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PR非対称構造で高流量・低圧損・長寿命!超純水製造にも!非対称構造のポリエ…
『アンドロメダシリーズ』は、 非対称構造のポリエーテルサルフォンメンブレンフィルターです。 非対称構造のため空隙率が高く、高流量・低圧損・ロングライフを実現。 流出物が少なく、少量のリンスアップで非抵抗値が回復します。 超純水製造アプリケーションや、プロセス水の無菌化に適しています。 また、スチーム滅菌対応タイプもラインアップしています。 【特長】 ■高流量 ■低圧損 ...
メーカー・取り扱い企業: ワイエスフィルタージャパン株式会社
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高性能・高圧 多用途ポンプ 【プラステコ】 L.TEXシリーズ
PR小流量から大流量、水状から高粘度まで、様々な流体の定量送液ならプラステ…
用途によって選べるタイプ!! ●ポンプ単体(装置組込式) ●制御部一体型 標準で最大40MPaまでの高圧送液に対応するプランジャ-ポンプです。 当社の主力製品である『超臨界不活性ガス定量供給装置』においても多数実績があります。 最大流量は 10mL/min ~ 1000mL/min と幅広く豊富な機種をご用意しておりますので、 研究・実験用途に適した小流量から量産向けの大流量まで、ご使用目的に...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社プラステコ 本社
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2mmlit/min以下の流量噴霧が可能に!
【Sonaer】ソニア社製低流量型スプレーノズルノズル ミクロン・サブミクロンの粒子にして無駄なく小さな部品に焦点を当てることができます。 ノズルはフラットとワイドスプレーチップの2種類があります。 これらのノズルはピンポイ...
メーカー・取り扱い企業: ティックコーポレーション株式会社
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最大1,000lpmまでの流量を確保
■小型・大流量 一般的なインラインガスフィルタのサイズで、大流量濾過が可能です。 高い粒子除去性能 ■0.003μm 以上の粒子を高い効率で除去致します。 ■優れた耐食性 フィルターメディアとサポート材...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ピー・ジェイ
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レヒラー社のノズル技術とソノシス社の超音波技術のコラボ商品
作ってしまうケースもあります。 それを改善する為にこの超音波スプレーノズルされる事が多々あります。 特長 ・液体を加圧せずに供給出来る為、消費電力が低い(エネルギーコストが安い) ・最小流量から流量に関係なく均一霧化 ・全流量域での粒子径がほど一定 ・目詰まりしにくく、作業場の安全性が高い ・粒子の自己速度が遅い為、塗着効率が良い ・操作周波数は45~100lHz(機種により異...
メーカー・取り扱い企業: ティックコーポレーション株式会社
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半導体製造装置の流量制御に必要な高精度の圧力センサ各種。モジュールのカ…
CON JAPAN2021に出展いたしました】 多くのお客様にブースにお寄りいただきありがとうございました。 【半導体製造装置の流体制御に】 半導体製造工程においてはプロセスガスの高精度な流量制御が不可欠です。厳しい条件下で高いパフォーマンスを発揮する各種圧力センサ、カスタマイズできるモジュール機能などをご提供しております。 【注目製品】 新製品:温度変化に強いADROITシリー...
メーカー・取り扱い企業: 日本ベーカーヒューズ株式会社&ベーカーヒューズ・エナジージャパン株式会社 (旧)GEセンシング&インスペクション・テクノロジーズ株式会社 & GEエナジー・ジャパン株式会社
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ICPエッチング装置 RIE-800iPC/RIE-400iPC
真空カセット室を備え、プロセス再現性や安定性に優れた本格生産用装置をご…
続加工の安定性を 誇るICPエッチング装置です。 高RFパワー(2 kW以上)を効率よく安定して印加可能で、良好な均一性を実現。 また、反応室に直結した排気システムを採用することで、小流量・ 低圧力域から大流量・高圧力域の幅広いプロセスウィンドウを実現しています。 【特長】 <RIE-800iPC> ■最大Φ8”ウエハ対応 ■放電形式に誘導結合プラズマを採用 ■真空カ...
メーカー・取り扱い企業: サムコ株式会社
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優れた汎用性を備え、多くのシステムに対応する先進のデジタルMFC/MF…
要望に応じて、シングルガスモデル、マルチガス・マルチレンジモデルをご用意しています。 マルチガス・マルチレンジモデルは、スペアMFCの在庫の大幅削減に寄与する事でコストダウンを図っています。また、流量のモニタリングと制御を総合的に行うため、RS-485通信機能(コンバータ付RS-232通信機能)と複数用意されている診断およびアラーム機能を活用し、迅速に操作パラメータを入手できます。...
メーカー・取り扱い企業: 日立Astemo&ナガノ株式会社
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経済性に優れた高精度ラバーシール
特長 ・高速応答性 ─ 設定値入力後2秒未満で流量安定 ・エラストマー(ゴム)シール ・VCR、VCO、Swagelok準拠の接続部 ・10sccm~200slmのフルスケール流量レンジ ・ノーマリ・クローズ型またはノーマリ・オープン型ソレ...
メーカー・取り扱い企業: 日立Astemo&ナガノ株式会社
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半導体製造装置やサブシステムの圧力校正試験にPACEシリーズを導入しま…
います ■圧力制御スピード:他社製品の最大5.5倍 ■生産ライン上の圧力校正試験に最適(試験の自動化プログラムあり) ■モジュール式(シングル・デュアルが選べます) 【装置の気体・液体の流量計測、品質管理に】 ■圧力コントローラPACE:モジュール式で高精度且つ、幅広い圧力範囲に対応 ■PACE1000圧力インジケータ:最大3つの圧力を同時表示、最大5チャンネルのセンサが入力可能。...
メーカー・取り扱い企業: 日本ベーカーヒューズ株式会社&ベーカーヒューズ・エナジージャパン株式会社 (旧)GEセンシング&インスペクション・テクノロジーズ株式会社 & GEエナジー・ジャパン株式会社
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明日のプロセスニーズに応える次世代PI技術
この画期的な技術プラットフォームは、従来の技術と比べて、応答性、ガス流量安定性、計測精度を向上させるとともに、リアルタイムプロセス制御において優れた性能を発揮します。その優れた流量安定性により、チャンバ間のプロセス再現性が向上し、生産歩留まりを改善します。 PI-98...
メーカー・取り扱い企業: 日立Astemo&ナガノ株式会社
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高いメンテナンス性!エッチング均一性・パターン精度が向上した、エッチン…
東京化工機の『エミネント2』は、5カ国180装置納入実績を誇る エッチング装置「エミネント」の後継機です。 スプレー形状、流量改善等による基板上下両面の均一性が、 35%以上改善されました。 また、新型ホイールを採用し、コア材40μm基板の量産搬送対応を確立。 メンテナンス性も大幅に向上しました。 【特長】...
メーカー・取り扱い企業: 東京化工機株式会社 本社・長野工場
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高精度・信頼性のメタルシールモデル
FC-R7800シリーズは、高精度の流量制御を行うだけでなく、 メタルシールによる優れた高い気密性を備え、主要なガス制御アプリケーションに適したシステムです。 業界標準またはAera独自の電気系接続部を選択できるため、利便性があり、既...
メーカー・取り扱い企業: 日立Astemo&ナガノ株式会社
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