真空炉 | イプロスものづくり

PR吸引（入口）～排気（出口）までトータルにご提案！デュコルの環境改善設備

デュコルでは、発生する汚染物質の種類や発生状況に応じた設備をご提案します。粉じんやガスの発生源から吸引と適切な処理をして屋外換気まで、低コストでトータル設計させていただくとともに、アフターサービスまでを一貫して行います。【こんなお困り事ありませんか】 ■吸い込み口の吸引力が弱くなっている ■メンテナンスをしたことがない ■作業環境が悪く改善したい ★デュコルの『環境改善設備総...

メーカー・取り扱い企業：株式会社デュコル　　　

真空炉『Mini-BENCH 超高温卓上型実験炉』

卓上小型サイズ実験炉・省スペース最高使用温度2000℃！還元雰囲…

◉ 卓上サイズ省スペース：328(W) x 220(D) x 250(H)mm（*2inch用チャンバー参考値） ◉ るつぼ内サンプル焼成用（るつぼΦ50 x 100）, 又はΦ1"〜Φ4"ウエハー焼成用フラットヒーター ◉ ハイスペック&ハイコストパフォーマンス ◉ シンプルな構成、優れた操作性実験室での小片試料の超高温加熱実験、新素材研究開発などのさまざまな試料加熱実験が、簡単...

メーカー・取り扱い企業：テルモセラ・ジャパン株式会社

真空炉『Mini-BENCH-prism 超高温実験炉』

最高使用温度2000℃ セミオート制御超高温実験炉（カーボン炉、…

◉最高使用温度 Max2000℃ ◉PLCセミオートコントロール卓上型Mini-BENCHのセミオート制御式上位機種「真空引き」「ガス置換」「ベント」の各工程を自動制御（ガス流量→ニードルバルブにて手動調整） ◉作業中の安全を確保冷却水異常・チャンバー温度異常・過圧異常を監視SUS製堅牢な水冷チャンバー、最高温度で連続使用中でも安全にご使用いただけます。 ◉小型・省スペース ...

メーカー・取り扱い企業：テルモセラ・ジャパン株式会社

アニール炉『ANNEALウエハーアニール装置』

Max1000℃、MFC最大3系統、APC圧力制御、4"、又は6"基板…

高真空水冷式SUSチャンバー内に設置した加熱ステージにより最高1000℃までの高温処理が可能です。チャンバー内にはヒートシールドが設置されインターロックにて安全を確保。マスフローコントローラは最大3系統まで増設が可能、精密に調整されたプロセスガス圧力での焼成作業が可能です（APC自動プロセス制御システムオプション）。又、フロントビューポート、ドライスクロールポンプ、特殊基板ホルダー、熱電対増設...

メーカー・取り扱い企業：テルモセラ・ジャパン株式会社

セントロサーム　超高温バルクアニール炉

超高温熱処理と優れた温度均一性の実現により、ブール・インゴット、ウエハ…

ワイドバンドギャップ半導体デバイスの歩留まりを向上するためには、応力に起因する欠陥や転位を最小限に抑える必要があります。その手法の一つとして、半導体結晶の超高温熱処理があります。c.CRYSCOO HTA高温アニール炉は、ワイドバンドギャップ半導体のバルク結晶からデバイスまでのバリューチェーンにおいて生産性を大幅に改善させるために開発されました。優れた温度制御(最高温度2200℃)、均一性、低クロ...

メーカー・取り扱い企業：伯東株式会社本社

2,000℃を超えるカーボン加熱炉の開発・設計・試作支援

光ファイバの線引炉やガラス化炉で30年の実績がある加熱炉・加熱システム…

古河電気工業（株）でコーポレートの生産技術部門に26年間所属し、生産技術開発センター長を５年勤めました。主に光ファイバの開発・量産ラインへの装置導入の業務を行ない、現在も導入した装置が現役で活躍しています。私が担当した1980年後半から通信バブル崩壊するまでは毎年線引速度が高速化しプリフォーム径も大型化してゆく時代でした。私が担当した当時は、購入した線引炉の水漏れがたびたび起きて、自社で線引炉...

メーカー・取り扱い企業：プロセスD&Tラボ千葉

高温工業炉　タングステン・モリブデン部品

タングステン・モリブデン製ホットゾーンの設計からメンテナンスまでトータ…

真空中や制御雰囲気の炉内では、最高温度が3000℃にも及ぶ事があります。その様な過酷な環境では、モリブデン、タングステン、タンタル、ニオブが最適な材料です。特に高度な焼結技術、熱処理技術、真空ロウ付け、最先端研究などで使用される高温炉のホットゾーン構造体には、プランゼーの高温安定性とクリープ特性に優れた高品質材料と、長い経験とノウハウに裏付けられた確かな設計力が必要不可欠です。プ...

メーカー・取り扱い企業：プランゼージャパン株式会社

外熱型真空光輝焼戻炉・焼鈍炉　TOUVAC

金属レトルト外熱方式により、シール性・炉内雰囲気の再現性等アップ！

TOUVAC （ TOUnetsu VACuum furnace ）工業炉のトウネツが提案する、金属レトルト外熱方式を採用した真空炉です。各種マテリアルの光輝熱処理に！...

メーカー・取り扱い企業：株式会社トウネツ東海事業所

MiniLab-WCF 超高温ウエハーアニール炉2000℃

SiC3, TiC3コーティングヒーター採用：様々なプロセス環境に対応…

■Max2000℃（真空中1x10-5Torr, N2, Ar） ■3種類のヒーター材質：・高純度グラファイト：Φ6〜Φ8inch ・SiC3（炭化珪素）コーティング：Φ4〜Φ8inch ・TiC3（チタン・カーバイド）コーティング：Φ4〜Φ8inch ■使用雰囲気：・真空・不活性ガス（グラファイト）・還元雰囲気（TiC3コーティング） ■試料台サイズφ4inch〜φ8inc...

メーカー・取り扱い企業：テルモセラ・ジャパン株式会社

水素アニール装置（電子デバイス用、サンプルテスト対応中）

大気圧水素雰囲気中で均一加熱、。薄膜・ウェハ・化合物・セラミック基板、…

水素の還元力を最大限に活用し従来に無い薄膜・基板表面の高品位化を実現デリケートな化合物デバイスや誘電体基板の熱処理（べーく・アニール）に最適。実績と経験に支えられた信頼性の高いハード構成で安全性も確保電極・配線膜の高品質化に、高融点金属膜の抵抗値・応力制御に研磨後のウェハの終端処理に、特殊用途の熱処理に多くの実績を元に初期段階からテストを含めて対応...６インチウェハ対応の石英管の横型...

メーカー・取り扱い企業：神港精機株式会社東京支店

天龍コンポジット株式会社　設備紹介

様々なニーズにお応え！オートクレーブや真空成形機などの設備を保有

当社にて導入している様々な設備をご紹介いたします。新しい技術や製品をお客様と一体となって開発し、様々なニーズにお応えする設備を取り揃えております。ご要望の際は、お気軽にご相談ください。【保有主要設備(一部)】 ■オートクレーブ ■真空成形機 ■フィラメントワインディングマシン ■クリーンルーム ■高温硬化炉 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽に...

メーカー・取り扱い企業：天龍コンポジット株式会社

タングステン・モリブデンの加工品

タングステン・モリブデン・タンタル等の高温向けレアメタルの加工品

真空蒸着用ボート、フィラメント、EBガン、高温炉用ヒーター、反射板、リフレクター、試料皿、イオン注入装置用フィラメント...真空蒸着用ボート、フィラメント、EBガン、高温炉用ヒーター、反射板、リフレクター、試料皿、イオン注入装置用フィラメント...

メーカー・取り扱い企業：有限会社新栄特殊金属

静止空気より優れた断熱性能！高性能断熱材のメリットを解説

なぜ断熱材『シルサーム』を導入するのか？そのメリットを解説します。

当社では、静止空気以上の断熱性能を誇る、『シルサーム断熱材』を原料から最終製品まで、一貫して製造しております。『シルサーム断熱材』の特徴 ■ ヒュームドシリカを原料とした断熱材 ■ ナノ粒子による微細な多孔質構造体 ■ 最高1600℃用途で使用可能 ■ 従来の断熱材より5~10倍の断熱性能『シルサーム』を導入するメリット ■ 断熱改善によりCO2削減 ■ 省エネ性向上に...

メーカー・取り扱い企業：シルサーム・ジャパン株式会社

アニール炉『Mini-BENCH-prism 超高温実験炉』

最高使用温度2000℃ セミオート制御超高温実験炉（カーボン炉、…

◉最高使用温度 Max2000℃ ◉PLCセミオートコントロール卓上型Mini-BENCHのセミオート制御式上位機種「真空引き」「ガス置換」「ベント」の各工程を自動制御（ガス流量→ニードルバルブにて手動調整） ◉作業中の安全を確保冷却水異常・チャンバー温度異常・過圧異常を監視SUS製堅牢な水冷チャンバー、最高温度で連続使用中でも安全にご使用いただけます。 ◉小型・省スペース ...

メーカー・取り扱い企業：テルモセラ・ジャパン株式会社

アニール炉『MiniLab-WCF 超高温ウエハーアニール炉』

SiC3, TiC3コーティングヒーター採用：様々なプロセス環境に対応…

◉Max2000℃（真空中1x10-5Torr, N2, Ar） ◉3種類のヒーター材質：・高純度グラファイト：Φ6〜Φ8inch ・SiC3（炭化珪素）コーティング：Φ4〜Φ8inch ・TiC3（チタン・カーバイド）コーティング：Φ4〜Φ8inch ◉使用雰囲気：・真空・不活性ガス（グラファイト）・還元雰囲気（TiC3コーティング） ◉試料台サイズφ4inch〜φ8inc...

メーカー・取り扱い企業：テルモセラ・ジャパン株式会社

熱処理炉　『ヒーター　リフレクター　シールド　キャリア』

タングステン・モリブデン製ホットゾーンの設計からメンテナンスまでトータ…

真空中や制御雰囲気の炉内では、最高温度が3000℃にも及ぶ事があります。その様な過酷な環境では、モリブデン、タングステン、タンタル、ニオブが最適な材料です。特に高度な焼結技術、熱処理技術、真空ロウ付け、最先端研究などで使用される高温炉のホットゾーン構造体には、プランゼーの高温安定性とクリープ特性に優れた高品質材料と、長い経験とノウハウに裏付けられた確かな設計力が必要不可欠です。プ...

メーカー・取り扱い企業：プランゼージャパン株式会社

焼鈍炉　『ヒーター　リフレクター　シールド　キャリア』

タングステン・モリブデン製ホットゾーンの設計からメンテナンスまでトータ…

真空中や制御雰囲気の炉内では、最高温度が3000℃にも及ぶ事があります。その様な過酷な環境では、モリブデン、タングステン、タンタル、ニオブが最適な材料です。特に高度な焼結技術、熱処理技術、真空ロウ付け、最先端研究などで使用される高温炉のホットゾーン構造体には、プランゼーの高温安定性とクリープ特性に優れた高品質材料と、長い経験とノウハウに裏付けられた確かな設計力が必要不可欠です。プ...

メーカー・取り扱い企業：プランゼージャパン株式会社

電気炉　『ヒーター　リフレクター　シールド　キャリア』

タングステン・モリブデン製ホットゾーンの設計からメンテナンスまでトータ…

真空中や制御雰囲気の炉内では、最高温度が3000℃にも及ぶ事があります。その様な過酷な環境では、モリブデン、タングステン、タンタル、ニオブが最適な材料です。特に高度な焼結技術、熱処理技術、真空ロウ付け、最先端研究などで使用される高温炉のホットゾーン構造体には、プランゼーの高温安定性とクリープ特性に優れた高品質材料と、長い経験とノウハウに裏付けられた確かな設計力が必要不可欠です。プ...

メーカー・取り扱い企業：プランゼージャパン株式会社