高精度位置決めステージ｜超音波モーターステージ

SPPAアクチュエータ採用の高精度位置決めステージです。最大100mm…

「超音波モータステージ」は、最大100mm（ミリ）までをナノメートル単位で微小送り動作ができる、高精度位置決めステージです。 専用コントローラと接続し、内蔵リニアスケールによるクローズドループ制御で動作します。 高い位置決め再現性を求める光学実験や分析･測定機器に最適です。 電磁モータ式に比べて発熱や磁場が小さいといった特長があり、真空や非磁性などの特殊環境にも対応可能です。 「X...

メーカー・取り扱い企業： THKプレシジョン株式会社