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マンガでわかる!ポンプの選び方〈定量移送・供給編〉 ※無料進呈中
PR【トラブル事例あり】マンガで丸わかり!正しいポンプの選び方と選定ミス対…
こんなお悩みございませんか?ポンプ選定に失敗してお困りの方からの相談が多くなっています。 「流量が安定しない」 「流量が落ちる」 「液が漏れる」 「液が変質する」 「液に異物が混入する」 「あとからいろいろお金がかかる」 これらの問題が発生する原因をマンガでわかりやすく解説。選定ミスによるトラブル事例とその対策を知りながら、ポンプ選びのコツを学べます。 容積式ポンプは、...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社タクミナ
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PR無脈動・コンタミレス・高粘度に!独自のサインカーブ理論を採用したポンプ
『サインポンプ』は、ロータ(回転羽根)になめらかでやさしい曲線「サインカーブ」をそのまま取りいれた容積式ポンプです。 この斬新なフォルムがポンプの性能を限りなく理想に近づけます。 低粘度から高粘度の液の移送に、また物性ダメージを受けやすい液の移送にも適しています。 さらに脈動も小さく、圧力、流量変動もほとんどありません。 【特長】 ○「固形物を壊さない」食感を変えずに送れる ○「せ...
メーカー・取り扱い企業: Watson-Marlow(ワトソンマーロー)株式会社 東京本社、大阪支社
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半導体製造装置の流量制御に必要な高精度の圧力センサ各種。モジュールのカ…
CON JAPAN2021に出展いたしました】 多くのお客様にブースにお寄りいただきありがとうございました。 【半導体製造装置の流体制御に】 半導体製造工程においてはプロセスガスの高精度な流量制御が不可欠です。厳しい条件下で高いパフォーマンスを発揮する各種圧力センサ、カスタマイズできるモジュール機能などをご提供しております。 【注目製品】 新製品:温度変化に強いADROITシリー...
メーカー・取り扱い企業: 日本ベーカーヒューズ株式会社&ベーカーヒューズ・エナジージャパン株式会社 (旧)GEセンシング&インスペクション・テクノロジーズ株式会社 & GEエナジー・ジャパン株式会社
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多層膜の作成を自動で実行することが可能なスパッタ装置の納入事例をご紹介…
【MS-3C100L ソフトウェア機能】 ■製膜ログ機能 ・各処理工程における、真空度・冷温媒温度・ガス流量・スパッタ電力値・ 基板ホルダー回転速度の自動保存が可能 ■製膜レシピ機能 ・各処理工程における、使用基板・使用ターゲット・真空度・冷温媒設定温度・ガス流量・ スパッタ電力値・基板ホルダ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社大阪真空機器製作所
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初期導入コストを抑え、拡張で高性能化が可能!研究ステージに合せてグレー…
ションにより、研究ステージに合せて グレードアップしていただくことが可能です。 【特長】 ■初期導入コストを抑え、後の拡張で高性能化が可能 ■基本仕様でアルゴン用MFCを備えており、ガス流量を精密に制御 ■成膜方向は試料へのゴミ付着を防止するためにデポアップを採用 ■卓上タイプながら真空シール性の高いSUSチャンバを採用 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社FKDファクトリ
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優れた汎用性を備え、多くのシステムに対応する先進のデジタルMFC/MF…
要望に応じて、シングルガスモデル、マルチガス・マルチレンジモデルをご用意しています。 マルチガス・マルチレンジモデルは、スペアMFCの在庫の大幅削減に寄与する事でコストダウンを図っています。また、流量のモニタリングと制御を総合的に行うため、RS-485通信機能(コンバータ付RS-232通信機能)と複数用意されている診断およびアラーム機能を活用し、迅速に操作パラメータを入手できます。...
メーカー・取り扱い企業: 日立Astemo&ナガノ株式会社
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経済性に優れた高精度ラバーシール
特長 ・高速応答性 ─ 設定値入力後2秒未満で流量安定 ・エラストマー(ゴム)シール ・VCR、VCO、Swagelok準拠の接続部 ・10sccm~200slmのフルスケール流量レンジ ・ノーマリ・クローズ型またはノーマリ・オープン型ソレ...
メーカー・取り扱い企業: 日立Astemo&ナガノ株式会社
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半導体製造装置やサブシステムの圧力校正試験にPACEシリーズを導入しま…
います ■圧力制御スピード:他社製品の最大5.5倍 ■生産ライン上の圧力校正試験に最適(試験の自動化プログラムあり) ■モジュール式(シングル・デュアルが選べます) 【装置の気体・液体の流量計測、品質管理に】 ■圧力コントローラPACE:モジュール式で高精度且つ、幅広い圧力範囲に対応 ■PACE1000圧力インジケータ:最大3つの圧力を同時表示、最大5チャンネルのセンサが入力可能。...
メーカー・取り扱い企業: 日本ベーカーヒューズ株式会社&ベーカーヒューズ・エナジージャパン株式会社 (旧)GEセンシング&インスペクション・テクノロジーズ株式会社 & GEエナジー・ジャパン株式会社
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高機能 コストパフォーマンスに優れた研究開発用RF/DCマグネトロン式…
◉ 装置運転・レシピ管理などの全てを7"タッチパネルで一元管理。 ◉ ユーザの登録したフィルムレシピ、プロセス制御(真空引/ベント、成膜時間、出力/時間、MFC流量圧力自動制御、カソード切替、シャッター開閉、加熱・昇降回転調整など)を全自動運転(手動も可能)〜Windows PCでデータロギングができます。 【主な仕様】 ・RF/DCマグネトロン方式 ...
メーカー・取り扱い企業: テルモセラ・ジャパン株式会社
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明日のプロセスニーズに応える次世代PI技術
この画期的な技術プラットフォームは、従来の技術と比べて、応答性、ガス流量安定性、計測精度を向上させるとともに、リアルタイムプロセス制御において優れた性能を発揮します。その優れた流量安定性により、チャンバ間のプロセス再現性が向上し、生産歩留まりを改善します。 PI-98...
メーカー・取り扱い企業: 日立Astemo&ナガノ株式会社
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コンパクト、60ℓ容積チャンバーにスパッタ・蒸着・EB・アニールなどの…
Lチャンバー) 基板加熱:Max500℃, 800℃, 又は1000℃(C/C、又はSiCコート) 基板回転・上下昇降(ステッピングモーター自動制御) APC自動制御:アップストリーム(MFC流量調整)又はダウンストリーム(排気側バルブ自動開度調整) 寸法:1,120(W) x 800(D) ●プラズマエッチングはメインチャンバー、ロードロックチャンバーのいずれへも設置可能です。 ●抵...
メーカー・取り扱い企業: テルモセラ・ジャパン株式会社
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放電操作が容易!RF電源にオートマッチングを採用したコンパクトな設計
■適用ターゲット:Au/Ag/Pt/Pd/Ni/Cu/W/Cr/Ti/Ta/Mo/各種酸化物/各種窒化物 ■真空排気系:ターボ分子ポンプ+ロータリーポンプ ■真空計:フルレンジゲージ ■ガス流量調整:アルゴン用MFC 50sccm ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社FKDファクトリ
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高精度・信頼性のメタルシールモデル
FC-R7800シリーズは、高精度の流量制御を行うだけでなく、 メタルシールによる優れた高い気密性を備え、主要なガス制御アプリケーションに適したシステムです。 業界標準またはAera独自の電気系接続部を選択できるため、利便性があり、既...
メーカー・取り扱い企業: 日立Astemo&ナガノ株式会社
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スパッタリング装置 多機能スパッタ装置MiniLab-S060A
コンパクト、60ℓ容積チャンバーにスパッタ・蒸着・EB・アニールなどの…
Lチャンバー) 基板加熱:Max500℃, 800℃, 又は1000℃(C/C、又はSiCコート) 基板回転・上下昇降(ステッピングモーター自動制御) APC自動制御:アップストリーム(MFC流量調整)又はダウンストリーム(排気側バルブ自動開度調整) 寸法:1,120(W) x 800(D) ●抵抗加熱蒸着・有機材料蒸着・EB蒸着などの混在仕様も構成可能です。...
メーカー・取り扱い企業: テルモセラ・ジャパン株式会社
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