコーター（G6サイズ）

塗布の均一性を追求した精密コーティング 粘度：数cp～10,000c…

【装置特徴】 対象基板：G8サイズ 塗布材料・粘度 ・各種薬液、レジスト、樹脂系など ・粘度：数cp～10000cp ・膜厚：1～100μm 主要用途・実例 ・大学、研究開発機関、産総研・素材、材料開発・精密...

メーカー・取り扱い企業： ブルーオーシャンテクノロジー株式会社

コーティング受託テスト（精密塗工）

短納期・小ロットでも対応可能です。 経験豊富な技術者による対応。 …

・経験豊富な技術者によるトータルソリューション ・塗布の均一性を追求した精密コーティング ・スピンコーターの貸出レンタルも行えますので、お客様の用途、環境に合わせてご提案いたします。 対象基板・ワーク ガラス：10mm□～200mm□・400×500mm ウエハ：Φ2インチ～Φ300mm 機能性フイルム：MAX400×500mm 光学レンズ・精密小型部品など 塗布材料・粘度 ...

メーカー・取り扱い企業： ブルーオーシャンテクノロジー株式会社

【総合カタログ無料プレゼント】ディップコーター、ナノインコーター

実験・開発用卓上ディップコーター(ディップコーティング装置)、ナノイン…

たBOX とナノインコーターとの一体型装置、 ワーク表面に離型剤を定着させるナノインコーター（円筒型対応）、 ハイスペックのクリーン度を要求される方に最適な超音波洗浄槽付き洗浄装置、 プリント基板製造工程で、ドライフィルムに代わるパターンレジストを板状の 銅板に連続塗布、乾燥、冷却を自動で行う全自動ディップコーティング装置など 幅広く取り揃えております。 その他詳細は、カタログをダ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ＳＤＩ

スピン洗浄装置　卓上型マニュアルスピンコーター

【デモ機貸し出し可能！】300mm□ガラス基板対応の卓上型マニュアル式…

卓上型マニュアルスピンコーターは、300mm□ガラス基板対応の卓上型マニュアル式です。 条件設定は操作パネルのタッチパネルで行います。 各処理モード中はタッチパネル上に各モードが表示されます。 詳しくはお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社

スリットコーター（200mm□用）

実験用小型スリットコーター ・基板サイズ：200mm ・粘度：数c…

【装置特徴】 ・基板サイズ：200×200×0.4～1.1mmt ・ステージサイズ：230×230mm ・膜厚：0.5～100μm ・薬液系統：1系統 ・粘度：数cps～10,000cps ・ノズル上下駆動：...

メーカー・取り扱い企業： ブルーオーシャンテクノロジー株式会社

卓上式ホットプレート

軽量・コンパクトな卓上タイプ

【装置特徴】 基板サイズ：MAX370×470mm 温度範囲：MAX200℃ ホットプレートGAP：0.3mm（プロキシタイプ） 主要用途・実例 ・大学、研究開発機関、産総研・素材、材料開発・精密部品、光学部...

メーカー・取り扱い企業： ブルーオーシャンテクノロジー株式会社

モジュール／チップレベル・コーター『CLシリーズ』

【Twin-air】半導体後工程、電子部品組立工程などに！高品質・高信…

ールのワークに 対応するチップレベル・コーターです。 ドットをはじめ、ライン、ベゼル、ピラー、円、塗り潰しなど、 様々な形状塗布が可能。 この他に、4,6,8,12inウエハ、ガラス基板に対応できる「CLシリーズ」と 4inウエハ、各種ワークに対応の「ESシリーズ」も取り扱っております。 【対応内容（一部）】 ■高スループット ■ガードリング、ダム形成 ■チップ、電極...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エンジニアリング・ラボ

小型実験機で高精度を実現　スリット式塗布装置　リサーチコータ

様々な塗布条件や材料に柔軟に対応、高精度な塗布均一性を実現したコンパク…

液晶や有機ELディスプレー製造工程の要となる『コーターデベロッパー』は、最大で約3m角の巨大なガラス基板に薬液を高速かつ１マイクロメートルレベルで均一に塗布現像する装置で、当社は世界トップシェア（※）を獲得しています。（※アレイ用コータ―デベロッパー、2022年当社調べ） 『リサーチコータ』は、この...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社SCREENファインテックソリューションズ

MEMS・半導体パッケージ用塗布装置

最先端のMEMS・半導体パッケージプロセスをはじめ、各種実装プロセスに…

布装置】 ウエハ・ディスクなどの円形基材に塗工液を無駄にせず非接触で一括塗工できるコータです。 高粘度液や厚膜などスピンコータでは難しい塗工が可能です。 【精密スプレー塗布装置】 多様な基板へのコーティングをスプレー方式で簡単に実現できます。 少ない材料で簡単にスプレーコーティングサンプルが製作できます。 凹凸基板、厚膜、有機材料など多彩なワーク、材料、プロセスに対応。 ...

メーカー・取り扱い企業： ブルーオーシャンテクノロジー株式会社

スピン洗浄装置　高性能型減圧式スピンコーター

【デモ機貸し出し可能！】N2置換、溶剤ガス導入、真空状態、等自動で行い…

高性能型減圧式スピンコーターは、各種基板にレジスト液を自動でスピンコートする装置です。 チャンバー内の雰囲気をコントロールして、均一な高精度のコートができる様、技術が盛り込まれています。 即ちN2置換、溶剤ガス導入、真空状態、等自動で...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社

自動塗布・露光・現像一貫プロセス装置（フルオートリソグラフィ）

レジスト塗布～露光～現像処理を一気通貫。自動で処理可能な装置です。フォ…

対応レジストは、ポジ・ネガレジスト、ポリイミド、など、多彩な薬液に実績があります。 Si（シリコン）、GaAs、InP、GaN、SiC、サファイア、セラミック、SiO2（ガラス）など多数の基板搬送実績もあります。 露光工程は、オートアライメント機能搭載可能 ポジ・ネガ反転工程にも最適です。 【特長】 ■フォトリソ工程を自動一括処理 ■低価格を実現 ■低～高粘度（1.7...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

In-Line Sputtering System

平板ガラス基板の上に薄膜をコーティングする装備

In-Line Sputter Systemは平板ガラス基板の上に薄膜をコーティングする装備で連続的な大量生産に最適な競争力を持ちます。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ＳＵＫＷＯＮ

ラボ用、高精度スリットコータ『リサーチコータ』LC-R300G

企業や大学の研究室等での実験用途に！様々な塗布条件や材料に対応し、高精…

液晶や有機ELディスプレー製造工程の要となる『コーターデベロッパー』は、最大で約3m角の巨大なガラス基板に薬液を高速かつ１マイクロメートルレベルで均一に塗布現像する装置で、当社は世界トップシェア（※）を獲得しています。（※アレイ用コータ―デベロッパー、2022年当社調べ） 『リサーチコータ』は、この...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社SCREENファインテックソリューションズ

Batch Type Sputtering System

一つのチャンバーに基板を搭載して生産する方式

Batch Type Sputtering Systemは一つのチャンバーに基板を搭載して生産する方式で多くのコスト削減が実現できます。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ＳＵＫＷＯＮ

厚さ100um！極薄ウェーハ搬送自動レジスト塗布装置　コーター

GaAs、LT、ガラスなどの脆くて薄いウェーハでの搬送・塗布での実績（…

ウェーハソーター）の作製実績など、薄くて割れやすい（脆い）ウェーハの搬送に自信があります。 GaAs、LT（タンタル酸リチウム）、ガラス（石英）、GaN、サファイア、Si、セラミックなど多数の基板に対応可能です。 また、薄いウェーハでは塗布時の面内均一性がバラつきやすいですが、チャックなどを工夫することでかなり改善できます。 当製品は、スピンコーティング、HMDS処理、ベーク、ク...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

小型で高精度！スリットコータ『リサーチコータ』LC-R400G

企業や大学の研究室等での実験用途に！様々な塗布条件や材料に対応し、高精…

液晶や有機ELディスプレー製造工程の要となる『コーターデベロッパー』は、最大で約3m角の巨大なガラス基板に薬液を高速かつ１マイクロメートルレベルで均一に塗布現像する装置で、当社は世界トップシェア（※）を獲得しています。（※アレイ用コータ―デベロッパー、2022年当社調べ） 『リサーチコータ』は、この...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社SCREENファインテックソリューションズ

ナノスピードディップコーター(デモ機、レンタル機貸出中)

ディップ速度、超低速度の1ナノm/sec、3次元制御を実現!！ 　現…

細な構造物やナノマテリアルの合成、半導体製造において微細なパターン形成、エレクトロニクスコンポーネントのコーティングにおいて高効率なソリューションを提供します。 生体医学研究者にとっては、細胞培養基板や生体適合性コーティングの制御が可能で、生体材料の研究や細胞培養に大いに貢献します。 光学およびフォトニクス分野では、高精度で均一な光学コーティングを実現し、光学デバイスの性能向上をサポートします...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ＳＤＩ

3Dスプレーコーター　API-240-3DS

任意の３D形状に塗布できる3Dスプレーコーター。レーザースキャナーで基…

塗布サイズ 600mm x 400mm の当社標準機に3Dスキャナーと3D塗布機能を搭載したフラッグシップモデル。 車載用パネルなど曲面ガラスへの塗布ニーズが増えている中で、任意の形状に精密に成膜することが可能なスプレーコーターです。...塗布サイズ：600mm x 400mm 塗布精度　：液供給の再現性　1%以下　、　膜厚均一性　±5-10%程度 ヘッドスピード：最大1m/sec 塗布膜...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アピロス 本社

幅広ロールコーター『FRC-500VT』

幅600mmまで対応！フィルムにスパッタにより成膜するウェブコーター

0mm巾×200m（100μmの場合）最大外径φ250 ○送り速度：0.01～10ｍ/min程度（CW、CCW可能） →最低設定速度：0.01m/min ○テンションコントロール →巻き径、基板厚さの設定値により計算した値にてテンションをかける →トルクはフィードバック制御にて行う →10N～150N/m巾に対する値を自動計算し、設定 ○真空槽系 →材質：SUS304 →サイズ：...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社富士アールアンドディー

最先端コーター『ＨＩＴ-IIIＳ』

塗布材料が最大１／３０に削減可能！成膜を効率よく、最小限のコストで行え…

膜等 ・太陽電池：Ti02、保護膜、着色膜等 ・化合物半導体：高輝度LED等 ・MEMS：レジス卜等 ・液晶：レジス卜、ブラックマトリックス、Mgo等 ・有機 EL：高分子等 ・プリント基板：銅膜形成、レジス卜、埋め込み、平坦化等 ※詳しくは「ダウンロード」より製品カタログをご覧下さい。 　お問い合わせもお気軽にどうぞ。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ヒットコーポレーション

円形塗布装置『RSコータ』

独自スリットダイで自由に円形塗布！Spiral Coaterに代わる新…

『RSコータ』は、独自スリットダイで自由に円形塗布ができる装置です。 円形以外にも四角形、八角形等基板形状に依存しない自由な塗布形状が可能。 φ300mmウエハへの塗布に要する時間は僅か30秒と高いスループットを誇り、 バブルレスで優れた品質を実現します。 【特長】 ■高粘度液の厚膜...

メーカー・取り扱い企業： 中外炉工業株式会社

Smart film Vacuum Conditioner

PET Filmの前処理　&　Filmの熱収縮の調整　＆ITO膜の連続…

で、Filmの熱収縮の調整（平坦化）、ITO膜の連続的な結晶化処理が可能な設備です。 ■装備特徴 • Flimを無張力で熱処理して0.1%以下の極低熱収縮Filmを生産 • 均一な基板温度に加熱可能 (基材の平坦化) • プラズマ区間（Treatment）がRewinding Chamberに位置してProcess Chamber•の高真空を維持 • Squeeze V...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ＳＵＫＷＯＮ

半導体製造装置『スリットコーター』

独自のスリット技術を駆使した高品質なスリットコーター！

当社では、低粘度から高粘度まで幅広い塗布材料に対応する 『スリットコーター』を提供しております。 スリットノズルを採用。 リニアでスライドさせ、高い精度で制御することでガラス基板に レジスト液を均一に塗布可能です。 【特長】 ■低粘度から高粘度まで幅広い塗布材料に対応（粘度：1～10,000cps） ■0.1μmの薄膜から10μmの厚膜まで対応（10μm以上の厚...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社コンドー 横浜工場

角基板対応自動レジスト塗布・現像装置（コーター・デベロッパー）

低粘度～高粘度レジスト対応！どのウェハサイズの装置も作製可能です！

ネガレジスト、ポリイミド、SOG、WAX、シリコーンなど、多彩な薬液に実績があります。 Si（シリコン）、GaAs、InP、GaN、SiC、サファイア、セラミック、SiO2（ガラス）など多数の基板搬送実績もあります。 GaAs（厚み150um）、IｎP（厚み150um）、LT（厚み120um）など薄い基板や角基板の搬送実績も多数あります！ 【特長】 ■低価格を実現 ■低～高粘...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

大型角基板用（～430mm）回転カップ式自動レジスト塗布コーター

430mm角までの大型基板を隅まで均一良く塗ることができます！正方形、…

角基板は正方形、長方形などあらゆる形状のものを均一に塗布できます。 また、弊社の回転カップ式スピンコーターでは、ある程度の段差も気にすることなく均一に塗ることができます（高粘度で実績多数！） ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

スピンコーター（MAX200mm□）

精密塗布スピンコーター オープン式卓上タイプ 研究開発・R＆D用途…

【装置仕様】 ・ 基板サイズ ：φ4～２5０mm□基板 ・ 基板の受渡し方法 ：人手によるセット/リセット ・ 装置重量 ：約48Kg 【ユニット構成】 ・ カッ...

メーカー・取り扱い企業： ブルーオーシャンテクノロジー株式会社

卓上スピンコーター

精密塗布スピンコーター オープン式卓上タイプ 研究開発・R＆D用途…

【装置仕様】 ・ 基板サイズ ：φ10～15０mm□ 基板 ・ 基板の受渡し方法 ：人手によるセット/リセット ・ 装置重量 ：約22Kg 【ユニット構成】 ・ カ...

メーカー・取り扱い企業： ブルーオーシャンテクノロジー株式会社

スピン洗浄装置　自動レジストスピンコーター JASC-200型

対象ワーク：2"□～5"□基板又はφ２"～φ５"基板に適用！

ベーク工程も自動で行います。処理工程はU字型に配置されローダー、アンローダーも同一側でオペレーター1人で作業が出来ます。工程間の搬送は多間接ロボットを採用しています。本機の対象ワークは2"□～5"□基板又はφ２"～φ５"基板に適用します。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社

自動フォトレジスト塗布・現像装置（コーター・デベロッパー）

低粘度～高粘度レジスト対応！小口径～大口径まで、どのウェハサイズの装置…

●ポジ・ネガレジスト、ポリイミド、SOG、WAX、シリコーンなど多彩な薬液の使用実績あり ●Si（シリコン）、GaAs、InP、GaN、SiC、サファイア、セラミック、SiO2（ガラス）など多数の基板搬送実績 ●GaAs（厚み150um）、InP（厚み150um）、LT（厚み120um）など薄い基板の搬送実績多数！ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

スピン洗浄装置　自動レジストスピンコーター

【デモ機貸し出し可能！】ローダー、アンローダーも同一側でオペレーター1…

で行います。 処理工程は、U字型に配置されローダー、アンローダーも同一側でオペレーター1人で作業が出来ます。 工程間の搬送は多間接ロボットを採用しています。 本機の対象ワークは、2"□～5"□基板又はφ2"～φ5"基板に適用します。 詳しくはお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社