［SSRM］走査型広がり抵抗顕微鏡法

ナノメートルレベルでの局所抵抗測定が可能

SSRMは、バイアスが印加された試料の表面を導電性探針で走査し、抵抗値の分布を二次元的に計測することで探針直下の広がり抵抗を可視化する手法です。 シリコン半導体素子を計測した場合、空間分解能に依存しますが、キャリア濃度1016個/cm3以上に感度があります。 ・ナノメートルレベルでの局所抵抗測定が可...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

［SCM］［SNDM］

キャリア分布を二次元的に可視化

MOS構造となり、半導体表面の酸化膜の静電容量COxと半導体の静電容量CDが接続された系とみなすことができます。この系に対して高周波電圧VACを印加すると、合成容量Cが変動します。 この変動は探針直下の半導体中のキャリアの振動によるものにほかならず、変動の大きさは探針直下のキャリア濃度に依存します。 探針を走査させながら、合成容量Cの変動Cにより生じる高周波共振器の変調信号を測定することで、キ...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】プラスチック製グリル表面の欠陥調査

何らかの原因でCuメッキが異常成長！その上にNiメッキが施されたと推察…

表面観察では、欠陥の一部は表面から伸びており、その伸張した突起物が もげたと思われる跡が認められ、その跡の中心はCuでありその周囲にNiを検出。 断面観察では、Cu部内の空孔は大きく、欠陥直下および欠陥の極近傍の Cu/プラスチックに間隙があり、この間隙部からC（Mg,Si）が検出されました。 結果、欠陥は、何らか（プラスチックの窪みや不純物 等）の原因でCuメッキが 異常成長...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大同分析リサーチ

ブラインドビア（BVH）接続 フレキ基板 (FPC)

高密度配線に有効なフレキシブル基板です。 FPC

通常のスルーホールと違い、穴を貫通させない為、 パット直下に導通ビアを設置します。 レーザーによる微細穴加工が可能で、超高密度配線等に有効です。 モバイル機器の小型化、薄型化及び通信機器の高機能化により、 狭ピッチ、多ピンパッケージを高密度実装す...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社サーテック 　　フレキ基板（FPC）ソフトウェア ハードウェア

【故障解析事例】静電気破壊の再現実験

プラズマFIB装置を用いて断面を観察！広く破壊されている様子が確認され…

実験を行いました。 チップ表面の観察後に、ロックイン発熱解析を行い、微小な故障箇所を特定。 プラズマFIB装置を用いて断面を観察した結果、表面のクレーターから、 トレンチゲート及びその直下のコレクタ領域まで広く破壊されている様子が 確認されました。 【故障解析　手順】 ■初動調査（外観観察、電気的特性測定） ■非破壊検査（X線観察、超音波顕微鏡など） ■故障箇所特定（ロ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社クオルテック

【分析事例】SRAの濃度換算について

SRA：広がり抵抗測定法

１. 斜め研磨した試料面に2探針を接触させ直下の広がり抵抗（Ω）を測定する ２. 標準試料の測定より校正曲線＊）を作成し、それを用いて抵抗を比抵抗（Ω・cm）に換算するまた、必要に応じて体積補正による分布の補正を行う ＊)校正曲線は導電型...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】ゲート電極から基板へのBの突き抜け量評価

SSDP-SIMSによる測定面の凹凸・高濃度層の影響を避けた測定

。基板側からの測定ではノックオンなどの影響が見られず、より正確な突き抜け量評価が可能であることがわかります。このように、バリアメタルのバリア性・Low-k膜中への金属の入り込み・凹凸のあるシリサイド直下の評価にSSDP-SIMSが有効です。...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

静止バルーンによる簡易・無人空撮システム『スカイキャッチャー』

風に強い小型バルーンを使った簡易空撮システム スカイキャッチャー

可能 →荒天時や高圧電線、飛行場に近い所は撮影出来ない場合もあります ○風に強い：相対風速15m/sの威力 →走行中の自動車、船上より追従させて自走の撮影も可能になった ○視界：高度250m直下の場合 ⇒ 250m →鳥瞰の場合には、数キロ先までの撮影が可能 →水平方向:360度回転（パノラマ撮影も可） ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社アイティーティー

ＰＶ（太陽電池）各種評価事例集

太陽電池（ＰＶ）の組成評価や同定・膜圧評価・形状評価・結晶構造評価など…

な部品・材料、装置、セル・モジュールが一堂に出展する展示会『PV EXPO　2013』で使用したパネル資料全6枚のご紹介です。 [掲載内容] 有機薄膜太陽電池の活性層の組成分布評価や、電極直下のドーパントの濃度 分布を定量的に評価した事例、成膜したCIGS薄膜の組成について、ICP-MSで 高精度に定量した事例、CIGSとCdSがヘテロエピタキシャル接合している様子 などを、分析図...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

［SRA］広がり抵抗測定法

SRA：Spreading Resistance Analysis

斜め研磨した試料面に2探針を接触させ、直下の電気抵抗を測定します。 校正用標準試料の測定値と比較する事で、測定した拡がり抵抗を比抵抗（Ω・cm）に換算します。 さらに、比抵抗とキャリア濃度の関係を示すThurberの曲線を用いてキャリア...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

磁粉探傷検査

きず部分に磁粉が吸着しきずが拡大！強磁性体に適応できる検査方法をご紹介

『磁粉探傷検査（Magnetic Particle Testing）』は、強磁性材料の 表面近傍のきず検出に適した検査方法です。 表面及び表面直下の比較的浅い部分に割れなどのきずがある試験体を磁化した 場合、そのきずから磁束が漏洩し磁極が生じます。 そこへ、試験体表面に磁粉を散布すると、きず部分に磁粉が吸着しきずが 拡大され、検出を...

メーカー・取り扱い企業： 計測検査株式会社

ジャスコ　磁粉探傷検査

大型タンクの溶接部検査(新設、開放検査)や各種小型部品の検査等に利用さ…

試験体表面及び表面直下にきずがあると磁束の通過が妨げられて、空間に漏洩し、きずの両側に磁極が発生し磁場を作ります。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジャスコ

ドローン運用の安全性について

熟練のパイロットが飛行を実施！現場監視員もドローン飛行経験を持った者の…

のできる パイロットが飛行を実施。常に万全な事故対策を行っており、外壁調査に おける事故発生率は0％を維持しています（2017年3月創業～2023年2月時点）。 また機体トラブル時、機体は直下に落下または水平移動がほとんどのため 「機体の真下に第三者が入らない」、「人と同じ高さでの飛行を長時間 行わない」といった具体的な対策を徹底します。 【概要】 ■事前告知（文書投函・提示...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ドローン・フロンティア

磁粉探傷検査『MT』

タンクの溶接部、ギヤの歯面、ボルトの全表面検査などに利用されています！

『MT』は、磁力を利用して表面や表面直下のきずを検出する磁粉探傷検査です。 強磁性体の材料にしか適用できませんが、割れ状のきずに対して有効な検査と なっております。 タンクの溶接部、ギヤの歯面、ボルトの全表面検査などに利用さ...

メーカー・取り扱い企業： 日本インスペックス株式会社

【分析事例】SRAの深さ換算について

SRA：広がり抵抗測定法

SR測定は試料を斜め研磨して、その試料面に2探針を移動させながら接触させ、直下の電気抵抗を測定します。 ある測定点における試料表面からの深さは三角関数の定義より、試料の斜め研磨角度をθとした時のSinθの値（ベベルアングル) とベベルエッジからその測定点までの距離の積より求...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST