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凹凸面対応のフォトレジストスプレーコーター装置『IS型シリーズ』
半導体・MEMS・センサーデバイスに最適! …
~100μmの膜厚形成が可能(フォトレジスト・FC触媒膜) ■効率75%と飛躍的に高い液使用効率(対比:スピンコートでは数%) ■数cc程度の少量の希少材料でもコーティングが可能 ■特殊間欠と筆安定塗布が可能(分散液・FC触媒液他) エーシングテクノロジーズでは機能薄膜コーティングのソリューションをご提案しています。周辺技術のコンサルタントと研究支援を承っております。 ※下記、...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社エーシングテクノロジーズ 湘南藤沢研究所
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