洗浄機 | イプロスものづくり

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【日立造船製】フィルタープレス(手動機・自動機)　レンタル

PRサンプルを工場から持ち出せない。何度も実験してデータ取りしたい。そんな…

貸出機は様々な工程を試験できるよう特別なユニット配管を準備しています。材質・塗装もグレードの良いものを使用しているため、様々な液性の原液を試験することが出来ます。【お悩み例】 ■当社工場へ原液を送るのが難しい ■スクレーパでのケーキ剥離性を確認したい ■数週間製品生成試験を行ってみたい等あればお気軽に連絡ください！ ※他気になることあればお問合せください。　ご利用いただく上でご準備...
メーカー・取り扱い企業：日立造船株式会社機械・インフラ事業本部システム機械ビジネスユニット
光学部材用金型洗浄機『クリピカエースOPT』

PR輝度回復と歩留まり改善。光学部材用金型洗浄機『クリピカエースOPT』な…

＼非接触で洗浄！／光学部材用金型洗浄機『クリピカエースOPT』は、デリケートな光学部材用の金型に付着した汚れをノーダメージで完璧に除去します。ガス焼け、樹脂汚れに対応。ナノ、ミクロレベルの汚れも逃さず除去します。【従来の光学部材の金型メンテナンス】 ●綿棒やスワブなどを使って手作業で行う ●キズがつきやすいため細心の注意が必要 ●充分に汚れが取れないことも ●有機溶剤を使用する...
メーカー・取り扱い企業：ソマックス株式会社
ウエハー洗浄装置（バッチ式）※テスト可能機種あり

ウェットエッチングによる、コストダウンに配慮した仕様をご提案します。

ウェットエッチングならではの低コスト、高生産性を実現します。ご要望に応じて様々な搬送位置や方式に対応し、追加機構の付加、カスタマイズも可能です。【特長】 ■全自動酸・アルカリエッチング（洗浄）装置 ■手動酸・アルカリエッチング（洗浄）装置 ■RCA洗浄装置 ■前面搬送機タイプ・背面上部搬送機タイプの他に、お客様のニーズに合わせ上部搬送機タイプ・背面搬送機タイプにも対応できます。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ダルトン
治具洗浄装置

カセットや石英治具等、あらゆる治具の洗浄をご相談に応じて設計製作します…

大型治具の洗浄も設計製作できます。カセット洗浄の場合は、ブラシ組込による精密洗浄付もご用意できます。 ※詳しくはPDF（カタログ）をダウンロードいただくか、お気軽にお問い合わせください。...※詳しくはPDF（カタログ）をダウンロードいただくか、お気軽にお問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ダルトン
洗浄槽　精密洗浄機　ステンレス　洗浄タンク

精密洗浄機部品　洗浄槽　洗浄タンク　

洗浄槽　精密洗浄機部品　洗浄タンク　ステンレス【洗浄槽　精密洗浄機部品　洗浄タンク　ステンレス】【素材】ステンレス SUS304　両面研磨#400 【サイズ】 370×325×1...

メーカー・取り扱い企業：有限会社岩倉溶接工業所
水溶性パーツ洗浄機『トレント』

圧力･温度･水溶性洗剤の組み合わせにより強力に素早くパーツ洗浄が可能

『トレント』は、水性ベースの高性能パーツ洗浄機です。【特長】 ●自動機械では洗浄できない部分も、素早く細部まで洗浄が可能 ●カバーがあるので洗浄剤の飛び散りがない ●定額のレンタル料でメンテナンスを実施するので、...

メーカー・取り扱い企業：株式会社カナデン本社
渦流バレル研磨機『Eddy-Plus』

充実のラインアップ！工作物のバリ・カエリ取り、R付け及び重切削から仕上…

『Eddy-Plus』は、クリアランスコントロール機構を標準装備しており、研磨時間延長も同時に実現する渦流バレル研磨機です。バレル槽は固定槽と底部回転槽からなり、回転槽を高速回転させることにより、研磨槽内に投入された研磨石は遠心力を与えられ、外壁方向に流動し、固定槽に沿って立ち上がります。研磨だけの単能機、選別機付き、全自動の3タイプを用意。ご予算・作業ニーズなど...
メーカー・取り扱い企業：河新株式会社洗浄機・洗浄剤│バレル研磨機材│ブラスト機材│研磨材　販売及び受託加工
【高周波】石英振動体型洗浄機　W-357-1MQG-SKC

石英振動体に超音波を重畳させてウェーハやマスクを洗浄する洗浄機。低…

■石英振動体に超音波を重畳させて、半導体ウェーハを洗浄　薬液を半導体ウェーハに浸し、石英ガラスを通じて超音波振動を伝播させることで、接触部の薬液が振動して、その加速度によって表面の汚れを除去します。 ■半導体ウェーハにダメージが少ない、クリーンな洗浄　薬液との接液部に石英を用いることで、パッキン等ゴム材を使用した装置と比べてゴムの溶出や摩耗がなくクリーンな洗浄を実現します。 ■振動子冷...

メーカー・取り扱い企業：本多電子株式会社産業機器事業部
重圧バレル研磨機『Mighty・Mild』

安定した重圧流動(特許取得済)が、メディアの力を最大限に引き出します！

『Mighty・Mild』は、研磨力を上げて、摩耗を抑える重圧バレル機です。安定した重圧流動により、メディアのムダな摩耗が大幅に減少するため、メディア消費量が25～70％削減可能。前工程やハンドリングでついたキズも短時間で残さず除去し、滑らかな流動によりワーク同士の衝突回数が減少するので新たにキズがつかず、特に硬く脆いワークに好適です。【特長】 ■メディアの省...
メーカー・取り扱い企業：河新株式会社洗浄機・洗浄剤│バレル研磨機材│ブラスト機材│研磨材　販売及び受託加工
ウェットブラスト『TWB-01』

安定した均一加工が可能！微細バリ取り～クリーニングまで対応！

『TWB-01』は、高品質な仕上げ面を作りだします。スラリーを粒度、圧力、濃度でコントロールできるため、安定した均一加工が可能。加工と洗浄を同時に行うため、研磨材の残渣が少なく精密加工に適しています。【特長】 ■高品質な仕上げ面を作りだす ■安定した均一加工が可能 ■緻密で無方向性の均一梨地面が得られる ■熱による変質が極めて少ない ■研磨材の残渣が少なく...
メーカー・取り扱い企業：河新株式会社洗浄機・洗浄剤│バレル研磨機材│ブラスト機材│研磨材　販売及び受託加工
【油膜除去】超精密スチーム洗浄機『洗蒸気』

蒸気の力で超精密洗浄！投入→洗浄→冷却ブロー→排出→搬送の一連の工程を…

「洗蒸気」は120℃の蒸気凝縮により、スチーム洗浄の特性を向上させた精密部品の洗浄向けの洗浄機です。蒸気が凝縮する際に、一緒に汚れを集めるため、従来の洗浄機では届かなかった隅々まで洗浄が可能です。従来の洗浄機はフィルターで液を循環させるため、管理が不十分な場合油膜などの不純物が...

メーカー・取り扱い企業：株式会社松浦機械製作所
マスク洗浄機｜全自動マスク洗浄装置「TWC-200A」

マスクに付着した1μm以上のパーティクルとレジスト残渣を一挙に完全除去

TWC-200Aは露光工程で使用されるマスクの洗浄に特化して開発されました。本装置の特長はマスクに付着したレジストとパーティクルを一挙同時に全自動で除去する点にあります。特にレジスト除去に関しては大手薬品メーカーと共同で専用洗浄剤を開発し、除去効果を大幅に向上させるとともに安全性や地球環境にも配慮しました。オペレーターはマスクを装填したカセットを乗せるだけ。危険な薬品に曝される事も...

メーカー・取り扱い企業：株式会社テクノビジョン本社
遠心バレル研磨機『Vertical Hisi』

大幅な効率化を実現！高性能、軽量、簡単、長寿命な遠心バレル研磨機のご紹…

『Vertical Hisi HS-2-4V II』は、生産効率アップで、大幅なコスト削減をサポートする遠心バレル研磨機です。バレル槽はオールウレタン製で、従来槽に比べ大きく軽量化。女性オペレータでも持ち運び・装入の取り回しはラクラク、迅速で効率的な作業に貢献します。バレルケースに装入されたバレル槽の上に、クロスストッパーの位置を合わせるシンプルな機構を採用して...

メーカー・取り扱い企業：河新株式会社洗浄機・洗浄剤│バレル研磨機材│ブラスト機材│研磨材　販売及び受託加工
回転バレル研磨機『Rotary Barrel』

低コストで様々なニーズに対応するバレル研磨のオールマイティ機をご紹介し…

『Rotary Barrel』は、魅力あるイニシャルコストと広い研磨領域を有した回転バレル研磨機です。全ての金属、プラスチック、陶磁器、貴石、ガラスなどのバリ、カエリ、スケール取り、表面研磨の粗仕上げから細仕上げ、光沢・鏡面仕上げまで対応可能。当社では、小さいエネルギーで大きな仕事ができ、長時間研磨に好適な「水平式回転バレル」をはじめ、「転倒式回転バレル」「可傾式...
メーカー・取り扱い企業：河新株式会社洗浄機・洗浄剤│バレル研磨機材│ブラスト機材│研磨材　販売及び受託加工
乾式バレルシリーズ『Sahara(サハラ)』

集塵により快適な作業環境を維持！湿式工程におけるコンパウンド防錆など消…

『Sahara(サハラ)』は、水を使わず、クリーンな作業環境を実現する乾式バレルシリーズです。乾式Water Freeによるトータルメリットを実現。工程(洗浄・防錆・乾燥)短縮により、人的作業が軽減します。また、研磨後の洗浄液の汚れが少ない(洗浄必要時)のも特長で、クリーンな作業環境を実現します。【特長】 ■乾式Water Freeによるトータルメリットを実現...

メーカー・取り扱い企業：河新株式会社洗浄機・洗浄剤│バレル研磨機材│ブラスト機材│研磨材　販売及び受託加工
石英管洗浄装置(HTC/VTCシリーズ)「薬液、純水削減に貢献」

縦型洗浄装置(VTCシリーズ)は省スペースで「薬液・純水削減」に貢献。…

「HTC／VTC」シリーズは、拡散工程・CVD工程・アニール工程で使用される石英管の洗浄を目的とした石英管洗浄装置です。【特徴】 ■石英管の形状・洗浄用途に合わせた装置ラインナップ　・6インチ・８インチ・１２インチプロセス用の石英管に対応致　・石英管の形状・洗浄用途に合わせ、横型式(HTC)と縦型式(VTC)の装置を選択可能 ■省スペースで「薬液・純水削減」に貢献　・縦型...

メーカー・取り扱い企業：株式会社渡辺商行
遠心バレル研磨機『HSシリーズ』

超短時間研磨を実現！水平型遠心バレルと縦型遠心バレルをご用意しておりま…

精密加工を可能とし、超短時間研磨も実現する遠心バレル研磨機です。「水平型遠心バレル」と「縦型遠心バレル」をラインアップ。縦型遠心流動の「Vertical」は、硬くて脆い材質のチッピング対策に効果があり、セラミックコンデンサー・マグネット (ネオジ・フェライト)・セラミックなどに好適です。【特長】 ■超精密研磨加工が可能 ■超短時間研磨を実現 ■超高性能機...
メーカー・取り扱い企業：河新株式会社洗浄機・洗浄剤│バレル研磨機材│ブラスト機材│研磨材　販売及び受託加工
渦流バレル研磨機『クリアランスゼロ』

小型精密部品の小ロット・多品種生産に好適！3mm以下の研磨石の使用が可…

『クリアランスゼロ』では、回転槽側に耐摩耗性の高いセラミックを使用し、固定槽が自重でその上に乗ることで、接触摺動しクリアランス≓0にしています(特許NO.4130922)。これにより、従来不可であった小サイズの研磨石の使用や部品の研磨が可能となり、様々な研磨条件に対応できるようになりました。【特長】 ■特許NO.4130922 ■固定槽と回転槽のクリアランスが≓0...

メーカー・取り扱い企業：河新株式会社洗浄機・洗浄剤│バレル研磨機材│ブラスト機材│研磨材　販売及び受託加工
e-クリーン　2液1槽式脱脂洗浄機（HC溶剤+HFE溶剤）　

省スペース・低ランニングコスト・低価格の超音波洗浄機！安全・簡単乾燥を…

炭化水素（HC)系洗浄溶剤で洗浄⇒HFE溶剤蒸気でリンス洗浄⇒乾燥工程で速乾性のあるHFE溶剤を回収（乾燥・洗浄終了）⇒取り出し HC溶剤は洗浄中、HFE蒸気に覆われ、直接空気に触れる事が無い為、引火の心配が不要。リンス洗浄工程で使用するHFE溶剤の沸点は56℃で洗浄物の表面温度は56℃以上には上昇しません。洗浄後の製品取り扱いが非常に簡単になります。本装置で使用します溶剤は全て回収...

メーカー・取り扱い企業：大川興産株式会社
洗浄装置｜ウェハーカセット・キャリア洗浄装置「 TCC-803」

ハイエンド、高付加価値製品の製造プロセスで用いられるウェハーカセット、…

『高度清浄化をサポートする高度な洗浄ノウハウを凝縮！』多様化する半導体デバイス、ナノ領域に入ったデザインルール、益々高度化する環境の中で求められる更なる歩留り向上、これらの問題をクリアーするソリューションの一つにコンタミネーションコントロールが最重要課題として位置付けられています。テクノビジョンが提供するカセット洗浄装置「モデルTCC-803」は、この様な高度清浄化をサポートする高...

メーカー・取り扱い企業：株式会社テクノビジョン本社
ダイシングリング洗浄装置『株式会社高田工業所製』

ジェット洗浄タイプ（非接触式）と、スクラブ洗浄タイプ（接触式）の2種類…

今まで手作業での洗浄や、業者へ洗浄を依頼していたりとランニングコストや作業面でお困りではありませんか？本装置はダイシングフレームを自動搬送で洗浄処理致します。　・ジェット洗浄タイプ（ランニングコスト低減に特化したタイプ）　・スクラブ洗浄タイプ（洗浄力に特化したタイプ）上記の2種類をラインナップしております。お客様でご使用のフレーム汚れに合った仕様を選んで頂くことで品質や、コスト...

メーカー・取り扱い企業：日精株式会社本社
高田工業所社製ダイシングフレーム洗浄装置『TFCシリーズ』

ダイシングフレームに付着したテープ糊痕や指紋等を高い洗浄能力を持つ独自…

糊や手脂などをジェットを使用し除去します。ブラシ等の接触物がない為、糊等の2次付着による洗浄性の劣化がありません。 ■特長・高い洗浄性能をもつ独自のジェットノズルを採用した非接触方式洗浄機構 →ブラシ洗浄及びウエス等の布を使用しないので、目づまりによる洗浄力低下、及び再付着がありません。・有機溶剤を使用した薬液洗浄方式・縦型回転機構による薬液高回収率の実現・1,000...

メーカー・取り扱い企業： JFE商事エレクトロニクス株式会社プロセスソリューション営業部実装プロセス営業室
パーカーハネフィン　油水分離装置 (油水分離器)

【デモ機貸与可能！】浮上油分離から液中分離まで油水分離のお悩みを効果…

果的に分離することができます。 CRS及びFOSシリーズの油水分離器は、様々なろ過技術で洗浄液をクリーンにし、液体を有効活用する分野で大きく活躍しています。精密部品の加工後の付着した油を洗浄する洗浄機に多用され、半導体、燃料電池等の精密洗浄にも対応し、水や溶剤洗浄に適した製品です。ダイヤフラムポンプや電動ポンプを使用して、洗浄機タンク内の油混入した洗浄液を高流量で吸い上げ、装置内の分離版やフ...
メーカー・取り扱い企業：株式会社シー・エス・シー本社、大阪支店、福岡出張所
『ME500-2611』　卓上型自動スピン洗浄装置

限られたスペースを有効活用！卓上型自動スピン洗浄機です。

本装置は、対象ワークを手動にてセットしスピン回転により超音波洗浄、純水リンスエアーブロー乾燥を行う卓上型自動スピン洗浄機です。...

メーカー・取り扱い企業：マック産業機器株式会社テクノロジーセンター
高圧洗浄機　MN-100

高圧洗浄機

高圧洗浄機

メーカー・取り扱い企業：コニテク株式会社
FOUP洗浄装置

洗浄しにくい凹凸部を高圧パルスジェットで洗浄！手作業よりも安定した洗浄…

多関節ロボットで被洗浄物との距離を一定間隔に保ちながら、高圧パルスジェットによる各種ボックスの洗浄を行う洗浄装置です。洗浄~乾燥工程まで対応が可能です。【特長】 ■フープ等の複雑な形状に合わせて洗浄 ■洗浄工程を自動化し、洗浄効果が安定 ※詳しくはお問い合わせいただくか、カタログをダウンロードしてご覧ください。...※詳しくはお問い合わせいただくか、カタログをダウンロードしてご覧...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ゼビオス（XEVIOS CORP.,）
ウェーハ自動剥離装置（剥離洗浄機）

PHTは半導体業界の中でウェーハ自動剥離装置（剥離洗浄機）のニッチトッ…

ワイヤーソー (スライス) 後のウェーハ自動剥離装置です。プレート治具に接着されたインゴットを投入側にセットすることで、粗洗浄～ウェーハ剥離～ウェーハ枚葉洗浄～乾燥～カセット収納までを全自動で行うシステムです。剥離後のプレート治具は、アンローダ側に排出されます。剥離は、熱風加熱方式で、1枚ごとに行います。剥離後のウェーハは、枚葉式の洗浄です。2流体高圧洗浄～スクラブ洗浄～リンス洗浄～吸水ローラ乾...

メーカー・取り扱い企業： PHT株式会社
フォトマスク洗浄装置｜簡易型マスク洗浄装置TWC-302

「スクラブ洗浄＋リンス」＆「Hot純水乾燥」の2槽式簡易型マスク洗浄装…

マスクに付着した1μm以上のパーティクルを除去する簡易型のマスク洗浄装置。 2槽式のマスク洗浄装置で、1槽目で専用ブラシによるスクラブ洗浄とリンスを行い、2槽目ではホット純水乾燥を行う簡易型のマスク洗浄装置です 1層目のスクラブ洗浄において、専用薬液による洗浄もオプションとして提供しております。専用薬液を使用すると、レジスト残渣を除去することも可能になります。...■主な特長・ワーク...

メーカー・取り扱い企業：株式会社テクノビジョン本社
洗浄装置『ダイレクトパス』　【電子基板のフラックス洗浄】

電子基板、電子部品のフラックス洗浄で実績多数！　狭い隙間の汚れを効率的…

ダイレクトパス洗浄機は各種電子基板用のフラックス洗浄装置です。強制液流により洗い辛い狭い隙間の汚れを効果的に洗浄可能です。大手半導体、電子部品メーカー様に多数採用頂いております。数10μｍの狭ギャップのフ...

メーカー・取り扱い企業：荒川化学工業株式会社ファイン・エレクトロニクス事業部
液中ジェット洗浄装置PINE JET【電子基板のフラックス洗浄】

電子基板、電子部品のフラックス洗浄に広く利用されている洗浄装置です！

液中ジェット洗浄機は各種電子基板用のフラックス洗浄装置です。ワークへの負荷を抑え、ジェット噴流による高い洗浄効果が得られます。大手半導体、電子部品メーカー様に多数採用頂いております。インターポーザー、ハ...

メーカー・取り扱い企業：荒川化学工業株式会社ファイン・エレクトロニクス事業部
ワーク洗浄装置

◆ワークに表面に付着した汚れの洗浄に

*　高圧の細かいシャワー水で洗浄するため、通常洗浄機では取れない汚れも落とすことができます。 *　痛みやすいワークでも、汚れだけを落とすことができます。　 *　洗浄水を循環利用できます。 *　装置内部にスチームを投入することにより...

メーカー・取り扱い企業：有限会社アイ・エス・エス
高田工業所社製バッチ式ウエハー自動洗浄装置『TWSシリーズ』

クリーン化技術・搬送/制御技術を駆使し、各種薬液に対応したバッチ式洗浄…

高田工業所では、長年の経験に裏打ちされた、クリーン化技術、搬送／制御技術等を駆使し、トータルエンジニアリング力で、お客様に最適な装置を設計・製作されております。 3D CADをはじめ、各種エンジニアリングツールにより、省スペースで使い勝手の良い装置をお届いたします。ウエハー（RCA）洗浄装置、精密部品洗浄装置、インゴット洗浄装置、エッチング装置、IPAドライヤー装置など各種装置を取り揃え...

メーカー・取り扱い企業： JFE商事エレクトロニクス株式会社プロセスソリューション営業部実装プロセス営業室
乾式バレル研磨機『サイクロフィニッシュ』

キズのない鏡面仕上げ！専用メディアで、Ra＜0.005μmを実現します

『サイクロフィニッシュ』は、専用メディアで、Ra＜0.005μmを実現する乾式バレル研磨機です。ターレット1回転時にスピンドルヘッド3回転、スピンドル9回転します。スピンドルヘッドは専用モーターで更に増速又は減速逆転が可能。ワーク軸部をバレル槽へ沈めて低速～高速＆正逆旋回させることで研磨加工を行います。【特長】 ■加工ムラ削減：6段階のワーク軸傾斜+正逆回転 ...
メーカー・取り扱い企業：河新株式会社洗浄機・洗浄剤│バレル研磨機材│ブラスト機材│研磨材　販売及び受託加工
【ブラスト工法】負圧吸引式ブラスト

“トルネード吸引”という新発想が､ブラスト加工の常識を根底から覆します…

『負圧吸引式ブラスト』は、開放端側からエア吸引を行い、他端より研磨材を乱流吸引させて、製品内部の研掃を行うブラスト工法です。負圧吸引により、ワーク全てに等速で砥粒が衝突。安定した旋回流を発生させ、遠心力にて内面を確実に捉え研磨します。手間のかかる従来技術の代替処理として、重要でありながら人材不足になりやすい分野の自動化・ファクトリーオートメーションを担う、粉じんの出ない...
メーカー・取り扱い企業：河新株式会社洗浄機・洗浄剤│バレル研磨機材│ブラスト機材│研磨材　販売及び受託加工
ジャイロ研磨機『GS-100』

光沢用研磨石でバリ取り～光沢仕上まで！打痕なく、高度な仕上が可能

『GS-100』は、光沢用研磨石でバリ取り、光沢仕上、面向上など幅広い加工が可能なジャイロ研磨機です。研磨能力に対して、研磨石の磨耗が非常に少なく、他バレル研磨機と違い、タクト運転による自動化がし易いです。また、治具付することで打痕なく、高度な仕上が可能なほか、クーラント液を循環して使うため、排水量を極端に抑えられます。【特長】 ■幅広い加工が可能 ■研磨能...
メーカー・取り扱い企業：河新株式会社洗浄機・洗浄剤│バレル研磨機材│ブラスト機材│研磨材　販売及び受託加工
紫外線洗浄改質装置【回転機構を取付可能。むらなく照射！】

密着性、濡れ性の向上に！コンパクト設計の紫外線洗浄改質装置『OZB-0…

『OZB-021』は、短波長紫外線とオゾンの効果で有機化合物の分解、洗浄及び改質を行う紫外線洗浄改質装置です。均一性に優れた平面グリッド管ランプを採用。操作スイッチ及び安定器電源一体型のコンパクト設計となっています。また、照射時間の設定調整機能及びランプ寿命積算計付きです。【特長】 ■均一性に優れた平面グリッド管ランプを採用 ■操作スイッチ及び安定器電源一体型の...

メーカー・取り扱い企業：株式会社たけでん UVシステム G
振動バレル研磨機『Vibratory Barrel』

小型から大型部品のバリ取り・平滑仕上げに好適！付帯装置のレイアウト化が…

『Vibratory Barrel』は、バリ取り量産加工に適した振動バレル研磨機です。幅広い容量対応、抜群の有効容量で高効率稼働を実現。バレル槽中心にポールが無く、ソフトな研磨加工が可能な「無芯振動バレル」をはじめ、「サークル型振動バレル」や「卓上型振動バレル」などをご用意しております。【特長】 ■小型から大型部品のバリ取り・平滑仕上げに好適 ■付帯装置のレイア...
メーカー・取り扱い企業：河新株式会社洗浄機・洗浄剤│バレル研磨機材│ブラスト機材│研磨材　販売及び受託加工
高田工業所社製IPA蒸気洗浄装置『TIDシリーズ』

IPA蒸気による洗浄乾燥装置！デバイス・ウエハー・ガラス・部品などのク…

高田工業所では、長年の経験に裏打ちされた、クリーン化技術、搬送／制御技術等を駆使し、トータルエンジニアリング力で、お客様に最適な装置を設計・製作されております。 3D CADをはじめ、各種エンジニアリングツールにより、省スペースで使い勝手の良い装置をお届いたします。ウエハーをIPA（イソプロピルアルコール）の蒸気雰囲気中において洗浄・乾燥する装置『TIDシリーズ』は、IPAの品質管理...

メーカー・取り扱い企業： JFE商事エレクトロニクス株式会社プロセスソリューション営業部実装プロセス営業室
テープ研磨装置

砥石研削に比べて圧倒的な管理の簡単さ！条件設定で誰でも同じように仕上げ…

当社では、三共理化学社製の『テープ研磨装置』を取り扱っております。砥石研削に比べて圧倒的に管理が楽で、条件さえ決めてしまえば誰でも同じように仕上げることが可能です。加工物により研磨フィルム巾を選択できるので、高能率・低コストを実現します。【特長】 ■高能率・低コスト ■簡単操作 ■常に新しい砥粒面 ■容易なフィルム交換 ■多様な研磨材 ※詳しくはPD...
メーカー・取り扱い企業：河新株式会社洗浄機・洗浄剤│バレル研磨機材│ブラスト機材│研磨材　販売及び受託加工
ブロワブラスト『AB-1型』

電気量・CO2排出量削減！幅広い研磨材の使用が可能なブロワブラスト

『AB-1型』は、エアー源にルーツブロワを使用したブロワブラストです。空気噴射の制御が容易な直圧方式のため、軽量から重量まで幅広い研磨材の使用が可能です。ルーツブロワは、電動式送風機のため、インバーター制御による噴射風速の設定が自在にできます。【特長】 ■省エネエアー源 ■対応研磨材 ■風速制御が簡単 ■直圧方式を採用 ■シンプル構造 ※詳しくはPD...
メーカー・取り扱い企業：河新株式会社洗浄機・洗浄剤│バレル研磨機材│ブラスト機材│研磨材　販売及び受託加工
チップ洗浄機

2流体でウェーハを徹底洗浄します。

純水とエアーの2流体でダイシング後のウェーハ表面を洗浄する装置です。独自開発の洗浄カップで浮遊系ダストの再付着を制御します。ご使用用途に応じ、様々なアレンジに対応します。【特徴】　■搬送部をコンパクトにすることで、装置の小型化に成功　■純水とエアーの2流体でウェーハを徹底洗浄が可能　■歩留まりに貢献...【参考仕様】　■リングフレームサイズ：200mm、300mm 　...

メーカー・取り扱い企業：レイリサーチ株式会社
フォトマスク洗浄装置（セミオート）

シリーズ累計200台以上のロングセラ機種です。

■国内マスク製造メーカー業界ではシェアー90%を誇ります。 ■「研磨後洗浄」「受け入れ洗浄」「Final洗浄」に最適。 ■デバイスメーカ様では、「コンタクト露光時に付着したレジスト除去」に実績豊富 ■基板サイズごとにシリーズ化した標準装置ですが、カスタム対応も可能です。 ■基本処理プロセスは、「洗剤/スクラブ⇒DIW2流体⇒表裏リンス⇒スピン乾燥」　◎スクラブや2流体処理時には、スキャ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ソフエンジニアリング
ウエハー自動洗浄装置　枚葉式自動洗浄装置　ディップタイプ

【デモ機貸し出し可能！】Φ300まで対応可能なディップタイプの枚葉式洗…

機はディップ型の枚葉処理機であり、ローダー部でワークを縦に起し、搬送ロボットで各処理を行います。最終洗浄が終わったのち、反転機構によりワークを横に戻し、スピン乾燥を行う、カセットtoカセットの洗浄機です。詳しくはお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業：ジャパンクリエイト株式会社
焼き付け塗装剥離洗浄システム

今まで不可能だった焼き付け塗装や塗膜の堆積したハンガー治具等の、剥離洗…

本システムは、特別に開発された高温洗浄機とシンナー等の人体及び環境への害となる毒性物質を一切含有しない安全な植物性洗浄液ペイントソルブ-Wを使用し、今まで不可能だった焼き付け塗装や塗膜の堆積したハンガー治具等の、剥離洗浄を ...

メーカー・取り扱い企業：インフィニティ株式会社
プラズマ装置プラズマクリーナープラズマ洗浄装置カタログ

ドライ洗浄のプラズマ技術で環境を守り、半導体デバイスの生産性を大幅に向…

当カタログは、ヤマトマテリアルが取り扱うプラズマ装置を掲載したカタログです。デモ機や、プラズマ装置のラインアップの他、「RIE プラズマ処理のしくみ」や、「DP プラズマ処置のしくみ」などもご紹介しています。当社では、プラズマドライクリーナー、エッチャー（エッチング）、アッシャー（アッシング）の処理目的に合ったプラズマ装置を、標準品以外にもカスタムメイドで対応。企...

メーカー・取り扱い企業：ヤマトマテリアル株式会社
ME-5000R 全自動ウエハースピン洗浄装置

フルオートマティックスピン洗浄装置　300mm/8インチウエハー、ガラ…

本装置は、ウエハーカセットを本体に手動でセットし、収納されている対象ワークをロボットでスピン洗浄部に送り、スピン回転させながら二流体洗浄・超音波洗浄・N2ブロー乾燥の処理を行い、再びウエハーカセットに収納する装置です。...装置寸法 Size：　W1３00×D１８00×H2000　（300mm）/　W1100×D1400×H2000　（８インチ）工程　Process：　カセットを手動で設置→扉...

メーカー・取り扱い企業：マック産業機器株式会社テクノロジーセンター
Siナゲット洗浄装置

Siナゲット洗浄装置　専用バスケットで自動搬送　化学研磨・酸切・高品位…

本装置は、Siナゲットの洗浄を目的とした装置です。ワーク（Siナゲット）の入ったコンテナは本装置で専用の洗浄バスケットに移し替えられ、洗浄設備内に自動搬送されます。その後、バスケットは化学研磨・酸切・高品位水洗の処理を通しワークは洗浄されます。このとき、洗浄バスケットを揺動して洗浄効率を向上しています。洗浄後は乾燥専用バスケットに移され、１５０℃の温風で予備乾燥されます。 ...＜主な仕...
メーカー・取り扱い企業：株式会社ゼビオス（XEVIOS CORP.,）