独自の安全機構でガス充満による酸欠事故を防止『グローブボックス』

PR真空装置メーカーの技術・経験を結集！自社設計により柔軟な仕様変更とリー…

当社では、不純物ガス濃度1ppm以下の高純度環境を実現する 『グローブボックス』を設計・製造・販売しております。 内部のガス圧力が一定範囲になるよう制御するAPC機構や、 グローブ・圧力計の破損時に異常を検知してガス供給を停止するセイフティ機構を標準搭載。 グローブボックスの豊富な知識・経験を活かし、各種カスタマイズも承ります。 【特長】 ■自社設計により柔軟な仕様変更とリ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイエルエステクノロジー

中量機用二流体ノズル 　※2024年3月導入済！

PR300種類超の製造実績！1987(昭和62)年運転開始以来コンタミクレ…

ラボ機での反響を踏まえ、平均粒子径5～20μmの微粒子造粒粉をつくる 中量機用二流体ノズルを2024年3月に導入致しました。 2022年12月に、微粒子生産試験用として二流体ノズル噴霧機構を 導入してから約一年、お客様からのフィードバックが良好であること、 またその結果を踏まえスケールアップをご希望の声があることなどをかんがみ、 中量機(大川原・OC-16型)向けにも二流体ノズル噴霧...

メーカー・取り扱い企業： 日華化成有限会社

上下機構(Z軸)『KUDシリーズ』

本体を回転させてフランジ間の距離を正確に調整が可能！ベローズ式直線導入…

【ラインアップ】 ■ミニ上下機構（Z軸）KMUD-34(50Z) ■ミニ上下機構（Z軸）KMUD-34(100Z) ■上下機構（Z軸）KUD-70(50Z) ■上下機構（Z軸）KUD-70(100Z) ■上下機構（Z軸）K...

メーカー・取り扱い企業： 北野精機株式会社

全閉型シャッター機構『KSVシリーズ』

隙間なくクローズ！蒸着物の回り込みや光を遮断する！

『KSVシリーズ』は、ICF-70用・CF-114用のシャッター機構です。 シャッター閉の時、隙間なく閉じる事が可能な、蒸着物等に対する ビューポート用の保護シャッターとなります。 RHEEDスクリーン、光、ビーム等の保護や遮断への応用も可能です。 ...

メーカー・取り扱い企業： 北野精機株式会社

シャッター機構

マグネット方式で操作は簡単・半永久的！フルオープンタイプなので視界は広…

当製品は、真空容器内の蒸着物等に対するビューイングポート用の 保護シャッターです。 バタフライ方式のフルオープンタイプなので、視界は広範囲。 RHEED・光・ビーム等のカットにも応用できます。 各部品には電解研磨処理を施し、超高真空領域までの使用が可能です。 【特長】 ■シャッター駆動部にKMMR-34Sが取り付けられている ■サイズは、ICF-70・114・152・20...

メーカー・取り扱い企業： 北野精機株式会社

ビームシャッター機構 「KBS-01」

シャッタースピードは、空圧調整バルブ(標準付属)にて任意に可変可能

ビームシャッター機構は、駆動系に電磁弁制御式のエアシリンダーが装備されており、応答速度の素早い遮断動作・開放動作が可能です。 本製品は、ルビジウム(Rb)やナトリウム(Na)などの原子線ビームを、遮蔽及び開放するシャ...

メーカー・取り扱い企業： 北野精機株式会社

上下機構(ICF152タイプ)『KUD-152 Mk-II』

精密な位置決めができる！中空構造の直線導入機

『KUD-152 Mk-II』は、本体内部に電解研磨処理を施し、超高真空領域まで 使用可能な直線導入機です。 有効内径φ108mmを設けることが可能となる為、内部のスペースを 有効に使用できます。 φ125ｍｍのハンドルを設け、ギヤにて回転トルクを落とすことで、 上下操作を軽く行うことができます。 他の回転導入機などと組み合わせる事で、搬送ラインの調整を 行うことも可能です。...

メーカー・取り扱い企業： 北野精機株式会社

超高精度5軸マニピュレーター

超高精度5軸マニピュレーター

特徴 本機構「超高精度5軸マニピュレーター」は、極高真空領域対応型XYZR1R2軸方向移動機構です。高精度な機構を組み合わせることにより、真空中にある試料を精密かつ再現性良く移動・操作させることが可能です。 ...

メーカー・取り扱い企業： 北野精機株式会社

TEMホルダー 「透過型電子顕微鏡用試料ホルダー」

御客様の仕様に合わせて試作開発を承っております。

者の要求に独自のアイデアを注入し、共同で開発され試料内部の形態・結晶構造・組成・電子状態などの高分解能イメージングを可能にすることができます。 また、その他の要求仕様・研究開発目的に応じた特殊機構もご気軽にお問い合わせください。 【特徴】 ○共同で開発され試料内部の形態・結晶構造・組成・電子状態などの 　高分解能イメージングを実現 ○その他の要求仕様・研究開発目的に応じた特殊機構...

メーカー・取り扱い企業： 北野精機株式会社

有機EL用成膜装置

有機材料開発用成膜装置

【特徴】 ・搬送機構にてマスク及び試料搬送が可能。 ・有機材料と金属材料が同じ部屋で成膜可能。 ・有機材料と金属材料の共蒸着が可能。 ・有機材料共蒸着が可能（最大4元）。 ・有機材料と金属材料とのコンタミ防止用...

メーカー・取り扱い企業： 北野精機株式会社

有機EL用成膜装置

有機EL用の実験装置です。搬送系の操作は、PCより制御可能です。全自動…

【特徴】 ・3軸ロボット機構にて、マスク及び試料搬送が可能 ・搬送室において、基板ホルダー真空封止機構搭載 ・有機材料共蒸着が可能（最大4元） ・有機材料が8種類、同部屋にて仕込み可能 ・有機蒸着室が2部屋装備の為、有...

メーカー・取り扱い企業： 北野精機株式会社

総合カタログプレゼント！真空機器・部品

チャンバー、導入機、各種規格部品など満載！真空機器・部品の総合カタログ…

・セミオーダー・特注品からお選び頂けます。 【掲載内容（抜粋）】 ■真空部品 　ICF規格品、ISO（KF・LF）規格品（NW）、JIS規格品など ■導入機 　直線導入機（Z軸）、上下機構（Z軸）、中空直線導入機（Z軸）など ■装置 　チャンバーなど ※詳しくはカタログダウンロード、もしくはお問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業： 北野精機株式会社

透過型電子顕微鏡用試料ホルダー

多くの分野における基礎研究をはじめ、新製品の開発やその評価などに幅広く…

の要求に独自のアイデアを注入し、共同で開発され試料内部の形態・結晶構造・組成・電子状態などの高分解能イメージングを可能にすることができます。 また、その他の要求仕様・研究開発目的に応じた特殊機構もご気軽にお問い合わせください。 【特徴】 ○共同で開発され試料内部の形態・結晶構造・組成・電子状態などの高分解能イメージングを実現 ○その他の要求仕様・研究開発目...

メーカー・取り扱い企業： 北野精機株式会社

XYステージ

XYステージ

ベローズ式のXY移動機構と角度調整が可能なXYチルト機構。マイクロメーターによる正確な微調整が可能です。...

メーカー・取り扱い企業： 北野精機株式会社

OPV用蒸着装置『KVD-OLED Evo.6』

コンパクトな設計を実現！有機蒸着源を4台標準搭載した蒸着装置

LED Evo.6』は、有機EL材料の塗布材料を目的とした OPV(有機薄膜太陽電池)用蒸着装置です。 有機材料の塗布工程は接続されているグローブボックス(MBRAUN)の中で 行い、搬送機構を用いて蒸着室内に基板を搬送し、電極を蒸着させる 一貫した装置となります。 グローブボックス（MBRAUN社製Labmaster）と接続でき、 ロードロック室間は手動の搬送機構で操作可能。...

メーカー・取り扱い企業： 北野精機株式会社

サンプル加熱ステージ『KSKS-1』

オミクロン社製サンプルホルダーに対応！コンパクトな傾斜付きステージ

ンプルホルダーを加熱するステージです。 取り付けフランジがICF70でコンパクト。 角度付きポートからでもステージが水平となる様な傾斜付きステージのため、 全方位から導入が可能なほか、駆動機構を備えており、任意の位置へ移動調節可能です。 加熱温度450℃のヒーターをステージ内部に設置しており、加熱時の赤熱発光が 漏れる事はありません。 また、真空ベーキング（≦200℃）対応可能...

メーカー・取り扱い企業： 北野精機株式会社

セミ・マニピュレーター『KSM-70-50Z』

超高真空領域まで使用可能！X、Y軸の駆動部にはマイクロメーターヘッドを…

『KSM-70-50Z』は、中空構造のXYZ機構を本体としたセミ・マニピュレーターです。 ベローズに工夫をこらしていることで、X軸・Y軸の動作に柔軟性を 持たせており、Z軸には側面に目盛りスケールを設置している為、 精度を要する移動や微...

メーカー・取り扱い企業： 北野精機株式会社

『真空機用導入機シリーズ 総合カタログ』※無料進呈中

直線・回転運動、多軸複合運動を高精度伝達。蒸着セルなど各種導入機を多数…

ただいま、高精度・高再現性を実現する、多種多様な“真空機用導入機”を 収録した『総合カタログ』を進呈中です。 真空装置内にX,Y,Z,θ軸の動作を与える各種導入機や シャッター機構付きにもかかわらず、ICF-70接続を実現し 高分解能で膜厚制御可能な有機蒸着セルなど、多数ラインアップしています。 【主な掲載内容】 ■1軸・直線運動（Z軸）　　■1軸・回転運動（φ軸...

メーカー・取り扱い企業： 北野精機株式会社

超高真空対応小型電子ビーム蒸着源 「KME-70」

シンプルな設計となっており、研究開発用途におすすめな製品です。

の蒸着が可能です。 シンプルな設計となっており、研究開発用途におすすめな製品です。 【特徴】 ○シンプルな設計で簡便性を重視 ○フラックスレートモニタリング用電極付 ○手動式シャッター機構を標準装備 ○ロッド状材料とルツボのどちらも設置可能 ○材料は移動機構機構により位置調整が可能 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。...

メーカー・取り扱い企業： 北野精機株式会社

ビームフラックスモニター 「KFM-70」

シールドカバーの設置により、センサーへの汚染を最小限に抑制

。 【仕様】 ○センサー：ミニチュアB-Aゲージ ○回転角度：±180℃ ○取付けフランジ：ICF-70(タップ付） ○ベーキング温度：200℃(コネクタ部除く） ○オプション：上下機構 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。...

メーカー・取り扱い企業： 北野精機株式会社

試料搬送装置

試料搬送装置

。 複数の真空システム間において超高真空領域を保ったまま試料搬送が行え、将来的に真空システムの増設・拡張が容易です。 また標準で６連の試料搬送キャリアを備え試料ストッカーとしても最適で付属の過熱機構にて試料表面のクリーニングが可能です。...

メーカー・取り扱い企業： 北野精機株式会社

有機EL用簡易蒸着装置

有機薄膜簡易蒸着装置

●特徴 ・小スペース、コンパクト設計 ・蒸着セル最大5本取付可能 ・基盤サイズ1〜3インチと幅広く選択可能 ・コンタミを防ぐ2重シールド構造 ・基盤加熱ヒターコントロール機構標準装備 ・メンテナンス・クリーニングの簡単設計 ...

メーカー・取り扱い企業： 北野精機株式会社

トランスファーロッド（Ｚ-φ軸　KTMシリーズ）

【 4000台販売突破キャンペーン実施中 】弊社トランスファーロッドは…

への応用が可能です。 本体の内部には、電界研磨処理を施し超高真空領域まで使用可能です。 駆動部のストッパーを使用することで、任意の距離・角度での位置決めが可能です。 オプションとして、回転止め機構を取り付けることが可能です。 また、腐食性ガス対応の仕様もございますので、ご相談下さい。 ＜2機種共通仕様＞ 許容リーク量：≦1.33×10-11Pa・m3/sec 許容加熱温度：≦20...

メーカー・取り扱い企業： 北野精機株式会社

中空型 回転導入機

ウォームギアを使用することでスムーズに位置決めが可能！中空構造の回転導…

です。 手動式高精度型及びモーター駆動式高精度型の2種類があり、ウォームギアを 使用することにより、スムーズに位置決めが可能。 また、有効内径を最大限に広げたことにより、中に取り入れる機構の寸法等を 気にすることなく取り付けができます。 【特長】 ■クライオスタット、液体窒素シュラウド等を超高真空内に挿入して 　回転させることが可能 ■手動式高精度型及びモーター駆動式高...

メーカー・取り扱い企業： 北野精機株式会社

真空用分光測定ユニット『KVS-1』

取付が容易！真空内に置いた試料の分光測定ができる真空用分光測定ユニット

分光測定を行うことができる装置です。 (プローブ形状に合わせて個別に設計を行います。) 焦点位置の調整はマイクロメータにより、観察位置の移動は移動用ノブにより可能。 先端部にはレンズチルト機構を備え、ビームの入射角を調節できます。 測定に使用する波長に合わせて、窓材質を選択することが可能です。 【特長】 ■パイプ内にGBB処理を施し、反射による悪影響を防止 ■先端部長さ等の寸...

メーカー・取り扱い企業： 北野精機株式会社

分子線エピタキシー（MBE）装置

コンパクトなサイズ（１インチ〜２インチ）対応のMBE装置です。

）を搭載しております。また、他社製蒸着セルの搭載も可能であり、ご指示頂きました蒸着セルをご選択可能な設計をしております。超高真空対応に、標準にて液体窒素用シュラウドを装着しております。基板加熱・回転機構を装備しております。窒化物半導体や酸化物半導体は、RFアトムソースを接続する事により、成長可能です。また、蒸着チャンバーを複数ドッキング可能な設計になっており、将来的な増設等のご希望にお応えしており...

メーカー・取り扱い企業： 北野精機株式会社

金属蒸着セル（クヌーセン・セル：K-セル）

金属蒸着セル

【特長】 ICF-70によるコンパクト/省スペース設計 シャッター機構標準装備 ±0.1℃による温度設定が可能 ●応用材料 ・Si (Silicon) ・As (Arsenic) ・Ga (Gallium) ・Al (Aluminum) ・In (I...

メーカー・取り扱い企業： 北野精機株式会社

有機EL用蒸着セル

有機材料（有機EL、高蒸気圧材料）薄膜用に開発されたＫセルタイプの蒸着…

サイズが1ccと非常にコンパクトな設計となっております。その他、4cc・10ccと容量が大きいタイプも取り扱っております。ヒーターにシース材料を使用しておりますので、均一な温度が保てます。シャッター機構付きですので、蒸着の調整が可能です。ルツボ材質は、シェイパル・アルミナ・石英ガラス・グラファイトなど、多種揃えております。...

メーカー・取り扱い企業： 北野精機株式会社

改善成功事例　事例4　有機EL成膜装置改造

改善成功事例　事例4　有機EL成膜装置改造

◆◇◆経緯◆◇◆ これまで、他社製の有機EL成膜装置を使用していた。 しかし、使用上、下記の不具合点や要望が挙がっていた。 ◆マスクの交換機構が搭載されていない為、マスクを交換する際は、 その都度、大気開放する必要がある。その為、試料にダメージが生じてしまう。 また、一貫した真空環境ではない為、無駄な時間を費やしてしまう。 ◆有機蒸...

メーカー・取り扱い企業： 北野精機株式会社

3次元アトムプローブ装置改善事例

3次元アトムプローブ装置改善事例

◆◇◆対処法◆◇◆ 冷凍機の先端部に直接Tipホルダーを取り付け冷却していた為、 どうしても振動を拾ってしまう機構になっていた。 そこで今回は振動をなくすために、冷凍機とTipを分離させ、 冷凍機の振動を拾わない構造へと改良を行った。 ◆◇◆構成◆◇◆ ◆固定方法 冷凍機と独立したフランジより...

メーカー・取り扱い企業： 北野精機株式会社

北野精機株式会社　真空・実験装置の技術的サービス

メーカー問わず、どんな装置でもお気軽にお問い合わせ下さい！

で提供いたします。 【各種装置・ユニット類】 ○蒸着装置（MBE・CVD・EB・スパッタなど） ○分析装置（STM・FIM・TEM・AESなど） ○各種マニピュレーター ○各種試料搬送機構 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。...

メーカー・取り扱い企業： 北野精機株式会社

セミ・マニピュレーター『KSM-152-50Z/150Z』

超高真空領域内での試料等の移動・位置決め操作が大気側より行うことが可能…

『KSM-152-50Z/150Z』は、ユーザー様の様々な目的・用途に対応出来る様、 中空構造のXYZ機構を本体としたセミ・マニピュレーターです。 X、Y軸の駆動部にはマイクロメーターヘッドを使用し、1回転当たりの 移動量は各々0.5mmとなります。Z軸には側面に目盛りスケールを 設置している...

メーカー・取り扱い企業： 北野精機株式会社

セミ・マニピュレーター『KSM-114-50Z/150Z』

ユーザーの様々な目的・用途に対応出来る様、中空構造のXYZ機構を本体に…

マニピュレーターです。 Z軸には側面に目盛りスケールを設置している為、精度を要する移動や 微調整などに使用出来ます。 本体正面のチルトネジを用いる事で、最大2°までの簡易的な チルト機構としても使用可能。 蒸着装置、MBE装置等、超高真空領域内での試料等の移動・位置決め操作が 大気側より行えます。 【特長】 ■超高真空領域まで使用出来る ■X、Y軸の駆動部にはマイ...

メーカー・取り扱い企業： 北野精機株式会社

有機デバイス作製・評価装置

有機デバイス作製・評価装置

機デバイス作製・評価装置 ・小スペース、コンパクト設計 ・蒸着セル最大5本取付可能 ・基盤サイズ1〜3インチと幅広く選択可能 ・コンタミを防ぐ2重シールド構造 ・基盤加熱ヒターコントロール機構標準装備 ・メンテナンス・クリーニングの簡単設計 ...

メーカー・取り扱い企業： 北野精機株式会社

有機OED作製・評価装置

有機OED作製・評価装置

特徴 ・小スペース、コンパクト設計 ・蒸着セル最大5本取付可能 ・基盤サイズ1〜3インチと幅広く選択可能 ・コンタミを防ぐ2重シールド構造 ・基盤加熱ヒターコントロール機構標準装備 メンテナンス・クリーニングの簡単設計 ...

メーカー・取り扱い企業： 北野精機株式会社

トランスファーロッド（Ｚ-φ軸　KTLシリーズ）

弊社トランスファーロッドは、マグネット方式であり、超高真空領域まで使用…

への応用が可能です。 本体の内部には、電界研磨処理を施し超高真空領域まで使用可能です。 駆動部のストッパーを使用することで、任意の距離・角度での位置決めが可能です。 オプションとして、回転止め機構や延長ハンドルを取り付けることが可能です。 また、腐食性ガス対応の仕様もございますので、ご相談下さい。 ＜3機種共通仕様＞ 許容リーク量：≦1.33×10-11Pa・m3/sec 許容加...

メーカー・取り扱い企業： 北野精機株式会社

トランスファーロッド（Ｚ-φ軸　KTSシリーズ）

弊社トランスファーロッドは、マグネット方式であり、超高真空領域まで使用…

への応用が可能です。 本体の内部には、電界研磨処理を施し超高真空領域まで使用可能です。 駆動部のストッパーを使用することで、任意の距離・角度での位置決めが可能です。 オプションとして、回転止め機構や延長ハンドルを取り付けることが可能です。 また、腐食性ガス対応の仕様もございますので、ご相談下さい。 ＜3機種共通仕様＞ 許容リーク量：≦1.33×10-11Pa・m3/sec 許容加...

メーカー・取り扱い企業： 北野精機株式会社

トランスファーロッド（Ｚ-φ軸　KTXシリーズ）

【 4000台販売突破キャンペーン実施中 】 弊社トランスファーロッ…

への応用が可能です。 本体の内部には、電界研磨処理を施し超高真空領域まで使用可能です。 駆動部のストッパーを使用することで、任意の距離・角度での位置決めが可能です。 オプションとして、回転止め機構や延長ハンドルを取り付けることが可能です。 また、腐食性ガス対応の仕様もございますので、ご相談下さい。 ＜3機種共通仕様＞ 許容リーク量：≦1.33×10-11Pa・m3/sec 許容加...

メーカー・取り扱い企業： 北野精機株式会社

有機EL用成膜装置

有機EL用のインライン型の自動制御機能を盛り込んだ研究開発用装置です。

【特徴】 ・有機材料と金属材料とのコンタミ防止用水冷ジャケット標準装備。 ・蒸着室内で基板とマスクを真空環境下にて各々交換可能。 ・基板とマスク間ギャップは最少。 ・基板回転機構により面内の膜厚分布平坦性±5％以内。 ・有機蒸着セルは指向性に優れており蒸着室内の材料汚染が少ない。 ・各処理室は特殊表面処理を施し使用真空環境圧力までの到達が速い。 ・グローブボックスと接...

メーカー・取り扱い企業： 北野精機株式会社

有機EL用成膜装置

有機材料と金属材料が同部屋にて成膜可能なハイブリット型成膜装置です。有…

蒸着が可能（最大4元）。 ・有機材料と金属材料とのコンタミ防止用水冷ジャケット標準装備。 ・蒸着室内で基板とマスクを真空環境下にて各々交換可能。 ・基板とマスク間ギャップは最少。 ・基板回転機構により面内の膜厚分布平坦性±5％以内。 ・有機蒸着セルは指向性に優れており蒸着室内の材料汚染が少ない。 ・各処理室は特殊表面処理を施し使用真空環境圧力までの到達が速い。 ・グローブボックスと接...

メーカー・取り扱い企業： 北野精機株式会社

真空機器・部品　総合カタログ 　無料プレゼント

チャンバーから導入機、各種規格部品まで真空部品の総合カタログプレゼント…

付ブラシ ・ガス導入バルブ付フランジ ・ガスライン用フレキシブルチューブ ・電流導入端子シリーズ ・低温高圧セル ・アクセサリー ◆製品案内　導入機 ・直線導入機（Z軸） ・上下機構（Z軸） ・中空直線導入機（Z軸） ・中空回転導入機（φ軸） ・多軸複合導入機 ・トランスファーロッド（Z-φ軸） ・Xステージ ・X/Yステージ（X/Y軸）　など ◆製品案内　チ...

メーカー・取り扱い企業： 北野精機株式会社