もやもやを解決！エンコーダ付きステッピングモータの「使い分け」

PR【何となくで選んでいませんか？ 】エンコーダ付きステッピングモーターの…

一括りにされがちな”エンコーダ付きステッピングモータ”ですが、実は機能も種類も様々です。 本冊子ではエンコーダ付き2相ステッピングモータを「センシング化の歴史」 「メリット」「ラインアップと比較」の観点から、分かりやすくご紹介します。 初めてエンコーダ付きステッピングモータを使用する方にも、 何となく使用していたけど改めて知りたい方にも 活用のヒントになるお役立ち情報が詰まった一冊です。 【掲...

メーカー・取り扱い企業： ミネベアミツミ株式会社 回転機器

卓上式ウェハ移載装置

6.8インチSEMI規格ウェハ対応！基本移載パターンが選択できる装置を…

当製品は、カセットが通常ピッチカセットと2倍ピッチカセットに対応可能で相互間で移し替えることができる装置です。基本移載パターンは、同一スロット移載、スロット上下逆転移載、指定スロット移載などが選択可能。また、オプションとして、スロット指定レシピやウェハIDリーダーの搭載も可能です。 【特長】 ■6.8インチ...

メーカー・取り扱い企業： アテル株式会社

4ポートソーター

カセットステージ4ポートを持つ！6・8インチウェハ対応の装置をご紹介し…

当製品は、カセットステージ4ポートを持ち、ウェハID読取りによる ソート機能を搭載した装置です。 1カセットから3カセットへの分割、3カセットから1カセットへの 統合移載が可能。 工場システムと連携させ、ロット毎に移載パターンを選択できます。 【特長】 ■6・8インチウェハ対応 ■ウェハID読取りによるソート機能を搭載 ■1カセットから3カセットへ...

メーカー・取り扱い企業： アテル株式会社

複合マクロミクロレビュー検査装置(レーザーマーキング付き)

6・8インチウェハ対応！レーザーマーキング付きの検査装置をご紹介します…

【装備】 ■ダブルアームロボット ■アライナ ■マクロユニット ■ミクロユニット ■レーザーマーカー ■徐振台 ■制御機器(基本移載ソフト含む) ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： アテル株式会社

各種装置用ウェハローダー

8インチウェハ対応！ウェハ中央部に接触することなく搬送できる装置をご紹…

【装備】 ■ダブルアームロボット ■アライナ ■反転ユニット ■反り対応ウエハマッピング機構 ■制御機器(基本移載ソフト含む) ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： アテル株式会社

卓上型ソーター『SYAR110』

ファイバセンサ搭載！卓上型6、8インチ対応アライナ付ソータ装置

ンタリングと オリフラ位置決め後に、他方のカセットに移し替えができます。 また、帯電防止塩ビカバー、各種インターロックを装備しています。 【特長】 ■パソコン画面のレシピ選択によって移載するパターンの選択が可能 ■ファイバセンサ搭載 ■帯電防止塩ビカバー、各種インターロック装備 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： アテル株式会社

【8インチウェハ対応】ウェハ表裏自動外観検査装置(AOI)

【ヒューマンエラーを防ぐ】ウェハの表裏両面の異物、キズ、クラックや外周…

ェハ対応 ■検出した欠陥はウェハマップにその位置を表示 ■任意の操作でデータ保存や上位システムと連携する ■ダブルアームロボット、アライナ、反転ユニット、自動撮像ユニット、 　制御機器(基本移載ソフト含む)を装備 ■エッジグリップハンドによりウェハ中央部に接触することなく搬送 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： アテル株式会社

自動欠陥レビュー装置(ADR)

他の検査システムの欠陥データと連携！8インチウェハ対応の自動欠陥レビュ…

【装備】 ■ダブルアームロボット ■アライナ ■自動レビューユニット ■制御機器(基本移載ソフト含む) ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい...

メーカー・取り扱い企業： アテル株式会社

TAIKOウェハ対応反転移載装置

反転記載もできる！8インチタイコウェハ対応の装置をご紹介します。

当製品は、エッジグリップハンドによりウェハ中央部の研削部位に 接触することなく移載できる装置です。 研削面を下から上に、あるいはその逆の反転記載も可能。 カセットは通常ピッチカセットと2倍ピッチカセットに対応しており、 相互間で移し替えることができます。 【特...

メーカー・取り扱い企業： アテル株式会社

高速型4ポートソーター

4ポートソーターを高速化しスループットを向上！6・8インチウェハ対応で…

。 全てのカセットステージが昇降機能をもち、取出し用と収納用のロボット 2台によるソーティングを行います。 また、1カセットから3カセットへの分割、3カセットから1カセットへの 統合移載が可能。 工場システムと連携させ、ロット毎に移載パターンを選択できます。 【特長】 ■6・8インチウェハ対応 ■全てのカセットステージが昇降機能をもつ ■取出し用と収納用のロボット2台...

メーカー・取り扱い企業： アテル株式会社

卓上型ソーター『SYAR100』

レシピ選択により移載パターンの選択が可能！卓上型8インチウェハ対応ソー…

『SYAR100』は、卓上型ロボットとカセットステージを 組み込んだソータ装置です。 ウェハを1つのカセットから他方のカセットに移し替えできるほか、 パソコン画面のレシピ選択により移載パターンの選択が可能です。 帯電防止樹脂カバー、非常停止スイッチを装備しています。 【特長】 ■ウェハを1つのカセットから他方のカセットに移し替え可能 ■マッピングセンサ搭載 ■帯...

メーカー・取り扱い企業： アテル株式会社

卓上顕微鏡ウェハローダー

卓上タイプでコンパクト！既存の顕微鏡に自動搬送機能を追加できる装置をご…

【装備】 ■シングルアームロボット ■アライナ ■制御機器(基本移載ソフト含む) ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： アテル株式会社

マクロミクロレビュー検査装置

ウェハ外観を目視と顕微鏡によって観察する8インチウェハ対応の装置をご紹…

【装備】 ■ダブルアームロボット ■アライナ ■マクロユニット ■ミクロユニット ■除振台 ■制御機器(基本移載ソフト含む) ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： アテル株式会社