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厚膜フッ素樹脂コーティング対応立形ドライ真空ポンプTRVシリーズ
PR酸性・アルカリ性の高腐食性ガスの吸引に。厚膜フッ素樹脂コーティング(2…
ケミカルプロセスに適した立形ドライ真空ポンプ「TRV シリーズ」のラインナップに厚膜フッ素樹脂コーティングが加わりました。 ステンレスでは対応出来ない酸性・アルカリ性の高腐食性ガスを吸引するハードプロセスにも対応いたします。 独自の立形構造は、ガス流路が上部から下部へ流れるように配置されており、ガスと共に吸引したミストやポンプ内部で凝縮した液体は、吐出口まで流下し大気圧力下で容易に排出・回収...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社宇野澤組鐵工所
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真空脱脂焼結炉『DSシリーズ』※最大1000個の熱処理をいつでも
PR真空脱脂と焼結を一つのサイクルで行うことが可能な真空脱脂焼結炉!時間と…
真空脱脂焼結炉『DSシリーズ』は、粉末冶金の発展に貢献する 省スペースかつ炉内のクリーン化とサイクル間のメンテナンス時間を大幅に短縮できる真空脱脂焼結炉です。 多数の販売実績を持ち、定評ある標準規格炉「TITAN」のプラットフォームを採用! また、短時間で据付設置できるスキッドマウントシステムを採用しております。 【メリット】 ■処理時間の短縮 ■プロセス品質の向上 ■汚染の最小化 ■使いやす...
メーカー・取り扱い企業: Ipsen株式会社
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ドロップレットを減少させるための蒸発源高速回転機構付です。
【仕様】 ○真空槽/φ400×D450 ○到達圧力/10^-3Pa台以下 ○排気速度/6.7×10^-3Paまで15分 ○排気操作方法/自動 ○基板加熱/MAX350℃ ○成膜方法/自動 ○成膜速度/2...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社昭和真空
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装飾・塗装のドライ化や増産をご検討中のお客様向け
8軸(Φ360mm×H1650mm/軸:ワーク搭載エリア) ○自公転数 6 軸:自転11~33rpm/公転1~3rpm 8 軸:自転13~37rpm/公転1~3rpm ○真空槽 Φ1600mm×H2300mm(SS400 製) ○フットプリント W4700mm×D7000mm×H3100mm 【所要諸元】 ○所要電力 本機:Φ3 200V 約12KVA、抵抗蒸...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社昭和真空
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コンパクト設計・高精度・低価格・高安定・高再現性
インライン式周波数調整装置 「SFE-X2012」は、処理室と取出室を別にし、イオンソースもH/Lを各々搭載したことで、アイドルタイムの少ない効率的な動作が可能になりました。 SFE‐B03に搭載したIGF-201型 100mmビームのイオンソースを2基搭載しています。 イオンソース1台あたり最大24個、計48個同時処理が可能です。 SFE-B03で実績のある高精度・高安定・高再現性の搬送機...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社昭和真空
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複雑な形状の基板への成膜に最適で、低温成膜で樹脂基板にも対応します。ま…
ALD(Atomic Layer Deposition)とは原子層堆積法という単原子層を1サイクルで成膜する手法で、サイクルを繰り返すことにより薄膜を形成します。 一原子層レベルの均一なレイヤーコントロールが可能となり、高品質かつ段差被覆性の高い薄膜を形成する事が可能です。 【特徴】 ○複雑な形状の基板への成膜に最適 ○低温成膜で樹脂基板にも対応 ○ガスバリア性に優れた薄膜が得られる...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社昭和真空
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コンパクト設計・高精度・低価格・高安定・高再現性
産できます。 FLモード (負荷容量自動演算モード) を搭載しています。 イオンガン本体、コンタクト機構のメンテナンス性が大幅向上しました。 2室ロードロック方式を採用することで、処理室は常時真空に保持されているので、タクトタイムが真空排気及び大気開放の時間に依存しません。 オプションユニットとしてオーバードライブ機構付ローダー・アンローダー装置装着により、連続運転が可能となりました。 ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社昭和真空
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ホローカソード方式 イオンプレーティング装置 SIH-400T
ドロップレットを減少させるための蒸発源高速回転機構付です。
【仕様】 ○真空槽 Φ400 × H500mm ○蒸発源 HCD/Gun 水冷ハース 電源 ○ワーク保持機構 自公転治具 or 公転治具 ○ワーク加熱ヒーター シースヒーター ○測定系 ピラニー真空計 ペ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社昭和真空
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