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34件 - メーカー・取り扱い企業
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PR熱電対素線は精密な測定のために0.4級で製作！簡易測定用熱接点付熱電対…
『熱接点付熱電対』は、温度分布測定等の簡易な測定にご使用いただけます。 熱電対素線は精密な測定のために0.4級で製作されており、被覆材質は、 テフロン被覆からセラミック被覆まで、使用温度により選択可能。 端末の種類は、Y端子やコネクター付など6種類ご用意しております。 【特長】 ■簡易測定用熱接点付熱電対 ■温度分布測定等の簡易な測定に好適 ■被覆材質は、テフロン被覆から...
メーカー・取り扱い企業： ウインテクス株式会社
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高温炉用熱電対(半導体製造装置向け)「高精度な温度測定機能」
高精度な温度測定機能により、熱処理工程の温度制御に好適！
高温炉での熱処理工程の温度制御・温度測定用センサとしてご使用頂いております。 【特徴】 ・新品の製作はもちろん、お使いの各種熱電対の改鋳も承っております ・専用のクリーンルームにて生産しています ・高精度を実現します 厳選された素線（高純度材料）を用い、全数温度試験を行い、専用の梱包箱にて出荷いたします ・...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社渡辺商行
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ウェーハ温度分布計測に必要不可欠なツール
カスタマイズ製品。ウェーハサイズ５・８・１２インチ，熱電対センサ点数１・５・９点，絶縁被覆テフロン・アルミナ繊維・石英など各仕様を選択することが可能。標準以外の仕様も製作可能。 【特徴】 ○全製品に試験成績書（無料）を添付 ○定期校正も可能 ...
メーカー・取り扱い企業： 安立計器株式会社
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小型・軽量で高効率！熱電対、サーモスタットを標準装備し、IN/OUTの…
標準継手はUJR 1/4 Femaleサイズで、 1/4～1/2サイズまでの入口/出口サイズに 対応します。 【特長】 ■WEP菅のみ使用したクリーンな構造 ■小型・軽量で高効率 ■熱電対、サーモスタットを標準装備 ■IN/OUTの継ぎ手は変更可能 ■SS / S / M / L の4サイズを展開 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 ...
メーカー・取り扱い企業： ワッティー株式会社
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コナックスセミコンダクター社は、ASM Epsilon(R)向けの高品…
−ASM Epsilon(R) 150mm, 200mm, 300mmに対応 −ANSISpecial(JISクラス１相当）Rタイプ熱電対 −石英は半導体グレードのGE214を使用 −短納期 −全てのセンサーのコネクタにレーザー刻印にてシリアル番号を付加 ...
メーカー・取り扱い企業： ＩＢＰテクノロジー株式会社
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Max1000℃、MFC最大3系統、APC圧力制御、4"、又は6"基板…
大3系統まで増設が可能、精密に調整されたプロセスガス圧力での焼成作業が可能です（APC自動プロセス制御システムオプション）。 又、フロントビューポート、ドライスクロールポンプ、特殊基板ホルダー、熱電対増設、などオプションも豊富。 チャンバー内加熱ステージは、プロセスガス雰囲気・処理温度により３種類のバリエーションがあります。 ・ハロゲンランプヒーター：Max500℃ ・C/Cコンポジ...
メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社
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有機物蒸着にも対応。 コンパクトで取扱いが簡単な、抵抗加熱蒸着源
はLUXEL社が30年以上にわたり提供している製品です。独自のデザインと技術に基づいた本製品は、汎用性があり、操作性に優れている上に、幅広い材料の蒸着にお使い頂けます。 ルツボの材質、ライナー、熱電対、その他のオプションを適切に選択し、組み合わせることで、有機薄膜デバイス(OLED)、薄膜電池、太陽電池など、さまざまな用途への対応が可能です。 蒸着、成膜を伴う実験を行われている方には特にお薦...
メーカー・取り扱い企業： ラドデバイス株式会社
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ローコスト 必要最小構成（手動制御）管状炉・拡散炉・熱CVDとして応用…
〜3枚程度 ・石英サセプタ手動昇降式：停止位置目盛、クランパ付き ・炉芯管：Φ100 x Φ95 x 470L mm ・昇降：手動回転ハンドル ・温度調節：PIDプログラム温度調節計 ・熱電対：2対式K熱電対x1（制御用、過昇温用）、Kタイプ素線（炉芯測温用）...
メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社
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◉ 大型製造装置設備を使わず、短時間で容易にグラフェン・CNT（SWN…
，真空プロセス制御 ・ロータリーポンプ標準付属（オプション：TMP, Diffusion or Dry Pump） ・ガス供給3系統（標準） ・試料加熱ステージMax1100℃ ・Kタイプ熱電対 ◆Model. nanoCVD-8N（CNT用）◆ ・CNT生成用，常圧プロセス制御 他同上 ※ H2, Ar, N2, Ethanol, CH4等の原料、及び原料供給設備は付属...
メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社
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高速熱処理装置(RTP/RTA) AccuThermoシリーズ
高速熱処理装置（RTP/RTA装置） AccuThermo シリーズ
短時間かつ正確にコントロールされた温度で加熱処理 ○優れた加熱均一性 ○高度な温度制御 ○広域レンジパイロメータ（ERP）による高精度温度計測（オプション） ○パイロメータまたは熱電対温度センサーによる クローズドループ温度コントロール ○温度制御範囲+100℃ 〜 +1,250℃ ○高速加熱100℃/sec，高速冷却100℃/sec ○高いウェハ間プロセス再現性 ...
メーカー・取り扱い企業： ハイソル株式会社
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モーターなど回転体の温度計測に活躍！低ノイズで耐熱性も良好
型とセパレート型をご用意 ■－40～120℃の幅広い使用温度範囲 ■適切な製品選定で寿命アップ ■短納期で急なご要望にも対応可能 ■設置環境に応じた特注対応もOK ★本製品と回転体の熱電対計測について解説した資料を進呈中！★ ※解説資料は「PDFダウンロード」よりご覧いただけます。 お問い合わせもお気軽にどうぞ。...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社東測
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多目的真空蒸着装置HEXシステム用有機蒸着源
ルツボは熱伝導率の高い材質で作られていることから、蒸着レートに悪影響をおよぼすホットスポットが発生しません。アルミナ製やグラファイト製ライナーも用意されています。 ルツボの温度はKタイプ熱電対により測定されます。一般的な接触型熱電対よりも精度の高い温度測定が可能です。ORCAには電源ユニットと低温動作に最適化されたPIDコントローラーが付属します。 ORCAソースはスパッタソース...
メーカー・取り扱い企業： テガサイエンス株式会社
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配管部品の均一加熱を実現！CVDエッチング・アッシング装置に適していま…
製作も承っており、 クロス材質も複数ご用意しているので、ご希望の仕様で製作が可能。 （400℃以上のご希望の際はご相談ください。） また、サーモスタット、ヒューズ等の過昇温防止素子、及び熱電対、 Ptセンサ等の温度制御素子の取り付けなどオプションで承ります。 【特長】 ■最高使用温度400℃（高温用は別途ご相談） ■被加熱物との良好な密着性を確保 ■発熱線を高密度に実装し...
メーカー・取り扱い企業： ワッティー株式会社
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卓上小型サイズ実験炉・省スペース 最高使用温度2000℃！ 還元雰囲…
：C/Cコンポジット(カーボン炉）, タングステン(メタル炉) ・断熱材：グラファイトフェルト材(カーボン炉）, タングステン/モリブデン(メタル炉) ・温度制御：デジタルプログラム調節計、C熱電対 ・到達真空度：1x10-2Pascal（*但し空炉の場合） ・電源仕様：AC200V 50/60HZ 三相 6KVA ・冷却水：3L/min, 0.4Mpa 25〜30℃ ◆コントロ...
メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社
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最高使用温度2000℃ セミオート制御 超高温実験炉（カーボン炉、…
ン(メタル炉) ・有効加熱範囲：Φ2inch〜Φ4inch ・7inchタッチパネル操作 ・デジタル真空計 ・フローメーター（ガス流量手動調整） ・温度制御：デジタルプログラム調節計、C熱電対 ・到達真空度：1x10-2Pascal（*但し空炉の場合） ・一次側電源仕様：AC200V 50/60HZ 三相 50A NFB ・冷却水：8L/min, 0.4Mpa 25〜30℃ ◆...
メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社
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コンパクト・省スペース・省エネルギー！ 高性能 R&D用超高温実験炉
、ガス圧力低下 ◆基本仕様◆ ・電源仕様：AC200V 75A NFB 50/60HZ（C-500） ・Max2900℃（カーボン炉）、2400℃（メタル炉）、 ・プログラム温度調節計、C熱電対 ◆オプション◆ ・記録計 ・ターボ分子ポンプ ・るつぼ ◆主なアプリケーション◆ ・新素材開発 ・燃料電池 ・その他...
メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社
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高ワット密度ながら線径が細く、エレメント単体では被加熱物の形状・長さに…
高ワット密度ながら線径が細く、コイル状なので被加熱物の形状・長さに合わせることも可能な電気ヒーターです。但し、成形は一回に限ります。 エレメントに熱電対を内蔵したタイプ(線径の細いＵＷＲＰＦ１.３×２.３を除く）やクランプバンド付、鋳込みタイプもあります。 また、スパイクシステムを利用することでより簡単で、コンパクト（締め付けネジの無い）に密着...
メーカー・取り扱い企業： 日本ヒーター株式会社
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超高温基板加熱ステージに、基板昇降・回転、RF/DC基板バイアスの全て…
ティング, グラファイト/PBNコーティング, PGコーティング, AlNヒーター ◉ 各種真空フランジ接続：ICF, ISO(KF/LF), JIS(VG/VF)フランジ ◉ K, C, R熱電対付属 ◉ その他オプション：温度制御ユニット, Inc, グラファイト or SiC基板ホルダー...
メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社
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Premtek RTP-1200A（SEC）（SEF）
プロセス処理をするため、反り、厚さ、透過率等のウェハの特性に関わらず、抜群のRc・温度均一性を実現します。 熱源はハロゲンランプで、上下両面配列です。 温度測定範囲は20℃～1250℃となります。熱電対とパイロメータがリアルタイムの温度測定をし、その結果をスマートPIDおよびマルチゾーンSCRが制御することで、優れた温度コントロールを可能にします。 真空チャンバ内には酸素濃度モニターを搭載し、酸...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社インターテック販売 東京本社（拠点－関西営業所、熊本営業所）
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超高真空用ビューイングポート＆電流導入端子※総合カタログ進呈中
官公庁、研究機関、大学の方必見！当社が扱っているビューイングポート（ビ…
F2等） ■レーザー用のビューイングポート（780nm/ダイオード、1064nm/ヤグ、248nm/KrF Excimer , 193nm/ArF Excimer等） ■K,T,E,J,C等の熱電対タイプをご用意 ■取付部はICFフランジ、NWフランジ、溶接タイプ、その他カスタマイズも可能 ■MSコネクタタイプもあり etc ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下...
メーカー・取り扱い企業： 有限会社テクサム
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タングステン・モリブデン製ホットゾーンの設計からメンテナンスまでトータ…
●レーザー、ウォータージェット、ワイヤー放電によるカット品 ●炉体ホットゾーン、ヒーター、輻射熱遮蔽シールド、炉床、HIPシリンダー ●チャージキャリア、トレー、ボート、熱処理用冶具 ●熱電対保護管、その他炉体構成部品 ■□詳細は資料請求またはカタログをダウンロードして下さい□■...
メーカー・取り扱い企業： プランゼージャパン株式会社
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【半導体製造装置用】 高速回転・短納期が特長のスリップリング
【半導体製造装置などにおける対策事例進呈中！】スリップリングで回転テー…
より、カタログをまとめて進呈中！ 【カタログ掲載内容】 ■ スリップリング 中空一体型 ■ スリップリング 中空セパレート型 ■ スリップリング使用例 ■ トラブルシューティング 熱電対計測編 ...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社東測
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用途に合わせた幅広い提案が可能です。
KOAの白金温度センサは、抵抗温度特性（T.C.R.）がJIS・DIN規格に準拠しております。小形パッケージの導入により、熱時定数を改良しました。空調機器の外気温、フィルターの目詰まり検出、熱電対温度調節器の冷接点補償、温度検出プローブ、 風速計の熱線、温度補償、通信機器の送受信回路の温度補償、補正などに使われます。進工業の白金温度センサは、クラスＡ（抵抗値許容差±0.06％）を実現してお...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社オリナス 東京営業所、名古屋営業所、京都営業所、大阪営業所、香港
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炉のスライド移動による急冷機構を搭載
・熱電対センサーを炉内に導入、試料温度を直接モニター可能 ・3系統のマスフローガス流量制御系、正確なガス制御が可能 ・コンパクトでしっかりした筐体設計、卓上実験台などに簡単設置 ●その他機...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社マイクロフェーズ
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回転体の計測でお困りの方へ！『スリップリングの基礎知識』進呈中
いまさら聞けない基礎知識、トラブル対処法をわかりやすく解説！長年のノウ…
・振動ノイズ対策 ■ 多点同時計測を可能に！ スリップリング SR20M-GEVL ■ ～20000ｒｐｍ・長寿命 スリップリング S10/15K09/LHV ■ トラブルシューティング 熱電対計測編・ひずみゲージ計測編 資料はダウンロードボタンより、すぐにご覧いただけます。...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社東測
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【高品質の熱処理技術】長尺物のひずみでお困りではありませんか？
鋼材の追求から、熱処理炉の温度管理、硬さ検査、組織検査、寸法検査など高…
■高速切断機 ■試料埋込機 ■試料研磨機 ■金属顕微鏡 ■マイクロスコープ ■蛍光X線分析計 ■熱電対校正炉 ■データロガ ※詳しくは関連リンクページをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...
メーカー・取り扱い企業： 第一鋼業株式会社
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Max1000℃、MFC最大3系統、APC圧力制御、4"、又は6"基板…
大3系統まで増設が可能、精密に調整されたプロセスガス圧力での焼成作業が可能です（APC自動プロセス制御システムオプション）。 又、フロントビューポート、ドライスクロールポンプ、特殊基板ホルダー、熱電対増設、などオプションも豊富。 チャンバー内加熱ステージは、プロセスガス雰囲気・処理温度により３種類のバリエーションがあります。 ・ハロゲンランプヒーター：Max500℃ ・C/Cコンポジ...
メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社
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回転体温度計測を必要とされている方向け【スリップリング資料進呈】
回転体の温度計測で活躍！低ノイズそして耐熱性も良好なスリップリング
・加速度測定など多種多様な計測ニーズにお応えできるラインナップを提供しています。 高品質な計測を実現するため、事前打ち合わせやアフターケアにも注力しています。 ★製品と回転体の熱電対計測について解説した資料を進呈中★ ※解説資料は「PDFダウンロード」よりご覧いただけます。 お問い合わせもお気軽にどうぞ。...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社東測
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取り扱いが簡単！小型で簡易設計のフリーマウント式金属蒸着源
0 ■真空内長さ：60ｍｍ～(選択可) ■導入向き：上向き～水平(任意) ■蒸着向き：0°～90° ■るつぼ材質：アルミナ ■るつぼ容量：0.3cc ■フィラメント材質：タンタル ■熱電対：K型 ■推奨使用温度：～350℃(熱電対周辺) ■温度安定性：±2.5℃ ■消費電力：2.6Ａ/7.5Ｗ(350℃:るつぼ温度) ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ...
メーカー・取り扱い企業： 北野精機株式会社
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アニール炉『Mini-BENCH-prism 超高温実験炉』
最高使用温度2000℃ セミオート制御 超高温実験炉（カーボン炉、…
ン(メタル炉) ・有効加熱範囲：Φ2inch〜Φ4inch ・7inchタッチパネル操作 ・デジタル真空計 ・フローメーター（ガス流量手動調整） ・温度制御：デジタルプログラム調節計、C熱電対 ・到達真空度：1x10-2Pascal（*但し空炉の場合） ・一次側電源仕様：AC200V 50/60HZ 三相 50A NFB ・冷却水：8L/min, 0.4Mpa 25〜30℃ ◆...
メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社
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タングステン・モリブデン製ホットゾーンの設計からメンテナンスまでトータ…
●レーザー、ウォータージェット、ワイヤー放電によるカット品 ●炉体ホットゾーン、ヒーター、輻射熱遮蔽シールド、炉床、HIPシリンダー ●チャージキャリア、トレー、ボート、熱処理用冶具 ●熱電対保護管、その他炉体構成部品 ■□詳細は資料請求またはカタログをダウンロードして下さい□■...
メーカー・取り扱い企業： プランゼージャパン株式会社
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タングステン・モリブデン製ホットゾーンの設計からメンテナンスまでトータ…
●レーザー、ウォータージェット、ワイヤー放電によるカット品 ●炉体ホットゾーン、ヒーター、輻射熱遮蔽シールド、炉床、HIPシリンダー ●チャージキャリア、トレー、ボート、熱処理用冶具 ●熱電対保護管、その他炉体構成部品 ■□詳細は資料請求またはカタログをダウンロードして下さい□■...
メーカー・取り扱い企業： プランゼージャパン株式会社
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タングステン・モリブデン製ホットゾーンの設計からメンテナンスまでトータ…
●レーザー、ウォータージェット、ワイヤー放電によるカット品 ●炉体ホットゾーン、ヒーター、輻射熱遮蔽シールド、炉床、HIPシリンダー ●チャージキャリア、トレー、ボート、熱処理用冶具 ●熱電対保護管、その他炉体構成部品 ■□詳細は資料請求またはカタログをダウンロードして下さい□■...
メーカー・取り扱い企業： プランゼージャパン株式会社
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【部品修理/リペア/再実装】安定した安全なリワーク作業、標準はんだ・鉛…
を防ぐ遠⾚外線エリアヒー ティングシステム ○⽤途に合わせた2モードのクーリング機能 ○セキュリティー機能 ○デバイス温度抑制の 2ポイントオートプロファイル ○便利な検証機能 ○5つの熱電対⼊⼒ ○はんだ印刷からデ バイスセッティングまで統合された機能 ○セミオートの作業システム ○広範囲なリワーク作業 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。...
メーカー・取り扱い企業： デンオン機器株式会社
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ガス加熱用高効率ヒータ『ヒートエクスチェンジャーWEX SS』
小型・軽量で高効率！手のひらサイズ以下の超小型ガス加熱用ヒータ…
ワッティー株式会社