塗膜の剥離・汚れの洗浄に　水溶性重曹ブラスト剤『エコブラスト』

PR素材を傷つけにくく、そのまま水に流せるブラスト剤。原料の重曹が酸性成分…

エコブラストは幅広い洗浄用途に適した、環境に配慮した水溶性ブラストメディアです。 素材を傷つけにくく、そのまま水に流せるブラスト洗浄剤です。機械部品や船底の塗膜剥離、油分・スケールなどの除去などに好適です。 【洗浄作業例】 ・機械部品の塗膜剥離 ・マリーナにおける船底の塗膜剥離 ・設備や装置のフィルター洗浄 ・外装材やモルタルの油分・スケール除去 ・石材表面の洗浄 ・バーナーチッ...

メーカー・取り扱い企業： ＡＧＣ株式会社 化学品カンパニー

特許技術でコスト減！高濾過精度で品質維持！クーラント精密濾過装置

PR濾過精度1μmを実現。自重に逆らいながらクーラント液を送り、フィルター…

当社は、クーラントの『精密濾過装置』の提案・製造を手掛けています。 1μmの濾過精度で、大流量に対応したフィルター濾材をご用意しており、 装置は外側から内側へ濾過を行う濾過フローで、 自重に逆らいながら下から上にクーラント液を送り込み、 フィルター全面による高効率濾過を実現しています。 また、逆洗浄には特許を取得しており、 自重に従った送液によって効果的な逆洗浄を行い ランニングコストの大幅削...

メーカー・取り扱い企業： 濾過精工株式会社

高田工業所社製ダイシングフレーム洗浄装置『TFCシリーズ』

ダイシングフレームに付着したテープ糊痕や指紋等を高い洗浄能力を持つ独自…

『TFCシリーズ』は、ウエハー切断（ダイシング）工程で使用される ダイシングフレームに付着した、テープ糊や手脂などをジェットを使用し除去します。 ブラシ等の接触物がない為、糊等の2次付着による洗浄性の劣化がありません。 ■特長 ・高い洗浄性能をもつ独自のジェットノズルを採用した非接触方式洗浄機構 →ブラシ洗浄及びウエス等の布を使用しないので、目づまりによる洗浄力低下、及び再付着があり...

メーカー・取り扱い企業： JFE商事エレクトロニクス株式会社 プロセスソリューション営業部 実装プロセス営業室

ダイシングリング洗浄装置『株式会社 高田工業所製』

ジェット洗浄タイプ（非接触式）と、スクラブ洗浄タイプ（接触式）の2種類…

今まで手作業での洗浄や、業者へ洗浄を依頼していたりとランニングコストや作業面でお困りではありませんか？ 本装置はダイシングフレームを自動搬送で洗浄処理致します。 　・ジェット洗浄タイプ（ランニングコスト低減に特化したタイプ） 　・スクラブ洗浄タイプ（洗浄力に特化したタイプ） 上記の2種類をラインナップしております。 お客様でご使用のフレ...

メーカー・取り扱い企業： 日精株式会社 本社

フォトマスク洗浄装置（セミオート）

シリーズ累計200台以上のロングセラ機種です。

■国内マスク製造メーカー業界ではシェアー90%を誇ります。 ■「研磨後洗浄」「受け入れ洗浄」「Final洗浄」に最適。 ■デバイスメーカ様では、「コンタクト露光時に付着したレジスト除去」に実績豊富 ■基板サイズごとにシリーズ化した標準装置ですが、カスタム対応も可能です。 ■基本処理プロセスは、「洗剤/スクラブ⇒DIW2流体⇒表裏リンス⇒スピン乾燥」 　◎スクラブや2流体処理時には、スキャ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ソフエンジニアリング

大型基板用全自動フォトリソ処理装置

フォトリソプロセス一貫処理が可能

■G8.5世代の超大型重量基板に対応します。 　◎対応基板サイズ：1.3m X 1.5m X15mm t ■フォトリソ一プロセスの一貫処理に対応。 　◎処理工程：LD⇒現像⇒エッチング⇒剥離⇒洗浄⇒ULD ■国内の複数メーカーに複数台の実績がございます。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 枚葉式洗浄装置、基板洗浄装置、スピン洗浄装置、半導体製造...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ソフエンジニアリング

【国産】ペン型大気圧プラズマ装置

表面改質・洗浄・親水処理・接着強化に優れた低温電荷ダメージ無し！ペン型…

『樹脂』『金属』『ガラス』の『基板』『チューブ』『繊維』『粉体』など様々な材質の『濡れ性向上』『接着強化』『洗浄』などプラズマの持つ高い反応性を利用し、多岐にわたる表面処理用途にご活用頂けます！ ペン型トーチ採用で微細な加工やラボ用途に適し、初心者でも簡単に取扱いできます。 【特長】 ■熱によるダメージは殆んどありません。 →熱に対して脆弱なサンプルへの処理が可能です。 (条件によっ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社魁半導体

フィルム受託テスト（塗布・洗浄）

短納期・小ロットでも対応可能。 経験豊富な技術者による対応。 50…

【特徴】 ・短納期 ・小ロットでも対応可能です。 ・経験豊富な技術者によるトータルソリューション ・お客様のニーズにお応えするために、共同開発や試作加工、小ロットの　特注など柔軟に対応いたします。 【設備ラインナップ】 ・洗浄 　　ロールtoロール式洗浄 　　スピン洗浄 　　炭化水素洗浄 　　減圧乾燥 ・コーティング 　　スリットコーター 　　スピンコーター 　　ロール...

メーカー・取り扱い企業： ブルーオーシャンテクノロジー株式会社

多目的処理装置（スピンプロセッサー）

洗浄、現像、エッチング等カスタマイズ可能な、低価格多目的処理装置

研究・開発に最適なコンパクトサイズの卓上型多目的処理装置です。 【特長】 ・エッチング、洗浄、現像、剥離、乾燥など用途に合わせてカスタマイズ可能。 ・ＰＶＣボディー素材で酸、溶剤に対応。 ・卓上型なので場所を取らず、低価格にてご提供可能。 【仕様】 ワークサイズ：Φ8インチ、もしくは200×200まで クリーンユニット：ＨＥＰＡフィルター 洗浄方式：スピン洗浄＋ブラシ又...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社トービ

精密部品洗浄装置（脱脂）

HDD用モーター部品（HUB・ケース等）の脱脂洗浄装置　構成例：洗剤＋…

本装置はHDD用モーター部品（HUB・ケース等）を脱脂洗浄する装置です。 構成：洗剤＋US（脱脂洗浄）→純水リンス＋US→温風乾燥→真空乾燥　用途に合わせ製作致します...＜主な仕様＞ 1.被洗浄物 　：　HDD用モーター部品（HUB・ケース等） 2.処理方法　 ：　専用バスケットによるDip処理 3.処理速度 　：　2.5min（2kg×4バスケット） 4.パスライン　：　FL+...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ゼビオス（XEVIOS CORP.,）

Siナゲット洗浄装置

Siナゲット洗浄装置　専用バスケットで自動搬送　化学研磨・酸切・高品位…

本装置は、Siナゲットの洗浄を目的とした装置です。ワーク（Siナゲット）の入ったコンテナは本装置で専用の洗浄バスケットに移し替えられ、洗浄設備内に自動搬送されます。 その後、バスケットは化学研磨・酸切・高品位水洗の処理を通しワークは洗浄されます。このとき、洗浄バスケットを揺動して洗浄効率を向上しています。 洗浄後は乾燥専用バスケットに移され、１５０℃の温風で予備乾燥されます。 ...＜主な仕...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ゼビオス（XEVIOS CORP.,）

パーカーハネフィン　油水分離装置 (油水分離器)

【デモ機貸与可能！】浮上油分離から液中分離まで油水分離のお悩みを効果…

パーカーハネフィン(旧タイヨーテクノ)の油水分離装置は、油と水が混ざり合った液体から油を効果的に分離することができます。 CRS及びFOSシリーズの油水分離器は、様々なろ過技術で洗浄液をクリーンにし、液体を有効活用する分野で大きく活躍しています。 精密部品の加工後の付着した油を洗浄する洗浄機に多用され、半導体、燃料電池等の精密洗浄にも対応し、水や溶剤洗浄に適した製品です。 ダイヤフラムポンプや電動...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社シー・エス・シー 本社、大阪支店、福岡出張所

スピンタイプ洗浄装置WULFシリーズ「高精細フォトマスク対応」

機能水を使用したスピン洗浄ユニットを装備！RCA洗浄液に変わる洗浄液・…

弊社グループ会社の洗浄装置はフォトマスク／レチクル製品のハイクリーン化と歩留向上に寄与し、より完成度の高い製品の生産にご協力致します。 【特徴】 　・ハイクリーン化と歩留向上に貢献 　・検出限界レベルまで有機物・金属イオン・異物を除去可能 　・ワーク上の不純堆積物を高速除去するとともに廃液管理も安全な環境対応ツール 　・RCA洗浄液に変わる洗浄液・洗浄方法の採用 　・機能水を使用し...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社渡辺商行

フォトマスク洗浄装置｜簡易型マスク洗浄装置TWC-302

「スクラブ洗浄＋リンス」＆「Hot純水乾燥」の2槽式簡易型マスク洗浄装…

マスクに付着した1μm以上のパーティクルを除去する簡易型のマスク洗浄装置。 2槽式のマスク洗浄装置で、1槽目で専用ブラシによるスクラブ洗浄と リンスを行い、2槽目ではホット純水乾燥を行う簡易型のマスク洗浄装置です 1層目のスクラブ洗浄において、専用薬液による洗浄もオプションとして提供しております。専用薬液を使用すると、レジスト残渣を除去することも可能になります。...■主な特長 ・ワーク...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクノビジョン 本社

ブラシ洗浄からの置き換え！枚葉式ウエハ洗浄装置（スクラバー）

実績多数の高圧ジェットを採用したスクラバー。ソフトスプレーと組み合わせ…

当社のスクラバー装置は、当社独自の特殊ノズルを使用した高圧ジェットにより、枚葉による高速処理・高洗浄力を実現し、薬液の使用量も削減できます。 ノズルは、高圧ジェット方式の他、2流体スプレー、1流体スプレー等の方式も選択可能ですし、組み合わせることも可能です。 ウエハ洗浄だけでなく、フォトマスクの洗浄でも実績があります。 また、DIP処理で問題となるパーティクルの再付着がありませ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

300ｍｍカセットレス洗浄装置

ファイナルポリッシュ後の化学研磨工程で使用　／　50枚を一括処理　／　…

＜装置概要＞ 本装置はファイナルポリッシュ後の化学研磨工程で使用する装置です。特徴は25枚のWfの隙間に25枚を入れハーフピッチにし50枚を一括処理します。19nμm／5個の高清浄度を達成しています。...＜主な仕様＞ 1.被洗浄物 ：　300ｍｍ　厚み　0.75ｔ 2.処理方法 ：　カセットレスによるDip処理 3.処理速度 ：　50枚/5min（可変） 4.装置内清...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ゼビオス（XEVIOS CORP.,）

スピン枚葉処理装置（エッチング・RCA・洗浄・現像等）

高品質基板を安価に得られるスピン枚葉装置

■最新型のUDSスピンプロセッサーをリコメンドします。 　◎弊社内では、「OLD」システムの位置付けです。 　◎《新型》UDSスピンプロセッサーや《新型》Spin Dipプロセッサーを参照下さい。 　◎ミキシング、周速制御等スピン系の各種要素技術の全ては、 　　《新型》のスピンプロセッサーに発展応用させて搭載済みです。 ■SPM、APM、HPM、DHFといったRCA処理に最適。 ■塩化...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ソフエンジニアリング

卓上型ＵＶ照射装置　MUV

試料にダメージを与えず高度な洗浄を可能にした、卓上型UV照射装置

大型基板の処理にも対応。試料にダメージを与えず 高度な洗浄を可能にした、卓上型UV照射装置 【特徴】 ○最大φ300mmのシリコンウエハ、ガラスなどの基板（試料）にUV照射を行い 　表面の有機物を除去し、濡れ性を向上させることが可能 ○基板（試料）ホルダーの上下、または取替えが容易なため 　厚みのある基板（試料)を処理することが可能 ○オゾン発生型装置は、オゾンによる処理を併...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社メープル

OLED用処理装置

処理速度は0.6～5.0m/min（可変）！有機EL製造ラインの洗浄装…

当社が取り扱う、『OLED用処理装置』のご紹介です。 有機EL製造ラインの洗浄装置を提供。 基板サイズは370×470×1.1を処理致します。 装置としては、受入洗浄・純水洗浄・現像装置・ハクリ装置・ Crエッチング装置・ITOエッチング装置で構成しています。 【主な仕様】 ■被洗浄物：ガラス基板 370×470 厚み 0.6～1.1t ■処理方法：枚用処理 ■処理速度...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダン科学

高精度処理タイプ　ソフトエッチング・小径穴洗浄ライン

高精度処理タイプ　ソフトエッチング・小径穴洗浄ライン

抜群の面精度で、小径孔も確実に洗浄...【特長】○直進性の高いスリットで小径孔を洗浄 ○高精度エアーナイフにより孔内の乾燥も実施 ○板厚50μmのワークも搬送可能 ●その他機能や詳細については、カタログをダウンロードもしくはお問い合わせ下さい。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社二宮システム

焼き付け塗装剥離洗浄システム

今まで不可能だった焼き付け塗装や塗膜の堆積したハンガー治具等の、剥離洗…

本システムは、特別に開発された高温洗浄機とシンナー等の 人体及び環境への害となる毒性物質を一切含有しない安全な 植物性洗浄液ペイントソルブ-Wを使用し、今まで不可能だった 焼き付け塗装や塗膜の堆積したハンガー治具等の、剥離洗浄を 行なうシステムです。 【特長】 〇焼付け済みの塗装や硬化済みの塗料等の厚く堆積した 　各種の塗料が簡単に安全に剥離・洗浄できます。 〇安全な植物性洗浄...

メーカー・取り扱い企業： インフィニティ株式会社

高田工業所社製試作用枚葉式ウェット処理装置『TWPmシリーズ』

リフトオフ・レジスト剥離プロセスによるウエハー表面処理を行う試作研究用…

試作研究用『TWPmシリーズ』は以下の特長を備えた装置になります。 ■特長 ・ 高い剥離性能をもつ独自のジェットリフトオフ機構 ・多品種少量・生産量の変動への対応に向けた、 フレキシビリテイの向上とランニングコストの削減 ・枚葉化による品質・歩留り向上 （クロスコンタミの無い精密処理の実現と面内の均一性・制御性の向上 ） ・高い剥離性をもつ独自のジェットリフトオフ機構 ...

メーカー・取り扱い企業： JFE商事エレクトロニクス株式会社 プロセスソリューション営業部 実装プロセス営業室

親水・洗浄・密着強化『回転式真空プラズマ装置』

乾式で『粉体や固体全面』の『表面改質(親水・洗浄・密着強化)』を一括処…

『粉体や固体全面』など様々な材料の『親水化』『洗浄』『密着強化』などプラズマの持つ高い反応性を利用し、多岐にわたる表面処理用途にご活用頂ける回転式真空プラズマ装置！ 通常のプラズマ装置はサンプルとプラズマが触れていない底面などの接触部分は処理できず裏返す工程が必要となっていました。 本製品はチャンバーが回転する事によりサンプル全面に均一なプラズマ処理一括処理する事ができます。 【特徴】 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社魁半導体

ME-5000R 全自動ウエハースピン洗浄装置

フルオートマティックスピン洗浄装置　300mm/8インチウエハー、ガラ…

本装置は、ウエハーカセットを本体に手動でセットし、収納されている対象ワークをロボットでスピン洗浄部に送り、スピン回転させながら二流体洗浄・超音波洗浄・N2ブロー乾燥の処理を行い、再びウエハーカセットに収納する装置です。...装置寸法 Size：　W1３00×D１８00×H2000　（300mm）/　W1100×D1400×H2000　（８インチ） 工程　Process：　カセットを手動で設置→扉...

メーカー・取り扱い企業： マック産業機器株式会社 テクノロジーセンター

ウエハー自動洗浄装置　枚葉式自動洗浄装置　ディップタイプ

【デモ機貸し出し可能！】Φ300まで対応可能なディップタイプの枚葉式洗…

本機はディップ型の枚葉処理機であり、ローダー部でワークを縦に起し、搬送ロボットで各処理を行います。 最終洗浄が終わったのち、反転機構によりワークを横に戻し、スピン乾燥を行う、カセットtoカセットの洗浄機です。 詳しくはお問い合わせ下さい。...【特徴】 ○ディップ型の枚葉処理機 ○ローダー部でワークを縦に起し、搬送ロボットで各処理を実行 ○最終洗浄終了後、反転機構によりワークを横に戻し、...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社

『蒸気2流体洗浄装置 ハンディガンタイプ』

30μm以下の水滴と蒸気の超音速噴射で、切削油など頑固な汚れもしっかり…

『蒸気2流体洗浄装置 ハンディガンタイプ』は、水滴と蒸気を超音速で 噴射することで発生する衝撃波（キャビテーション）と せん断力により異物、汚れを除去する装置です。 電気、純水、圧縮空気（or窒素）で動作が可能。 ハンディガンタイプのため汚れを的確に除去できるほか、 装置はキャスター付きで容易に移動できます。 【特長】 ■キャビテーションの効果を利用して汚れを除去 ■薬品を...

メーカー・取り扱い企業： HUGパワー株式会社

半導体関連部品への精密洗浄

精密な洗浄装置とクリーンな環境を整備！アルミ、ガラス、セラミック等に対…

ヱビナ電化工業では『半導体関連部品への精密洗浄』を行っています。 清浄度が必要な精密部品に適用可能。クリーンルーム内で洗浄から 梱包まで行いパーティクルを抑制します。 また、めっき・洗浄・梱包まで社内一貫対応のため、表面処理＋洗浄の リードタイムを短縮できます。 【特長】 ■清浄度が必要な精密部品に適用可能 ・クリーンルーム内で洗浄から梱包まで行いパーティクルを抑制 ■...

メーカー・取り扱い企業： EBINAX株式会社 旧 ヱビナ電化工業(株)

FOUP洗浄装置

特殊な高圧ノズルを使用し、ケミカル未使用で洗浄及び乾燥が可能な装置です…

【環境負荷低減】 ・洗浄液は純水のみ使用 ・他社製品に比べ純水の使用量が少ない 【高い洗浄能力】 ・独自の洗浄処理で残渣とパーティクルの洗浄が可能 ・温風を瞬時に発生可能。（常温→65℃まで3秒）　 ・FOUP BOXと蓋を別々に洗浄することが可能 ・瞬間加熱式の採用で頑固な接着剤や粒子を迅速に洗浄可能 ・高...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダルトン

キズがつかない！精密洗浄システム『スノーガンII』※デモ試用可能

廃液処理が不要！超微細ドライアイスパウダーでパーティクル・オイルを徹底…

精密洗浄システム『スノーガンII』は、純度99.99％以上の液化炭酸ガスで ノズルから、サブミクロンの超微細ドライアイスパウダーを噴射。 対象物にキズをつけず、パーティクル・オイル等の汚れを引きはがします。 また、ドライクリーニングのため、洗浄液の洗浄度管理・廃液処理が不要！ 「ハンドヘルドタイプ」と「電磁弁タイプ」をご用意しています。 【アプリケーション例】 ■レンズ・ミ...

メーカー・取り扱い企業： オーテックス株式会社

UV洗浄表面改質装置　ASM1101N

110Wの高出力UV洗浄をお手元で手軽に。

UV(紫外線)表面処理技術の用途例 -洗浄と改質- ・パネル・ディスプレイ 製品　フラットパネル、液晶ディスプレイ、プラズマディスプレイ、有機EL 用途・効果 ガラス表面の有機系皮膜の除去、ITOと絶縁膜との密着度向上、ガラスとITOの密着向上、各種塗布膜の親水化 ・光学部品 製品　ピックアップレンズ、センサー、半導体製造用レンズ、水晶振動子 用途・効果 レンズ表面の有機系...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社あすみ技研

FPDウェットラインLCD/PDP用各種枚葉式ウェット処理装置

FPDウェットライン　LCD/PDP用　各種枚葉式ウェット処理装置

現像・エッチングのファイン化技術や高度な薄板搬送技術を駆使してお客様の付加価値向上に貢献します。...【特長】 ○エッチングマシン ITOエッチングマシン・Crエッチングマシン・AIエッチングマシン ○現像装置 各種レジスト・カラーフィルター ○洗浄装置 受入洗浄装置・成膜前洗浄装置・レジスト塗付前洗浄装置・配向後洗浄装置 ●その他機能や詳細については、カタログをダウンロードもし...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社二宮システム

バッチ式洗浄装置

クリーン化技術・搬送／制御 技術を駆使し、各種薬液に対応したバッチ式洗…

長年の経験に裏打ちされた、クリーン化技術・搬送／制御技術等を駆使し、 トータルエンジニアリング力で、お客様に最適な装置を設計・製作して参ります。 3D CADをはじめ、各種エンジニアリングツールにより、省スペースで 使い勝手の良い装置をお届いたします。 ※詳しくはPDFダウンロードまたはお問い合わせください...装　置　仕　様 【洗 浄 対 象】 ～12 インチカセット（※対象サイズはご...

メーカー・取り扱い企業： 日精株式会社 本社